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四氟化硅的制备与提纯 被引量：5
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作者 陈学航 李焱 +4 位作者 张建刚 高文龙 曹旭 陈烨 刘振东 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1891-1895,共5页
四氟化硅(SiF4)是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位。详细介绍了四氟化硅的主要制备方法:硫酸法、Si-F2直接合成法、氟硅酸盐热解法和氢氟酸法,并对四氟化硅提纯工艺进行了比较。
关键词 四氟化硅 氟硅酸盐法 提纯
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