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UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针
被引量：
13
1
作者
明平美
朱荻
+1 位作者
胡洋洋
曾永彬
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期735-740,共6页
对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究,给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程,分析了制备的技术关键,试验优选了关键制备环节的工艺参数,在此基础上,制作出微型柔性镍接触探针。试验结果表明:采用工艺...
对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究,给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程,分析了制备的技术关键,试验优选了关键制备环节的工艺参数,在此基础上,制作出微型柔性镍接触探针。试验结果表明:采用工艺条件优选的UV-LIGA技术,如前烘60℃,120 min,90℃,120 min;较大曝光剂量;后烘65℃,10min,95℃,45 min;匀胶后静置、随炉冷却和超声辅助显影等辅助措施,所制备出的柔性接触探针(主体总长4 mm,宽80μm,高100μm;弹簧处高宽比为5(100μm:20μm))尺寸精度高;三角锥状针尖曲率半径小于5μm;缺陷少,形貌质量高。
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关键词
UV—LIGA
柔性
接触
探针
SU-8胶
光刻
电铸
下载PDF
职称材料
题名
UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针
被引量：
13
1
作者
明平美
朱荻
胡洋洋
曾永彬
机构
河南理工大学机械与动力工程学院
南京航空航天大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期735-740,共6页
基金
江苏省自然科学基金资助项目(No.2004214)
文摘
对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究,给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程,分析了制备的技术关键,试验优选了关键制备环节的工艺参数,在此基础上,制作出微型柔性镍接触探针。试验结果表明:采用工艺条件优选的UV-LIGA技术,如前烘60℃,120 min,90℃,120 min;较大曝光剂量;后烘65℃,10min,95℃,45 min;匀胶后静置、随炉冷却和超声辅助显影等辅助措施,所制备出的柔性接触探针(主体总长4 mm,宽80μm,高100μm;弹簧处高宽比为5(100μm:20μm))尺寸精度高;三角锥状针尖曲率半径小于5μm;缺陷少,形貌质量高。
关键词
UV—LIGA
柔性
接触
探针
SU-8胶
光刻
电铸
Keywords
UV-LIGA
soft contact microprobe
SU-8 resist
photography
electroforming
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针
明平美
朱荻
胡洋洋
曾永彬
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
13
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职称材料
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