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微型溅射离子泵极小抽速精确测量的意义和难点
被引量：
3
1
作者
郭美如
成永军
+7 位作者
孙雯君
任正宜
陈江
王佐磊
董猛
吴成耀
李海涛
耿健
《真空与低温》
2020年第1期42-47,共6页
抽速小于10-4 m^ 3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10-2 m^3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需。制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10-5~10-...
抽速小于10-4 m^ 3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10-2 m^3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需。制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10-5~10-4 m ^3/s量级,与被测微型真空泵抽速在同一数量级,以及现有测量方法无法适用于极小抽速的测量。在论述微型溅射离子泵极小抽速测量的重要意义及分析其难点的基础上,调研了极小抽速测量研究的最新进展,提出了极小抽速测量的构想,期望能为实现微型溅射离子泵极小抽速的精确测量提供帮助。
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关键词
微型溅射离子泵
极小
抽
速
精确测量
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职称材料
微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究
被引量：
1
2
作者
耿健
郭美如
+7 位作者
王晓冬
张世伟
成永军
孙雯君
黄海龙
李海涛
任正宜
吴成耀
《真空与低温》
2021年第1期45-51,共7页
为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究。得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布...
为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究。得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布变化,并分析了这些因素对抽速的影响。在搭建的实验平台上对微型溅射离子泵进行了抽速测量,得到了不同工作电压下抽速随压力变化的曲线,并与理论抽速相对比,模拟结果、实验数据与理论抽速有较好的一致性。对溅射离子泵的设计与改进具有参考价值。
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关键词
微型溅射离子泵
放电模拟
极小
抽
速
抽
气特性
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职称材料
流量计法测量微型溅射离子泵抽速的方法
3
作者
耿健
王晓冬
+1 位作者
郭美如
黄海龙
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期1298-1304,1313,共8页
介绍了基于流量计法原理搭建的抽速测量装置.在1×10^(-4)~1×10^(-2)Pa下使用磁悬浮转子真空计测量压力,当压力低于1×10^(-4)Pa时使用电离真空计测量压力.提出了一种测量电离真空计抽速与放气率的方法,测量了电离真空计在...
介绍了基于流量计法原理搭建的抽速测量装置.在1×10^(-4)~1×10^(-2)Pa下使用磁悬浮转子真空计测量压力,当压力低于1×10^(-4)Pa时使用电离真空计测量压力.提出了一种测量电离真空计抽速与放气率的方法,测量了电离真空计在1×10^(-6)~1×10^(-4)Pa压力下的抽速与放气率.在搭建好的设备上,测量了微型溅射离子泵对氮气和氦气的抽速.使用COMSOL软件分析了不同压力下泵的放电状态并与实验结果进行对比,所得结果一致性好.流量计法的相对标准不确定度低于4.4%。
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关键词
溅射离子泵
极小
抽
速
不确定度
仿真分析
潘宁放电
下载PDF
职称材料
题名
微型溅射离子泵极小抽速精确测量的意义和难点
被引量：
3
1
作者
郭美如
成永军
孙雯君
任正宜
陈江
王佐磊
董猛
吴成耀
李海涛
耿健
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
东北大学
出处
《真空与低温》
2020年第1期42-47,共6页
基金
国家自然科学基金(61971209)
文摘
抽速小于10-4 m^ 3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10-2 m^3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需。制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10-5~10-4 m ^3/s量级,与被测微型真空泵抽速在同一数量级,以及现有测量方法无法适用于极小抽速的测量。在论述微型溅射离子泵极小抽速测量的重要意义及分析其难点的基础上,调研了极小抽速测量研究的最新进展,提出了极小抽速测量的构想,期望能为实现微型溅射离子泵极小抽速的精确测量提供帮助。
关键词
微型溅射离子泵
极小
抽
速
精确测量
Keywords
micro-sputtering ion pump
minimum pumping speed
accurate measurement
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究
被引量：
1
2
作者
耿健
郭美如
王晓冬
张世伟
成永军
孙雯君
黄海龙
李海涛
任正宜
吴成耀
机构
东北大学
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空与低温》
2021年第1期45-51,共7页
基金
国家自然科学基金项目(61971209)
国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
文摘
为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究。得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布变化,并分析了这些因素对抽速的影响。在搭建的实验平台上对微型溅射离子泵进行了抽速测量,得到了不同工作电压下抽速随压力变化的曲线,并与理论抽速相对比,模拟结果、实验数据与理论抽速有较好的一致性。对溅射离子泵的设计与改进具有参考价值。
关键词
微型溅射离子泵
放电模拟
极小
抽
速
抽
气特性
Keywords
micro sputtering ion pump
discharge simulation
minimum pumping speed
extraction characteristics
分类号
TB75 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
流量计法测量微型溅射离子泵抽速的方法
3
作者
耿健
王晓冬
郭美如
黄海龙
机构
东北大学机械工程与自动化学院
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期1298-1304,1313,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(61971209)
国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
文摘
介绍了基于流量计法原理搭建的抽速测量装置.在1×10^(-4)~1×10^(-2)Pa下使用磁悬浮转子真空计测量压力,当压力低于1×10^(-4)Pa时使用电离真空计测量压力.提出了一种测量电离真空计抽速与放气率的方法,测量了电离真空计在1×10^(-6)~1×10^(-4)Pa压力下的抽速与放气率.在搭建好的设备上,测量了微型溅射离子泵对氮气和氦气的抽速.使用COMSOL软件分析了不同压力下泵的放电状态并与实验结果进行对比,所得结果一致性好.流量计法的相对标准不确定度低于4.4%。
关键词
溅射离子泵
极小
抽
速
不确定度
仿真分析
潘宁放电
Keywords
sputter ion pump(SIP)
low pumping speed
uncertainty
simulated analysis
penning discharge
分类号
TB753 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微型溅射离子泵极小抽速精确测量的意义和难点
郭美如
成永军
孙雯君
任正宜
陈江
王佐磊
董猛
吴成耀
李海涛
耿健
《真空与低温》
2020
3
下载PDF
职称材料
2
微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究
耿健
郭美如
王晓冬
张世伟
成永军
孙雯君
黄海龙
李海涛
任正宜
吴成耀
《真空与低温》
2021
1
下载PDF
职称材料
3
流量计法测量微型溅射离子泵抽速的方法
耿健
王晓冬
郭美如
黄海龙
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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