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复合材料的切割 被引量：8
1
作者 曹增强 于晓江 +2 位作者 蒋红宇 龚佑宏 朱春燕 《航空制造技术》 2011年第15期32-35,共4页
切割加工是复合材料制造工艺中一个重要环节。本文介绍了复合材料常用切割方法,对高压水切割、机械切割等切割方法的工艺参数进行了实验研究。从切口质量、切割效率、切割成本等方面对常用切割方法进行了对比,并分析了不同切割方法对材... 切割加工是复合材料制造工艺中一个重要环节。本文介绍了复合材料常用切割方法,对高压水切割、机械切割等切割方法的工艺参数进行了实验研究。从切口质量、切割效率、切割成本等方面对常用切割方法进行了对比,并分析了不同切割方法对材料的影响。 展开更多
关键词 复合材料 制造工艺 机械切割 高压水切割 切割方法 激光切割 激光加工 数控切割 超声切割 切割质量 切割速度 砂轮片 铣削 金属切削 树脂基体 聚合物基体 切割加工
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渤海油田腐蚀垢卡油管打捞工艺技术——以绥中36-1A井为例 被引量：11
2
作者 姚园 《辽宁石油化工大学学报》 CAS 2019年第2期83-87,共5页
渤海油田稠油资源丰富,稠油区块注水注聚驱动开发策略已实施多年,油藏采收率大幅提高。然而,注水注聚井油管腐蚀、井内污垢积聚以及聚合物垢卡等问题日益突出,导致注采量下降,严重影响油田的正常生产和经济效益。位于渤海油田绥中区块的... 渤海油田稠油资源丰富,稠油区块注水注聚驱动开发策略已实施多年,油藏采收率大幅提高。然而,注水注聚井油管腐蚀、井内污垢积聚以及聚合物垢卡等问题日益突出,导致注采量下降,严重影响油田的正常生产和经济效益。位于渤海油田绥中区块的36-1A井长期注水注聚,井下管柱腐蚀垢卡严重,防砂管柱内径较小而无法套铣,在前期应用"MPC(Mechanical Pipe Cutter)切割+震击倒扣打捞"工艺遭遇瓶颈后,通过应用"机械内切割+震击倒扣打捞交替+磨铣解卡"工艺,最终成功捞获井内全部中心管,并由此得出宝贵经验:针对井内积聚大量聚合物垢,首先应用小油管彻底通井冲洗,同时洗井液中添加合适的除垢剂;针对腐蚀、垢卡且不能套铣的中心管,在震击倒扣打捞手段无效后,应遵循切割为主、钻磨为辅的处理原则;钻磨作业期间,应遵循高转速、低钻压磨铣思路,避免产生大块铁屑,谨防卡钻。本文系统总结了打捞过程及技术要点,为今后渤海油田同类作业提供了指导性建议。 展开更多
关键词 渤海油田 油管 腐蚀垢卡 机械切割 磨铣 打捞工艺
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浅谈纤维增强复合材料切割技术 被引量：7
3
作者 陈明 《机械制造》 北大核心 1997年第11期6-7,共2页
纤维增强复合材料性能取决于纤维类型、性能、纤维方向以及基体与纤维的相对体积。从微观上说,纤维增强复合材料是具有非均匀性、各向异性的力学结构材料。纤维增强复合材料因具有耐疲劳性能好、力学性能可优化设计、成型工艺性好等优... 纤维增强复合材料性能取决于纤维类型、性能、纤维方向以及基体与纤维的相对体积。从微观上说,纤维增强复合材料是具有非均匀性、各向异性的力学结构材料。纤维增强复合材料因具有耐疲劳性能好、力学性能可优化设计、成型工艺性好等优点而广泛应用于兵器、航空航天及其他民用工业部门。各种纤维增强复合材料在用不同的成型工艺固化成型之后,为了满足实际使用要求,多数情况下均要进行切割修整加工,切割加工是其制造工艺中一个重要环节。本文在大量试验的基础上,将综述机械切割、激光切割、水(磨料)射流切割、电火花切割等加工方法特点,指出根据各种复合材料不同性能,合理地选用切割方法及切割工艺,具有重要的现实意义。 展开更多
