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9Cr18钢上离子束辅助沉积TiC_xN_y膜的研究 被引量：2
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作者 王培录 孙官清 +2 位作者 刘仲阳 郑思孝 廖小东 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期6-10,共5页
用离子束辅助沉积技术在９Ｃｒ１８钢基体上形成了ＴｉＣｘＮｙ膜。ＴＥＭ观察膜呈多晶结构，具有（１１１）、（２００）和（２２０）择优取向。ＡＥＳ和ＸＰＳ分析进一步证实，ＴｉＣｘＮｙ膜呈含氧配置。膜的硬度与Ｎ含量有关，Ｎ的... 用离子束辅助沉积技术在９Ｃｒ１８钢基体上形成了ＴｉＣｘＮｙ膜。ＴＥＭ观察膜呈多晶结构，具有（１１１）、（２００）和（２２０）择优取向。ＡＥＳ和ＸＰＳ分析进一步证实，ＴｉＣｘＮｙ膜呈含氧配置。膜的硬度与Ｎ含量有关，Ｎ的含量过高时硬度下降。在本实验条件下以离子注量为３ｘ１０１7／ｃｍ２时硬度最高，干摩擦表明膜的抗氧化性能优良，它的存在能有效抑制基体在摩擦过程中氧化皮的形成，显著改善基体的磨损特性，并能使基体由粘着磨损向磨粒磨损转化． 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 氮碳化钛膜 摩擦 磨损 钢
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