石墨烯晶体管研究进展 被引量：4

1

作者 李昕 郭士西 +5 位作者 宋辉 李全福 师俊杰 方明 王小力 刘卫华 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1-8,48,共9页

针对集成电路的特征尺寸小于10nm以下所面临的短沟道效应、隧道效应和制造工艺限制困难引发的研究热点——石墨烯能否替代硅,着重从数字晶体管、射频晶体管和柔性透明晶体管3个方面概括和分析了新型石墨烯晶体管的发展现状。分析认为:... 针对集成电路的特征尺寸小于10nm以下所面临的短沟道效应、隧道效应和制造工艺限制困难引发的研究热点——石墨烯能否替代硅,着重从数字晶体管、射频晶体管和柔性透明晶体管3个方面概括和分析了新型石墨烯晶体管的发展现状。分析认为:石墨烯平行纳米带阵列结构和异质结结构有望打开石墨烯禁带以实现大的电流开关比,将是石墨烯数字晶体管的研究热点;通过降低接触电阻、接入电阻以及衬底、栅介质的匹配来提高截止频率和最大振荡频率将是石墨烯射频晶体管的主要发展趋势;基于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底和离子凝胶栅介质的柔性制造技术,最有希望在保证石墨烯高迁移率的基础之上实现全石墨烯透明柔性电路,使石墨烯晶体管得以实用,必将对集成电路行业产生巨大影响。 展开更多

关键词 石墨烯晶体管 禁带 截止频率 最大振荡频率 柔性晶体管

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数字化生存的未来（上）

2

作者 宋振峰 《国外科技动态》 2001年第1期3-7,共5页

闻名世界的麻省理工学院（MIT）媒体实验室在20世纪80年代创办时，它所提出的林林总总的科技发明在当时被人视为非常前卫的东西。媒体实验室的创始人尼葛洛庞帝在《数字化生存》一书里提到的“预言”正一步步被实现。那些当年被视为不... 闻名世界的麻省理工学院（MIT）媒体实验室在20世纪80年代创办时，它所提出的林林总总的科技发明在当时被人视为非常前卫的东西。媒体实验室的创始人尼葛洛庞帝在《数字化生存》一书里提到的“预言”正一步步被实现。那些当年被视为不可思议、属于未来的计算机发明，如虚拟影像、电子宠物、可穿在身上的计算机衣饰等，正一个接一个地得到了实现。如今，他们又邀请了不同技术领域的权威，就未来十年人们关注的重大技术作了展望。这些技术将对社会的发展和人们的生活产生深远的影响。本文选出其中十项最具诱惑力的未来技术，并请每一项技术的发明者就该技术的应用前景作出预测。这些预言是否会像以往那样成为现实，让我们拭目以待。 展开更多

关键词 数字化技术 应用 生物识别 柔性晶体管 人机界面 数据挖掘 机器人设计

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美国《技术评论》杂志选出十大新技术领域

3

作者 程如烟 《全球科技经济瞭望》 2001年第5期50-52,共3页

关键词 脑机界面 柔性晶体管 数据挖掘 微光子学 机器人技术 数字产权管理 生物计量学 自然语言处理

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柔性晶体管阵列

4

作者 Peter Smith David Allee +2 位作者 Curt Moyer Douglas Loy 刘召军 《现代显示》 2005年第9期27-31,共5页

现在市场上出现了柔性晶体管阵列并且前景诱人,但是在柔性阵列技术进入主流市场之前还要克服不少困难。

关键词 柔性晶体管阵列 有源矩阵 非晶硅TFT

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基于柔性显示器件的氧化铝介电层室温制备 被引量：6

5

作者 姚日晖 郑泽科 +10 位作者 曾勇 胡诗犇 刘贤哲 陶瑞强 陈建秋 蔡炜 宁洪龙 徐苗 王磊 兰林锋 彭俊彪 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期367-372,共6页

