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基于超精密激光直写系统制作二维光栅
被引量：
13
1
作者
李民康
向显嵩
+5 位作者
周常河
韦春龙
贾伟
项长铖
鲁云开
朱世曜
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第9期38-46,共9页
二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空...
二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空间分布均匀。实验结果证明了超精密激光直写系统能够制作出二维光栅掩模,在制作大尺寸、高精度二维计量光栅方面有着广阔的应用前景。
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关键词
光栅
超精密系统
激光直写
栅距
测量
原文传递
非线性低频全息光栅的制作及其栅距测量
被引量：
1
2
作者
蒲利春
谷峰
冉秦翠
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
2015年第4期97-101,共5页
提出了一种满足非线性低频全息光栅设计、制作、测量等需求的新思路,设计了光路调制、元件制作及其条纹观察、栅距测量的新方法。选用迈克尔逊干涉仪调制出符合设计要求的非线性低频全息光栅,在全息光刻法下完成制作,用光学显微镜加计...
提出了一种满足非线性低频全息光栅设计、制作、测量等需求的新思路,设计了光路调制、元件制作及其条纹观察、栅距测量的新方法。选用迈克尔逊干涉仪调制出符合设计要求的非线性低频全息光栅,在全息光刻法下完成制作,用光学显微镜加计算程序法观察其条纹结构,测量了其栅距。采用EXCEL技术分析非线性低频全息光栅的条纹间距随级次变化的趋势曲线,找出了栅距随光栅级次变化区域的最佳模拟曲线及方程。
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关键词
光纤光栅
非线性低频全息光栅
栅距
测量
数据处理
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职称材料
题名
基于超精密激光直写系统制作二维光栅
被引量：
13
1
作者
李民康
向显嵩
周常河
韦春龙
贾伟
项长铖
鲁云开
朱世曜
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院大学材料与光电研究中心
暨南大学光子技术研究院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第9期38-46,共9页
基金
中国科学院前沿科学重点研究项目(QYZDJ-SSW-JSC014)
文摘
二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空间分布均匀。实验结果证明了超精密激光直写系统能够制作出二维光栅掩模,在制作大尺寸、高精度二维计量光栅方面有着广阔的应用前景。
关键词
光栅
超精密系统
激光直写
栅距
测量
Keywords
gratings
ultra-precision system
laser direct writing system
period measurement
分类号
TN241 [电子电信—物理电子学]
TN405
原文传递
题名
非线性低频全息光栅的制作及其栅距测量
被引量：
1
2
作者
蒲利春
谷峰
冉秦翠
机构
重庆理工大学光电信息学院
出处
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
2015年第4期97-101,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61007064)
文摘
提出了一种满足非线性低频全息光栅设计、制作、测量等需求的新思路,设计了光路调制、元件制作及其条纹观察、栅距测量的新方法。选用迈克尔逊干涉仪调制出符合设计要求的非线性低频全息光栅,在全息光刻法下完成制作,用光学显微镜加计算程序法观察其条纹结构,测量了其栅距。采用EXCEL技术分析非线性低频全息光栅的条纹间距随级次变化的趋势曲线,找出了栅距随光栅级次变化区域的最佳模拟曲线及方程。
关键词
光纤光栅
非线性低频全息光栅
栅距
测量
数据处理
Keywords
fiber grating
nonlinear low-frequency holographic grating
pitch measurement
data processing
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于超精密激光直写系统制作二维光栅
李民康
向显嵩
周常河
韦春龙
贾伟
项长铖
鲁云开
朱世曜
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
13
原文传递
2
非线性低频全息光栅的制作及其栅距测量
蒲利春
谷峰
冉秦翠
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
2015
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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