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硅微陀螺仪的机械耦合误差分析
被引量：
23
1
作者
施芹
裘安萍
+1 位作者
苏岩
朱欣华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期894-898,共5页
研究了硅微陀螺仪机械耦合误差的产生机理。以z轴硅微陀螺仪为研究对象,以动力学方程和矩阵理论为基础,分析了由于加工非理想性产生的不等弹性、阻尼不对称和质量不平衡产生误差的信号,建立了机械耦合误差信号的数学模型,并定量分析了z...
研究了硅微陀螺仪机械耦合误差的产生机理。以z轴硅微陀螺仪为研究对象,以动力学方程和矩阵理论为基础,分析了由于加工非理想性产生的不等弹性、阻尼不对称和质量不平衡产生误差的信号,建立了机械耦合误差信号的数学模型,并定量分析了z轴硅微陀螺仪样品的机械耦合误差信号。结果表明,机械耦合误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号,其中正交耦合误差为主要误差信号,且主要由不等弹性产生。最后,测试了z轴硅微陀螺仪的正交耦合误差信号为342.59°/s,且与理论结果相吻合。因此,抑制和补偿正交耦合误差是减小机械耦合误差的关键技术之一。
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关键词
硅微陀螺仪
机械
耦合
误差
正交
耦合
误差
下载PDF
职称材料
微机械陀螺正交耦合误差静电力抑制的有限元仿真研究
被引量：
1
2
作者
窦茂莲
刘飞
+1 位作者
林梦娜
郭中洋
《导航定位与授时》
2015年第5期52-57,共6页
微机械陀螺的正交耦合误差是敏感结构振动模态间的刚度耦合引起的检测模态输出偏量,是影响陀螺性能的关键误差源之一。静电力抑制是一种采用静电力调节驱动模态的主轴偏量,使用直流电压进行正交耦合误差抑制的方法,该方法具有片上实时...
微机械陀螺的正交耦合误差是敏感结构振动模态间的刚度耦合引起的检测模态输出偏量,是影响陀螺性能的关键误差源之一。静电力抑制是一种采用静电力调节驱动模态的主轴偏量,使用直流电压进行正交耦合误差抑制的方法,该方法具有片上实时抑制能力,能够有效抑制正交耦合误差。从静电力抑制正交耦合误差的基本原理出发,运用有限元仿真,对硅基音叉陀螺正交耦合误差的静电力抑制进行了仿真分析,并通过实物测试数据进行了验证。
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关键词
微机械陀螺
正交
耦合
误差
静电力抑制
有限元仿真
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职称材料
题名
硅微陀螺仪的机械耦合误差分析
被引量：
23
1
作者
施芹
裘安萍
苏岩
朱欣华
机构
南京理工大学机械工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期894-898,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.10572039)
江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2005064)
文摘
研究了硅微陀螺仪机械耦合误差的产生机理。以z轴硅微陀螺仪为研究对象,以动力学方程和矩阵理论为基础,分析了由于加工非理想性产生的不等弹性、阻尼不对称和质量不平衡产生误差的信号,建立了机械耦合误差信号的数学模型,并定量分析了z轴硅微陀螺仪样品的机械耦合误差信号。结果表明,机械耦合误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号,其中正交耦合误差为主要误差信号,且主要由不等弹性产生。最后,测试了z轴硅微陀螺仪的正交耦合误差信号为342.59°/s,且与理论结果相吻合。因此,抑制和补偿正交耦合误差是减小机械耦合误差的关键技术之一。
关键词
硅微陀螺仪
机械
耦合
误差
正交
耦合
误差
Keywords
silicon microgyroscopes
mechanical coupling error
quadrature coupling error
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
微机械陀螺正交耦合误差静电力抑制的有限元仿真研究
被引量：
1
2
作者
窦茂莲
刘飞
林梦娜
郭中洋
机构
北京自动化控制设备研究所
出处
《导航定位与授时》
2015年第5期52-57,共6页
文摘
微机械陀螺的正交耦合误差是敏感结构振动模态间的刚度耦合引起的检测模态输出偏量,是影响陀螺性能的关键误差源之一。静电力抑制是一种采用静电力调节驱动模态的主轴偏量,使用直流电压进行正交耦合误差抑制的方法,该方法具有片上实时抑制能力,能够有效抑制正交耦合误差。从静电力抑制正交耦合误差的基本原理出发,运用有限元仿真,对硅基音叉陀螺正交耦合误差的静电力抑制进行了仿真分析,并通过实物测试数据进行了验证。
关键词
微机械陀螺
正交
耦合
误差
静电力抑制
有限元仿真
Keywords
MEMS gyroscope
Quadrature coupling error
Electrostatic-force suppression
FEM simulation
分类号
V444 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅微陀螺仪的机械耦合误差分析
施芹
裘安萍
苏岩
朱欣华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
23
下载PDF
职称材料
2
微机械陀螺正交耦合误差静电力抑制的有限元仿真研究
窦茂莲
刘飞
林梦娜
郭中洋
《导航定位与授时》
2015
1
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职称材料
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