在室温环境下采用射频磁控溅射方法制备了氧化铝(A_l2O_3)薄膜,通过调节溅射气压实现了对薄膜特性的优化控制。当溅射功率为120 W、Ar气压强为0.13Pa时,制备的A_l2O_3薄膜具有最好的厚度均匀性,薄膜中Al和O的原子比为1∶1.67,密度为3.21... 在室温环境下采用射频磁控溅射方法制备了氧化铝(A_l2O_3)薄膜,通过调节溅射气压实现了对薄膜特性的优化控制。当溅射功率为120 W、Ar气压强为0.13Pa时,制备的A_l2O_3薄膜具有最好的厚度均匀性,薄膜中Al和O的原子比为1∶1.67,密度为3.21g/cm^3,粗糙度为0.62nm。这种平滑、致密的薄膜结构能够有效地减少缺陷的形成,获得高击穿电压、高相对介电常数和低漏电等性能。利用优化后的A_l2O_3薄膜作为栅极绝缘层,在聚酰亚胺树脂(PI)基板上室温制备了柔性非晶态铟镓锌氧化物-薄膜晶体管(α-IGZO-TFT),其迁移率为2.19cm2/(V·s),开关比达到105,亚阈值摆幅为0.366V/decade,阈值电压为3.01V。 展开更多

关键词 薄膜 柔性薄膜晶体管 氧化铝 介电层 射频磁控溅射 室温制备

原文传递

电子纸用柔性薄膜晶体管的研究进展

6

作者 高执文 许伟 +7 位作者 姚日晖 魏小琴 钟锦耀 杨跃鑫 符晓 刘泰江 宁洪龙 彭俊彪 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2022年第8期948-958,共11页

薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)作为像素中的开关元器件,与存储电容一起组成电子纸显示器的驱动电路。本文按照柔性TFT有源层的不同进行分类:有机薄膜晶体管(Organic Thin Film Transistor,OTFT)、非晶硅薄膜晶体管(Amorphous Si... 薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)作为像素中的开关元器件,与存储电容一起组成电子纸显示器的驱动电路。本文按照柔性TFT有源层的不同进行分类:有机薄膜晶体管(Organic Thin Film Transistor,OTFT)、非晶硅薄膜晶体管(Amorphous Silicon Thin Film Transistor,a-Si TFT)、金属氧化物薄膜晶体管(Metal Oxide Thin Film Transis⁃tor,MOTFT),介绍它们在柔性电子纸显示器中的研究进展,着重关注器件的柔性、电学特性以及稳定性。最后进行了对比分析,提出MOTFT有望凭借优良的电学特性、高光学透明性以及相对较低的工艺温度等优势成为驱动下一代柔性电子纸显示器的最佳候选者。 展开更多

关键词 电子纸 柔性薄膜晶体管 金属氧化物薄膜晶体管 驱动

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应用于柔性薄膜晶体管的无色透明聚酰亚胺研究进展 被引量：1

7

作者 张培斌 崔晶 +2 位作者 刘京妮 孙旭阳 李应成 《化学反应工程与工艺》 CAS 北大核心 2020年第5期473-480,共8页

为实现柔性可折叠显示器件的应用,聚酰亚胺膜在柔性的薄膜晶体管(TFT)材料制备中被广泛应用,无色透明聚酰亚胺(CPI)作为一类兼顾无色透明性及耐热性的聚合物近些年受到关注,其可进一步实现全透明的柔性显示。本研究综述了柔性TFT应用场... 为实现柔性可折叠显示器件的应用,聚酰亚胺膜在柔性的薄膜晶体管(TFT)材料制备中被广泛应用,无色透明聚酰亚胺(CPI)作为一类兼顾无色透明性及耐热性的聚合物近些年受到关注,其可进一步实现全透明的柔性显示。本研究综述了柔性TFT应用场景下对CPI膜的各项性能要求及相对应的调控机理,针对CPI膜透光性与耐热性、尺寸稳定性等性能间存在的相互制约的特点,指出通过模拟计算选择合适单体结构及调整加工工艺等手段,可实现CPI膜各项性能的综合提升,为将来更多场景下的应用提供理论依据。 展开更多

