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题名多层薄膜沉积的应力仿真分析
被引量：8
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作者
李长安
杨明冬
全本庆
关卫林
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机构
武汉光迅科技股份有限公司
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2018年第4期404-408,共5页
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文摘
提出了一种薄膜本征应力的模拟方法,数值仿真分析了多层薄膜沉积过程中的热应力和本征应力。通过引入本征应力系数,并借助现有的热应力有限元分析程序,模拟了薄膜的本征应力,并从理论上证明了该方法的合理性。采用模型重构-应力初始化的方法模拟了材料增长,建立了多层薄膜应力分析模型。工程实例分析结果表明,采用该方法和流程可以方便地模拟出多层薄膜在每个沉积阶段的本征应力和热应力。
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关键词
薄膜
膜应力
有限元
材料增长
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Keywords
thin films
film stress
finite element
material growth
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分类号
TB43
[一般工业技术]
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题名快速原型制造技术及应用
被引量：3
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作者
赵志文
程昌圻
韩秀坤
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机构
北京理工大学车辆工程学院
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出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
1994年第S1期58-65,共8页
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文摘
介绍了快速原型制造的工作原理及制造技术，着重介绍了ＳＬＡ，３ＤＰｒｉｎｔｉｎｇ，ＳＬＳ和ＬＯＭ４种系统原型的制造技术，并对目前快速原型制造技术中存在的问题及今后的发展趋势进行了论述．
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关键词
制造/快速原型制造
立体制版
材料增长制造
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Keywords
manufacting/rapid prototyping
stereolithography
material increas manufacturing
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名中国新材料产业技术进步对产出增长贡献的分析
被引量：5
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作者
陈建勋
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机构
上海社会科学院部门经济研究所
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出处
《上海经济研究》
CSSCI
北大核心
2009年第6期19-27,共9页
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文摘
本文通过模型观察和研究36家新材料上市公司2002-2007年数据,解释和分析2002-2007年间新材料产业总产出及其增长是如何决定的。通过分析可知,中国新材料行业,特别是上市企业,资本量提高迅速,但在目前还没有取得与资本规模增长幅度相一致的产出增长率。在2002年至2005年期间,还发生随着产出规模的扩大,新材料产业的技术进步贡献率却不断降低的现象。本文认为,这是中国新材料产业发展中一个危险的信号。说明大量新材料上市企业采用的是购并等外延式的产业扩张模式,在短时间内投入了大量的资本,扩展了行业规模,真正依赖技术进步的内涵式发展的模式十分少见。因此,要加大科技进步对产出的贡献,必须通过改革新材料产业的投融资机制,严格控制资源性开采量,切实转变新材料产业增长方式。
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关键词
新材料产业
资本劳动产出弹性
技术进步效率
新材料产业增长方式
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Keywords
New material industry, Capital - labor ratio, Efficiency of technology improvement, changing mode of new material industry increase
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分类号
F403.7
[经济管理—产业经济]
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