关键词 纤维增强 复合材料 切割 机械切割 激光 电火花
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机械切割在南海西部气田修井作业中的应用 被引量：8
4
作者 徐太保 《石油管材与仪器》 2020年第6期83-85,共3页
目前国内油田井下油管、钻杆的主要切割方式需要用到火工品、化学品等危险品,增加了作业和运输的风险。南海西部DFX-X-X井切割作业遇到管柱通径小、管材高含铬、切割区域极短等问题。机械切割(Mechanical Pipe Cutter,MPC)是一种通过测... 目前国内油田井下油管、钻杆的主要切割方式需要用到火工品、化学品等危险品,增加了作业和运输的风险。南海西部DFX-X-X井切割作业遇到管柱通径小、管材高含铬、切割区域极短等问题。机械切割(Mechanical Pipe Cutter,MPC)是一种通过测井电缆输送和地面控制的机械式的切割技术,工具外径小,能解决切割管柱通径小、无法下入等问题,能切割高含铬石油管材。介绍了切割技术的选择和切割工艺实施过程,经机械切割的永久封隔器芯轴割口齐整、定位准确,切割过程安全迅速,有效解决了上述问题。该技术在井下套管、油管和钻杆等切割作业中有良好的应用前景。 展开更多
关键词 油田切割 机械切割 修井 封隔器芯轴
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渤海油田切割工艺技术研究 被引量：8
5
作者 许清海 胡晋阳 +2 位作者 刘春阳 胡星杰 白鹏 《石化技术》 CAS 2018年第5期109-110,共2页
切割是处理钻井、完井及修井作业过程中卡钻事故最常用的工艺技术。针对海上油田作业时发生的卡钻事故,在考虑切割前与切割后井况的条件下,给出了对于切割位置的选择方法,并分析了各种切割工艺技术适用条件、范围、优缺点以及注意事项,... 切割是处理钻井、完井及修井作业过程中卡钻事故最常用的工艺技术。针对海上油田作业时发生的卡钻事故,在考虑切割前与切割后井况的条件下,给出了对于切割位置的选择方法,并分析了各种切割工艺技术适用条件、范围、优缺点以及注意事项,这对海上油田在以切割工艺来处理卡钻事故时具有一定指导意义。 展开更多
关键词 卡钻 化学切割 机械切割 工艺技术
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油气井井下切割技术发展现状及趋势
6
作者 蔡灿 曾浪 +4 位作者 刘家炜 樊康康 曹文洋 周圣文 曾薪 《西安石油大学学报（自然科学版）》 北大核心 2024年第1期89-96,113,共9页
油气开发后期,退役井数量急剧增加,完井修井作业中套管磨损、卡钻等问题突出,退役经济耗费显著增加。为最大限度减少卡钻和退役经济耗费,有必要开展新型套管切割技术及装备的研发与应用。首先,总结了现阶段井下管柱切割技术的主要类型... 油气开发后期,退役井数量急剧增加,完井修井作业中套管磨损、卡钻等问题突出,退役经济耗费显著增加。为最大限度减少卡钻和退役经济耗费,有必要开展新型套管切割技术及装备的研发与应用。首先,总结了现阶段井下管柱切割技术的主要类型、工作原理和配套装备,包括机械切割、磨料射流切割、聚能切割、化学切割、电弧切割以及激光切割;对比机械切割、磨料射流切割以及特种切割方式的技术发展现状和趋势,分析上述切割方式的工程应用及优缺点;在此基础上,提出面向高效套管切割工程需求的主要切割技术及工具。结合目前切割技术及工具的发展现状,对未来井下管柱切割技术给出优化割刀性能、加强磨料射流切割的控制、研制新型切割工具及切割工具智能化等建议。 展开更多
