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四米槽式太阳能真空集热管镀膜设备的发展概述 被引量：1
1
作者 陈志涛 《真空》 CAS 2021年第2期20-26,共7页
本文主要介绍了制备四米槽式太阳能真空集热管的间歇式单体镀膜机和自动连续镀膜线,对两种类型设备的优缺点和存在的问题进行了对比分析,可以为其他行业镀膜设备的设计改进提供借鉴。
关键词 光热发电 槽式太阳能真空集热管 圆柱磁控溅射靶 平面磁控溅射靶
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