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可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征
被引量：
6
1
作者
曲金成
雷李华
+5 位作者
李锁印
蔡潇雨
魏佳斯
赵军
韩志国
李源
《微纳电子技术》
北大核心
2017年第12期840-846,共7页
介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,...
介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,基于计量型纳米测量仪(NMM),结合多种定位测量方法,对加工的纳米台阶标准样版进行测量与评价,并对其开展区域均匀性和长时间稳定性实验。实验结果表明,制备的台阶标准样版高度值与设计值基本一致,设计的循迹结构能有效地协助电荷耦合器件(CCD)实现快速循迹与定位,且采用溅射镀膜工艺优化了标准样版表面结构的特性,使多种定位测量方法的测量重复性标准偏差均小于1 nm。
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关键词
量值传递
刻蚀工艺
标准
样
版
纳米测量仪(NMM)
溅射镀膜工艺
下载PDF
职称材料
基于栅格样版正交方向扫描的精准测量
2
作者
孟凡娇
傅云霞
+2 位作者
邵力
赵军
雷李华
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第11期824-830,共7页
作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础。提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一维栅格结构的正交扫描方向角的...
作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础。提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一维栅格结构的正交扫描方向角的提取方法,并通过模型转换实现了二维栅格结构的“行方向”、“列方向”正交扫描方向角提取的拓展;分析了一维和二维光栅结构的误差修正方法,通过集成的原子力显微镜（AFM）测头和激光共聚焦测头（LFS）的计量型纳米测量系统对栅格标准样版进行了多次重复性测量。结果表明,正交扫描方向角的有效提取,能大大提高周期性栅格结构的评价精度和准确性。
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关键词
栅格
标准
样
版
图像畸变
正交扫描方向角
误差修正方法
纳米测量系统
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职称材料
题名
可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征
被引量：
6
1
作者
曲金成
雷李华
李锁印
蔡潇雨
魏佳斯
赵军
韩志国
李源
机构
中国计量大学
上海市计量测试技术研究院
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2017年第12期840-846,共7页
基金
国家重大仪器专项资助项目(2014YQ090709)
文摘
介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,基于计量型纳米测量仪(NMM),结合多种定位测量方法,对加工的纳米台阶标准样版进行测量与评价,并对其开展区域均匀性和长时间稳定性实验。实验结果表明,制备的台阶标准样版高度值与设计值基本一致,设计的循迹结构能有效地协助电荷耦合器件(CCD)实现快速循迹与定位,且采用溅射镀膜工艺优化了标准样版表面结构的特性,使多种定位测量方法的测量重复性标准偏差均小于1 nm。
关键词
量值传递
刻蚀工艺
标准
样
版
纳米测量仪(NMM)
溅射镀膜工艺
Keywords
value transfer
etching process
standard template
nano measuring machine （NMM）
sputtering coating process
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
TB921 [一般工业技术—计量学]
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职称材料
题名
基于栅格样版正交方向扫描的精准测量
2
作者
孟凡娇
傅云霞
邵力
赵军
雷李华
机构
中国计量大学
上海市计量测试技术研究院
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第11期824-830,共7页
基金
国家重大仪器专项资助项目(2014YQ090709)
国家自然科学基金面上项目(51475335)
文摘
作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础。提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一维栅格结构的正交扫描方向角的提取方法,并通过模型转换实现了二维栅格结构的“行方向”、“列方向”正交扫描方向角提取的拓展;分析了一维和二维光栅结构的误差修正方法,通过集成的原子力显微镜（AFM）测头和激光共聚焦测头（LFS）的计量型纳米测量系统对栅格标准样版进行了多次重复性测量。结果表明,正交扫描方向角的有效提取,能大大提高周期性栅格结构的评价精度和准确性。
关键词
栅格
标准
样
版
图像畸变
正交扫描方向角
误差修正方法
纳米测量系统
Keywords
grid standard template
image distortion
orthogonal scaning direction angle
errorcorrection method
nanometer measurement system
分类号
TN305.6 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征
曲金成
雷李华
李锁印
蔡潇雨
魏佳斯
赵军
韩志国
李源
《微纳电子技术》
北大核心
2017
6
下载PDF
职称材料
2
基于栅格样版正交方向扫描的精准测量
孟凡娇
傅云霞
邵力
赵军
雷李华
《微纳电子技术》
北大核心
2018
0
下载PDF
职称材料
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