关键词 井下工具 切割技术 机械切割 磨料射流切割 特种切割
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深基坑钢筋混凝土内支撑切割拆除施工技术 被引量：7
7
作者 陈保平 范海飞 《建筑施工》 2015年第12期1396-1397,共2页
南昌市人力资源和社会保障公共服务中心工程地下室基坑支护采用地下连续墙(两墙分离)加3道钢筋混凝土内支撑的围护形式,在钢筋混凝土内支撑拆除施工时,决定采用机械切割为主、风镐拆除为辅的方式。该方法具有工效高、噪声低的优点,在保... 南昌市人力资源和社会保障公共服务中心工程地下室基坑支护采用地下连续墙(两墙分离)加3道钢筋混凝土内支撑的围护形式,在钢筋混凝土内支撑拆除施工时,决定采用机械切割为主、风镐拆除为辅的方式。该方法具有工效高、噪声低的优点,在保护环境的同时,确保了施工过程安全可靠。 展开更多
关键词 地下连续墙 钢筋混凝土内支撑 机械切割 风镐拆除 钻石钢线切割机
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钢筋混凝土机械切割技术在镇安立交高架桥拆除工程中的应用 被引量：5
8
作者 区希 古力 柯德辉 《广州建筑》 2000年第1期14-18,共5页
本文通过镇安立交工程实例,介绍钢筋混凝土机械切割这一综合新技术在拆除高架桥工程中的具体工艺工序,并对其经济效益和社会效益作了综合评述。
关键词 镇安立交 钢筋混凝土 机械切割 高架桥 拆除
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不同肺段切割术在全胸腔镜手术治疗早期周围型肺癌患者中的应用效果分析
9
作者 汤少鹏 《实用癌症杂志》 2023年第9期1522-1525,共4页
目的探讨不同肺段切割术在全胸腔镜手术治疗早期周围型肺癌患者中的临床应用效果。方法回顾性分析104例早期周围型肺癌患者的临床资料,依据全胸腔镜手术下采用肺段切割术的不同为两组,其中采用肺段电刀切割术的52例患者纳入电刀切割组,... 目的探讨不同肺段切割术在全胸腔镜手术治疗早期周围型肺癌患者中的临床应用效果。方法回顾性分析104例早期周围型肺癌患者的临床资料,依据全胸腔镜手术下采用肺段切割术的不同为两组,其中采用肺段电刀切割术的52例患者纳入电刀切割组,采用肺段机械切割术的52例患者纳入机械切割组。对两组术中相关临床指标、术后恢复情况、肺功能与术后并发症发生情况进行比较。结果电刀切割组手术时间[(238.74±52.98)min]长于机械切割组,差异有统计学意义(P<0.05);电刀切割组术中出血量[(60.54±11.76)ml]、术后3d胸腔引流量[(453.73±118.47)ml]、术后胸腔闭式引流时间[(3.65±0.69)d]与住院时间[(5.91±1.26)d]与机械切割组比较,差异无统计学意义(P>0.05);术后1个月,电刀切割组呼气流量峰值(PEF)[(3.42±0.37)l/s]、、第1秒用力呼气量(FEV_(1))[(2.29±0.36)l]、用力肺活量(FVC)[(2.86±0.53)l]与机械切割组相比,差异无统计学意义(P>0.05);电刀切割组术后并发症总发生率(9.62%)与机械切割组(5.77%)对比,差异无统计学意义(P>0.05)。结论在全胸腔镜手术下采用肺段电刀或机械切割术治疗早期周围型肺癌均可获得确切疗效,两组术式手术安全性、术后恢复时间及医源性创伤程度相近,但肺段电刀切除难度相对较大,可能会促使术中操作时间延长。 展开更多