关键词 无色透明聚酰亚胺 柔性薄膜晶体管 基板材料 耐热性 透光性 尺寸稳定性

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柔性非晶InGaZnO薄膜晶体管栅绝缘层的研究 被引量：1

8

作者 刘国超 张磊 +2 位作者 解海艇 周俨 董承远 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期43-47,共5页

采用磁控溅射方法,在聚酰亚胺薄膜上室温制备了非晶铟镓锌氧(a-IGZO)柔性薄膜晶体管(TFT)。其中,栅绝缘层选择了不同厚度比例的氧化硅(SiO_x)与氧化坦(TaO_x)薄膜的搭配,对比研究了不同栅绝缘层结构的薄膜特性以及所对应的柔性TFT器件... 采用磁控溅射方法,在聚酰亚胺薄膜上室温制备了非晶铟镓锌氧(a-IGZO)柔性薄膜晶体管(TFT)。其中,栅绝缘层选择了不同厚度比例的氧化硅(SiO_x)与氧化坦(TaO_x)薄膜的搭配,对比研究了不同栅绝缘层结构的薄膜特性以及所对应的柔性TFT器件的操作特性和偏压稳定性。实验结果表明,TaO_x的成膜速率明显高于SiO_x;随着TaO_x所占比例的增加,栅绝缘层表面粗糙度降低,介电常数显著提高。以300nm厚TaO_x搭配300nm厚SiO_x为例,栅绝缘层相对介电常数可以达到10,对应的a-IGZOTFT表现出了更高的的开态电流和更低的阈值电压,但是器件漏电流略有增加,正偏压稳定性也会有所下降。 展开更多

关键词 栅绝缘层 柔性薄膜晶体管 非晶铟镓锌氧 磁控溅射

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高柔软度的晶体管

9

《金属功能材料》 CAS 2016年第2期54-54,共1页

日本产业技术综合研究所纳米管研究中心关田贵子等人开发成功可弯曲可伸长、柔软度像衣服的晶体管，完全不用金属和硅基板这些硬材料，而是用单层碳纳米管（CNT）、离子凝胶及硅酮等柔软材料制成，其表征晶体管特性的开-关比为1万，和... 日本产业技术综合研究所纳米管研究中心关田贵子等人开发成功可弯曲可伸长、柔软度像衣服的晶体管，完全不用金属和硅基板这些硬材料，而是用单层碳纳米管（CNT）、离子凝胶及硅酮等柔软材料制成，其表征晶体管特性的开-关比为1万，和原先柔性晶体管一样。未来将与柔性传感器组合，开发医疗器械上用来测量人体压力分布的传感器。 展开更多

关键词 晶体管特性 柔软度 日本产业技术综合研究所 单层碳纳米管 柔性晶体管 传感器组 压力分布 医疗器械

原文传递

透明、可拉伸的仿皮肤式摩擦纳米发电机研制成功

10

《电光系统》 2017年第2期51-51,共1页

近年来，随着柔性晶体管／集成电路、可拉伸光电器件、可折叠显示屏和电子皮肤等各种革命性功能产品的大量涌现，柔性／可拉伸电子产品取得了飞速的发展。这些产品对其供能设备则提出了更高的要求，希望其具有相当的柔韧性和可拉伸性。... 近年来，随着柔性晶体管／集成电路、可拉伸光电器件、可折叠显示屏和电子皮肤等各种革命性功能产品的大量涌现，柔性／可拉伸电子产品取得了飞速的发展。这些产品对其供能设备则提出了更高的要求，希望其具有相当的柔韧性和可拉伸性。然而，鲜有能源器件可以同时实现柔韧性、高透明度和可拉伸性。另外，市场不断增长的可穿戴电子产品和植入式电子产品，要求其供能设备除柔韧性和可拉伸性之外，也需要同时具有良好的生物兼容性。 展开更多

关键词 可拉伸性 皮肤 发电机 柔性晶体管 电子产品 纳米 摩擦 光电器件

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透明可拉伸的仿皮肤式摩擦纳米发电机研制成功

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《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2017年第7期94-94,共1页

