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极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响
被引量：
5
1
作者
谢婉露
吴晓斌
+2 位作者
王魁波
罗艳
王宇
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期48-53,共6页
实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增...
实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增大,受光源放电频率影响较小;典型工作条件下,光斑尺寸在0.79~1.44 mm之间,聚焦光束单脉冲能量在112.09~436.06μJ范围内;在200 Hz、5.0 J时聚焦光束单脉冲能量最高为436.06μJ,聚焦光束单脉冲能量密度最高达到31.53 mJ/cm^2,在1500 Hz、4.6 J时聚焦功率密度达32.87 W/cm^2;最优缓冲气体Ar气工作气压为1~2 Pa,此时聚焦光束单脉冲能量最优。该测试研究可为极紫外辐照损伤测试研究中系统参数优化及设置提供指导参考。
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关键词
激
光
光
学
极
紫外
极
紫外
辐照损伤测试系统
极
紫外光
源
参数
聚焦
光
斑
聚焦能量
原文传递
题名
极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响
被引量：
5
1
作者
谢婉露
吴晓斌
王魁波
罗艳
王宇
机构
中国科学院微电子研究所
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期48-53,共6页
基金
国家科技重大专项(2012ZX02702001)。
文摘
实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增大,受光源放电频率影响较小;典型工作条件下,光斑尺寸在0.79~1.44 mm之间,聚焦光束单脉冲能量在112.09~436.06μJ范围内;在200 Hz、5.0 J时聚焦光束单脉冲能量最高为436.06μJ,聚焦光束单脉冲能量密度最高达到31.53 mJ/cm^2,在1500 Hz、4.6 J时聚焦功率密度达32.87 W/cm^2;最优缓冲气体Ar气工作气压为1~2 Pa,此时聚焦光束单脉冲能量最优。该测试研究可为极紫外辐照损伤测试研究中系统参数优化及设置提供指导参考。
关键词
激
光
光
学
极
紫外
极
紫外
辐照损伤测试系统
极
紫外光
源
参数
聚焦
光
斑
聚焦能量
Keywords
laser optics
extreme ultraviolet
extreme ultraviolet radiation-damage-test system
extreme ultraviolet source parameters
focal spot
focal energy
分类号
O434 [机械工程—光学工程]
TN23 [理学—光学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响
谢婉露
吴晓斌
王魁波
罗艳
王宇
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
5
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