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钛合金超声辅助等离子体氧化改性磨削基本加工特性研究
1
作者
武韩强
陈卓
+5 位作者
叶曦珉
张诗博
李偲偲
曾江
汪强
吴勇波
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期13-25,共13页
鉴于钛合金的难加工特性,提出了超声辅助等离子体氧化改性磨削新方法。首先介绍了新方法的加工原理,并基于加工原理构建了实验装置;其次就不同电解质溶液对等离子体氧化层生长方向,工艺参数对等离子体氧化层厚度的影响规律开展研究;随...
鉴于钛合金的难加工特性,提出了超声辅助等离子体氧化改性磨削新方法。首先介绍了新方法的加工原理,并基于加工原理构建了实验装置;其次就不同电解质溶液对等离子体氧化层生长方向,工艺参数对等离子体氧化层厚度的影响规律开展研究;随后表征等离子体氧化层表面主要化学成分、显微硬度,并利用单点磨削实验揭示等离子体氧化层的材料去除行为;最后对比有、无氧化层的磨削加工特性。研究表明:Na_(2)SO_(4)溶液下的氧化层主要向内生长;在工艺参数中,降低进给速度和增加超声振幅可以提升氧化层厚度;氧化层较低的硬度和疏松多裂纹结构提高了钛合金的切削加工性。相比于无氧化层的传统磨削,超声辅助等离子体氧化改性生成的氧化层可以降低磨削力,提升表面质量,减少砂轮磨粒脱落和磨屑粘附。
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关键词
钛合金
超声
等离子体
氧化
氧化
层
性能
磨削
性能
原文传递
一种异常V_(ramp)I-V曲线分析及其应用探讨
被引量：
1
2
作者
简维廷
何俊明
+1 位作者
张荣哲
赵永
《中国集成电路》
2009年第10期59-63,共5页
讨论分析了Vramp测试方法,说明了I-V曲线的特性。就一个异常案例中测得的I-V曲线展开了分析,说明了曲线异常背后的原因,揭示了Vramp测试结果和等离子所致损伤之间的关联。结合其它可靠性测试项目的结果,成功地进行了氧化层性能快速评估...
讨论分析了Vramp测试方法,说明了I-V曲线的特性。就一个异常案例中测得的I-V曲线展开了分析,说明了曲线异常背后的原因,揭示了Vramp测试结果和等离子所致损伤之间的关联。结合其它可靠性测试项目的结果,成功地进行了氧化层性能快速评估,丰富了Vramp测试的应用。
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关键词
Vramp测试
I—V曲线
栅
氧化
层
性能
可靠性风险评估
下载PDF
职称材料
题名
钛合金超声辅助等离子体氧化改性磨削基本加工特性研究
1
作者
武韩强
陈卓
叶曦珉
张诗博
李偲偲
曾江
汪强
吴勇波
机构
南方科技大学机械与能源工程系
温州大学机电工程学院
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期13-25,共13页
基金
国家自然科学基金(51975269)
广东省大学生科技创新能力培养专项资金(pdjh2023c20803)
+1 种基金
国家重点研发计划(2021YFF0700903)
深圳市科技计划(KQTD20170810110250357)资助项目
文摘
鉴于钛合金的难加工特性,提出了超声辅助等离子体氧化改性磨削新方法。首先介绍了新方法的加工原理,并基于加工原理构建了实验装置;其次就不同电解质溶液对等离子体氧化层生长方向,工艺参数对等离子体氧化层厚度的影响规律开展研究;随后表征等离子体氧化层表面主要化学成分、显微硬度,并利用单点磨削实验揭示等离子体氧化层的材料去除行为;最后对比有、无氧化层的磨削加工特性。研究表明:Na_(2)SO_(4)溶液下的氧化层主要向内生长;在工艺参数中,降低进给速度和增加超声振幅可以提升氧化层厚度;氧化层较低的硬度和疏松多裂纹结构提高了钛合金的切削加工性。相比于无氧化层的传统磨削,超声辅助等离子体氧化改性生成的氧化层可以降低磨削力,提升表面质量,减少砂轮磨粒脱落和磨屑粘附。
关键词
钛合金
超声
等离子体
氧化
氧化
层
性能
磨削
性能
Keywords
titanium alloy
ultrasonic vibration
plasma oxidation
oxidized layer properties
grindability
分类号
TH706 [机械工程—仪器科学与技术]
原文传递
题名
一种异常V_(ramp)I-V曲线分析及其应用探讨
被引量：
1
2
作者
简维廷
何俊明
张荣哲
赵永
机构
中芯国际
出处
《中国集成电路》
2009年第10期59-63,共5页
文摘
讨论分析了Vramp测试方法,说明了I-V曲线的特性。就一个异常案例中测得的I-V曲线展开了分析,说明了曲线异常背后的原因,揭示了Vramp测试结果和等离子所致损伤之间的关联。结合其它可靠性测试项目的结果,成功地进行了氧化层性能快速评估,丰富了Vramp测试的应用。
关键词
Vramp测试
I—V曲线
栅
氧化
层
性能
可靠性风险评估
Keywords
Vramp Test
I-V Curve
GOX Performance
Reliability Risk Assessment descried. with the （ GOX ）
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
钛合金超声辅助等离子体氧化改性磨削基本加工特性研究
武韩强
陈卓
叶曦珉
张诗博
李偲偲
曾江
汪强
吴勇波
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
原文传递
2
一种异常V_(ramp)I-V曲线分析及其应用探讨
简维廷
何俊明
张荣哲
赵永
《中国集成电路》
2009
1
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职称材料
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