近年来，随着柔性晶体管／集成电路、可拉伸光电器件、可折叠显示屏和电子皮肤等各种革命性功能产品的大量涌现，柔性／可拉伸电子产品取得了飞速的发展。这些产品对其供能设备则提出了更高的要求，希望其具有相当的柔韧性和可拉伸性。... 近年来，随着柔性晶体管／集成电路、可拉伸光电器件、可折叠显示屏和电子皮肤等各种革命性功能产品的大量涌现，柔性／可拉伸电子产品取得了飞速的发展。这些产品对其供能设备则提出了更高的要求，希望其具有相当的柔韧性和可拉伸性。然而，鲜有能源器件可以同时实现柔韧性、高透明度和可拉伸性。 展开更多

关键词 可拉伸性 皮肤 发电机 柔性晶体管 纳米 摩擦 光电器件 功能产品

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基于电解质晶体管的人工突触

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作者 李倩倩 郑晓颖 +1 位作者 何崟 万刚 《传感器世界》 2023年第3期1-7,共7页

后摩尔时代背景下,现有的冯·诺依曼计算模式弊端逐渐凸显,需要寻找新的计算模式。三端非易失性电解质晶体管通道内电子和离子的耦合作用会极大地提高导电率。同时,离子-电子动力学的存在使之从物理模型到工作机制都更加贴合真实生... 后摩尔时代背景下,现有的冯·诺依曼计算模式弊端逐渐凸显,需要寻找新的计算模式。三端非易失性电解质晶体管通道内电子和离子的耦合作用会极大地提高导电率。同时,离子-电子动力学的存在使之从物理模型到工作机制都更加贴合真实生物突触,且能最大限度兼顾自适应性和鲁棒性。文章基于电解质晶体管在神经突触方面展开综述,针对人工突触工作机制、各种电解质材料优点和结构组成对突触晶体管性能的影响进行分析,总结概述模拟生物突触的电子设备的器件组成和具体的实际应用等方面最近的研究进展,指出现阶段面临的主要挑战,并对未来进行展望。 展开更多

关键词 柔性传感器 柔性电子电路 柔性电化学晶体管

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不同表面修饰制备高性能柔性薄膜晶体管 被引量：5

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作者 林广庆 李鹏 +3 位作者 熊贤风 吕国强 王晓鸿 邱龙臻 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1392-1399,共8页

分别采用六甲基二硅胺(HMDS,Hexamethyldisilazane)和聚苯乙烯/氯硅烷复合材料修饰聚乙烯基苯酚(PVP)绝缘层制备了底接触的有机薄膜晶体管并研究了其半导体层的表面形貌和器件的电学性能。原子力显微镜观察发现,并五苯半导体薄膜在不同... 分别采用六甲基二硅胺(HMDS,Hexamethyldisilazane)和聚苯乙烯/氯硅烷复合材料修饰聚乙烯基苯酚(PVP)绝缘层制备了底接触的有机薄膜晶体管并研究了其半导体层的表面形貌和器件的电学性能。原子力显微镜观察发现,并五苯半导体薄膜在不同的界面修饰上的生长形貌产生了很大变化。在PVP上沉积的并五苯晶粒尺寸都小于150 nm,经过聚苯乙烯/氯硅烷复合材料和HMDS处理后的PVP表面生长的并五苯晶粒尺寸则分别在200~400 nm和400~600 nm。大尺寸的晶粒能够减小器件沟道内的陷阱浓度,从而有效地提高电学性能。PVP绝缘层采用聚苯乙烯/氯硅烷和HMDS修饰后,与未修饰的器件相比迁移率分别提高了58倍和82倍。采用HMDS作为表面修饰层制备柔性OTFT,并五苯场效应晶体管的关态电流约为10-9A,电流的开关比超过104,最大场效应迁移率约可达0.338 cm2·V-1·s-1. 展开更多

关键词 并五苯 聚乙烯基苯酚(PVP) 聚苯乙烯(PS) 偏压应力 柔性有机薄膜晶体管

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