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题名激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究
被引量：1
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作者
熊木地
谭久彬
邢忠宝
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机构
哈尔滨工业大学自动化测试与控制系
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《微细加工技术》
2003年第4期33-38,共6页
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基金
哈尔滨工业大学博士基金项目(AEBQ54300072)
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文摘
在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一。提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性。利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速系统的结构进行优化。同时,利用神经网络改善锁相环系统的非线性特性,并采用模糊参数自调整方法调节控制器的参数。结果表明使用机电混合滤波器可使主轴的轴向与径向振动小于20nm,采用改进的锁相环控制可大大提高主轴的调速范围,并改善其动态性能。
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关键词
激光直写设备
光刻
机电混合滤波器
锁相环速度控制
模糊参数自调整
平稳驱动
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Keywords
smoothness driving
mechanic-electric low pass filter
phase-locked loop speed control
fuzzy parameter self-regulating
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分类号
TN24
[电子电信—物理电子学]
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题名基于热连轧机厚度精度的最优控制研究
被引量：1
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作者
顾波
王娇
白晶
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机构
沈阳科技学院信息与控制工程系
北华大学电气信息工程学院
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出处
《机床与液压》
北大核心
2018年第8期126-128,共3页
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基金
沈阳科技学院校内科研项目2015-2017(G-2015-06)
吉林省2011-2013年科技发展重点基金资助项目(201105041)
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文摘
热连轧机AGC系统机制复杂,具有高度非线性、时变性和纯滞后等特点。对上述问题采用最优控制策略:先对Mornitor-AGC闭环反馈检测产生的纯滞后进行预测外推处理,剩余部分的滞后时间采用改进型Smith预估算法和Fuzzy-PID参数自调整反馈控制,同时引入GM-AGC的前馈预控,减轻了复合控制中反馈调节的负担。仿真结果表明:在厚控系统中发生20%干扰的情况下,系统动态响应速度快,调节时间短,几乎没有超调量。其成果对有色、冶金行业提高带材质量的工程化具有重要的推广和实用价值。
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关键词
预测外推
改进型Smith算法
模糊PID参数自调整
最优控制
热连轧机
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Keywords
Predicted extrapolation data processing
Improved Smith algorithm
Fuzzy-PID parameter self-tuning
Optimal control
Hot rolling mill
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分类号
TM241
[一般工业技术—材料科学与工程]
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