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一种高精度测量束斑电流的新方法
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作者 魏守水 陈振生 +1 位作者 赵春民 张玉林 《微细加工技术》 1999年第2期8-11,共4页
提出了一种高精度测量电子束曝光机束流的新方法。并给出测量电路，该电路在未加屏蔽的情况下，可达９０ｄＢ的共模抑制比。
关键词 电子束曝光机 A/D转换 束斑电流 测量
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