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用杂交技术制备厚膜—架起了溶胶-凝胶与传统陶瓷制备工艺之间的桥梁(英文)
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作者 张红芳 《苏州科技学院学报（工程技术版）》 CAS 2012年第1期51-55,共5页
介绍了用杂交工艺制备铁电厚膜,这种新的制备技术结合了溶胶-凝胶湿化学方法与传统陶瓷制备工艺。并以可调的微波钛酸锶钡厚膜材料的制备与性能的表征为例,来阐述这种新工艺。结果表明,采用这种创新的杂交工艺,沉积在硅和氧化铝基片上... 介绍了用杂交工艺制备铁电厚膜,这种新的制备技术结合了溶胶-凝胶湿化学方法与传统陶瓷制备工艺。并以可调的微波钛酸锶钡厚膜材料的制备与性能的表征为例,来阐述这种新工艺。结果表明,采用这种创新的杂交工艺,沉积在硅和氧化铝基片上的钛酸锶钡厚膜,可以在低的热处理温度600～700℃成功获得。并且这种工艺可以灵活地制备厚度在几个到几十个微米的致密的、无裂纹和均匀的陶瓷厚膜,制备技术重复性好。厚膜的性能显示:在100 kHz,可轻易得到厚膜的介电损耗低于10-3,可调度为30%～50%之间。 展开更多
关键词 杂交工艺 溶胶-凝胶 微波 厚膜 介电常数 可调度
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