期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构
被引量：
5
1
作者
杨帅
沙巍
+2 位作者
陈长征
张星祥
任建岳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期2835-2842,共8页
针对大口径离轴长条形反射镜光轴水平向检测的需要,设计了一套检测支撑结构。优化了结构参数,实现了由支撑结构引起的镜面面形误差最小化。通过比较长条形反射镜光轴水平向检测支撑的级联多点支撑结构,选择了结构简单、扩展性和调整性...
针对大口径离轴长条形反射镜光轴水平向检测的需要,设计了一套检测支撑结构。优化了结构参数,实现了由支撑结构引起的镜面面形误差最小化。通过比较长条形反射镜光轴水平向检测支撑的级联多点支撑结构,选择了结构简单、扩展性和调整性优良的两点单层固定支撑结构。利用集成仿真与优化方法,分析计算反射镜镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势,确定了最优支撑间隔。最后,利用干涉仪结合补偿器的检测方式,对不同支撑间隔工况下镜面面形进行检测,验证了仿真分析的可靠性。结果表明:在支撑间隔为564mm时,由检测支撑引起的镜面面形误差最小(RMS=8.26nm),干涉检测得到的镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势与仿真得到的趋势相符,仿真结果可靠性高。提出的方法可实施性好,可推广到其他大口径离轴长条形反射镜的设计和检测中,为离轴三反(TMA)相机的设计提供技术基础。
展开更多
关键词
离轴长条形反射镜
检测
支撑
面形误差
集成仿真与优化
离轴三反相机
下载PDF
职称材料
高复现性面形检测支撑装置研制
被引量：
3
2
作者
王辉
于杰
+1 位作者
周烽
王丽萍
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期131-135,共5页
为提高面形检测的复现性,研制了一套检测支撑装置,配合高重复性干涉仪实现高复现性的面形检测,对该装置的复现性效果进行了仿真计算和实验验证。利用ANSYS软件仿真分析确定了各向干扰力对面形的影响,同时推导确定不同支撑方案所能实现...
为提高面形检测的复现性,研制了一套检测支撑装置,配合高重复性干涉仪实现高复现性的面形检测,对该装置的复现性效果进行了仿真计算和实验验证。利用ANSYS软件仿真分析确定了各向干扰力对面形的影响,同时推导确定不同支撑方案所能实现的复现性。仿真分析结果表明,检测支撑方案最高能够实现均方根(RMS)误差优于30pm的面形复现性结果。确定了最终检测支撑装置的结构形式,并在高重复性干涉仪上进行了面形复现性测试,测试结果表明,由检测支撑装置引起的面形复现性指标RMS优于70pm,满足RMS为0.1nm的复现性设计指标要求。
展开更多
关键词
测量
极紫外光刻
高重复性干涉仪
有限元分析
检测
支撑
原文传递
题名
大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构
被引量：
5
1
作者
杨帅
沙巍
陈长征
张星祥
任建岳
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期2835-2842,共8页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.863-2-5-1-13B)
文摘
针对大口径离轴长条形反射镜光轴水平向检测的需要,设计了一套检测支撑结构。优化了结构参数,实现了由支撑结构引起的镜面面形误差最小化。通过比较长条形反射镜光轴水平向检测支撑的级联多点支撑结构,选择了结构简单、扩展性和调整性优良的两点单层固定支撑结构。利用集成仿真与优化方法,分析计算反射镜镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势,确定了最优支撑间隔。最后,利用干涉仪结合补偿器的检测方式,对不同支撑间隔工况下镜面面形进行检测,验证了仿真分析的可靠性。结果表明:在支撑间隔为564mm时,由检测支撑引起的镜面面形误差最小(RMS=8.26nm),干涉检测得到的镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势与仿真得到的趋势相符,仿真结果可靠性高。提出的方法可实施性好,可推广到其他大口径离轴长条形反射镜的设计和检测中,为离轴三反(TMA)相机的设计提供技术基础。
关键词
离轴长条形反射镜
检测
支撑
面形误差
集成仿真与优化
离轴三反相机
Keywords
off-axis rectangular mirror
detection support
surface shape error
integrated simulation and optimization
Three Mirror Anastigmat（TMA）camera
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
V447.3 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
高复现性面形检测支撑装置研制
被引量：
3
2
作者
王辉
于杰
周烽
王丽萍
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期131-135,共5页
基金
国家科技重大专项基金资助课题
文摘
为提高面形检测的复现性,研制了一套检测支撑装置,配合高重复性干涉仪实现高复现性的面形检测,对该装置的复现性效果进行了仿真计算和实验验证。利用ANSYS软件仿真分析确定了各向干扰力对面形的影响,同时推导确定不同支撑方案所能实现的复现性。仿真分析结果表明,检测支撑方案最高能够实现均方根(RMS)误差优于30pm的面形复现性结果。确定了最终检测支撑装置的结构形式,并在高重复性干涉仪上进行了面形复现性测试,测试结果表明,由检测支撑装置引起的面形复现性指标RMS优于70pm,满足RMS为0.1nm的复现性设计指标要求。
关键词
测量
极紫外光刻
高重复性干涉仪
有限元分析
检测
支撑
Keywords
measurement
extreme ultraviolet lithography
high repeatability interferometer
finite-element analysis
mirror mount for metrology
分类号
TH122 [机械工程—机械设计及理论]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构
杨帅
沙巍
陈长征
张星祥
任建岳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
5
下载PDF
职称材料
2
高复现性面形检测支撑装置研制
王辉
于杰
周烽
王丽萍
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
