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新型双极性高功率脉冲磁控溅射电源及放电特性研究 被引量：2
1
作者 吴厚朴 田钦文 +1 位作者 田修波 巩春志 《真空》 CAS 2019年第6期1-6,共6页
独立设计研制了新型两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源,本电源具备3种工作模式:(1)传统高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电模式,(2)双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(BP-HiPIMS)放电模式和(3)两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(DBP-Hi... 独立设计研制了新型两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源,本电源具备3种工作模式:(1)传统高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电模式,(2)双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(BP-HiPIMS)放电模式和(3)两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(DBP-HiPIMS)放电模式。特别是新提出的第三种工作模式,两段式双极性脉冲较传统的单段双极性脉冲具有较大的优势。本文研究了在传统BP-HiPIMS和新DBP-HiPIMS条件下,正向脉冲对Cr靶在Ar气气氛下的放电特性的影响。研究发现:随着正向脉冲电压的增加,BP-HiPIMS和DBP-HiPIMS基体净离子平均电流均明显提高,且相比传统BP-HiPIMS模式,新型DBP-HiPIMS放电模式在不同正向脉冲电压时均具有更高的基体净离子平均电流。正向脉冲电压为100V时,在基体偏压为0V和60V条件下,DBP-HiPIMS模式的基体净离子平均电流较传统BP-HiPIMS模式分别提高47.0%和30.3%。表明新型DBP-HiPIMS放电模式能够进一步提高正向脉冲对离子的推动加速作用,这将有利于膜层质量的提高。 展开更多
关键词 双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射 正向脉冲 靶电压 靶电流 基体电流
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Au—Cr—Al／n—CaAs肖特基接触的正向脉冲退化现象
2
作者 夏世伟 施健 《上海半导体》 1994年第2期8-10,23,共4页
关键词 MESFETS 砷化镓 肖特基接触 正向脉冲 退化
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一种适用于介质阻挡放电负载的简易型单极性正向脉冲式供电电源
3
作者 方文睿 唐雄民 +2 位作者 江天鸿 邹翀 陈伟正 《电源学报》 CSCD 北大核心 2024年第2期405-413,共9页
针对常用的负载谐振型波形连续式的供电电源无法充分发挥介质阻挡放电负载的性能,以及现有脉冲式供电电源拓扑结构比较复杂的不足,提出了一种由1个功率开关管、2个二极管和1个耦合电感构成的单极性正向脉冲式供电电源。通过对该供电电... 针对常用的负载谐振型波形连续式的供电电源无法充分发挥介质阻挡放电负载的性能,以及现有脉冲式供电电源拓扑结构比较复杂的不足,提出了一种由1个功率开关管、2个二极管和1个耦合电感构成的单极性正向脉冲式供电电源。通过对该供电电源工作模态的分析得出,该供电电源不仅能为介质阻挡负载提供快速上升的脉冲电压,而且功率器件工作于软开关状态。仿真和实验结果验证了该供电电源的可行性,所提出的单极性正向脉冲式供电电源对现有的介质阻挡放电负载的供电电源的升级改造有一定的借鉴意义。 展开更多
关键词 介质阻挡放电 单极性正向脉冲 供电电源 软开关
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66KHz正向脉冲电流对皮肤刺激及其应用初步探讨
4
作者 吕雄飞 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期241-243,共3页
为探索提高药物离子导入量，本文研究了６６ＫＨｚ正向脉冲电流对皮肤的刺激感及其药物离子导入性能．实验证明６６ＫＨｚ正向脉冲电流无刺痛感，离子导入的性能和直流电相似．
关键词 正向脉冲电流 离子导入疗法 皮肤刺激 给药方法
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Al／n—GaAs肖特基接触正向脉冲退化对GaAsIC的影响
5
作者 夏世伟 施健 《上海微电子技术和应用》 1995年第2期1-4,共4页
本文描述了Ａｌ／ｎ－ＧａＡｓ肖特基接触的正向脉冲退化效应，探讨了当肖特基二极管承受正向电流冲击时，势垒高度ΦＢ升高，直接影响Ａｌ栅ＭＥＳＦＥＴｓ的特性，导致Ａｌ／ｎ－ＧａＡｓ ＩＣ失效的机理。
关键词 肖特基接触 正向脉冲效应 铝 砷化镓 集成电路
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电流模式对柠檬酸盐体系镀金的影响 被引量：4
6
作者 王卿 张勇斌 +1 位作者 陈金明 王锋 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期88-98,共11页
针对作为密封层使用的镀金层存在沉积速率低、厚度不均匀的问题,使用自研精密电镀电源,对比直流(DC)、正向单脉冲(FPC)、正向群脉冲(FGPC)、周期换向脉冲(PPRC)对镀金的影响。仿真PPRC一个周期内镀层厚度的变化情况。使用场发射扫描电... 针对作为密封层使用的镀金层存在沉积速率低、厚度不均匀的问题,使用自研精密电镀电源,对比直流(DC)、正向单脉冲(FPC)、正向群脉冲(FGPC)、周期换向脉冲(PPRC)对镀金的影响。仿真PPRC一个周期内镀层厚度的变化情况。使用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线荧光测厚仪分析镀层的表面形貌、结构、沉积速率、厚度均匀性和电流效率。结果表明:仿真中PPRC较FPC可以明显改善镀层的厚度均匀性,电流模式影响镀金层的晶面峰强和电流效率,DC、FPC、FGPC、PPRC镀金层的晶粒尺寸依次减小,镀金层表面的致密性和厚度均匀性提高,脉冲模式下阴极振动可显著提高沉积速率。使用适宜的PPRC参数镀金,可以在较高的沉积速率下获得厚度均匀、致密的镀金层。 展开更多
关键词 电镀金 电镀电源 正向单脉冲 正向群脉冲 周期换向脉冲
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