关键词 早期周围型肺癌 全胸腔镜下肺段切割术 电刀切割 机械切割 术后恢复 并发症
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梁柱预埋孔机械切割异地爆破绿色拆除技术 被引量：1
10
作者 叶建军 彭庆波 +2 位作者 肖建庄 蓝戊己 王建永 《建筑科学与工程学报》 CAS 北大核心 2023年第6期111-117,共7页
为适应城市复杂环境下绿色拆除的需要,在结合机械切割和爆破破碎优点的基础上,提出了钢筋混凝土梁或柱预埋孔机械切割异地爆破绿色拆除技术。该技术的主要特征是将钢筋混凝土梁柱体系拆除全过程分解成现场拆解和异地破碎两个环节,在钢... 为适应城市复杂环境下绿色拆除的需要,在结合机械切割和爆破破碎优点的基础上,提出了钢筋混凝土梁或柱预埋孔机械切割异地爆破绿色拆除技术。该技术的主要特征是将钢筋混凝土梁柱体系拆除全过程分解成现场拆解和异地破碎两个环节,在钢筋混凝土梁或柱浇筑时就预埋布置切割穿绳孔和爆破轴向孔,拆除时在现场利用穿绳孔对梁柱分段机械切割,然后吊装作业并运输至偏僻场所,利用梁柱段中预埋孔进行爆破破碎。为验证新技术的先进性,以某基坑支撑梁拆除工程为例,将采用新技术拆除方案与已有可行拆除方案进行了对比。结果表明:钢筋的回收价值已覆盖拆除成本,采用新技术的方案比最接近的可行方案(绳锯切割+异地破碎锤破碎)单位体积拆除成本降低了11.8%;该技术实现了钢筋混凝土梁柱的免钻孔、低成本、低环境影响的绿色拆除,让城市拆除钢筋混凝土爆破免除安全评估、安全监理和安全检测的作业模式成为可能,提供了在破碎场地同时开展建筑固废物回收处理的新思路,具有极高的实际应用价值。 展开更多
关键词 钢筋混凝土梁柱 预埋孔 机械切割 异地爆破 绿色拆除
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腹腔镜下胆囊切除和胆总管切开取石术后Hem-o-lok夹移位 被引量：5
11
作者 赵海旺 袁玉斌 +2 位作者 张平 叶永强 石合现 《中华普通外科杂志》 CSCD 北大核心 2020年第10期819-820,共2页
本研究回顾分析3例腹腔镜下胆囊切除、胆总管切开取石术后Hem-o-lok夹移位的诊疗过程。3例Hem-o-lolc夹移位患者中2例移位至胆总管内,1例移位至窦道和胆总管内。3例移位Hem-o-lok夹有2例通过胆道镜取出,1例通过经内镜逆行胰胆管造影术(E... 本研究回顾分析3例腹腔镜下胆囊切除、胆总管切开取石术后Hem-o-lok夹移位的诊疗过程。3例Hem-o-lolc夹移位患者中2例移位至胆总管内,1例移位至窦道和胆总管内。3例移位Hem-o-lok夹有2例通过胆道镜取出,1例通过经内镜逆行胰胆管造影术(ERCP)取出。我们认为Hem-o-lok夹移位与术中操作、局部组织炎症反应、缺血坏死、排斥反应和机械切割等多因素有关。胆道镜、胃肠镜和ERCP技术可作为取出移位Hem-o-lok夹的首选方案,必要时可开腹手术,移位至十二指肠者如无症状可考虑保守治疗。为避免或减少Hem-o-lok夹移位,须注意术中规范操作。 展开更多
关键词 胆总管切开取石术 胃肠镜 开腹手术 缺血坏死 组织炎症反应 机械切割 无症状 排斥反应
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电缆机械切割技术在处理大斜度井油管卡钻中的应用 被引量：5
12
作者 刘啸峰 苏镖 +2 位作者 丁洁 郭科佑 周胤男 《钻采工艺》 CAS 北大核心 2021年第6期136-138,共3页
PZ4-2D井为川西海相雷口坡组的一口超深大斜度井,井深6573.77 m,最大井斜79.89°,该井采用88.9 mm×9.52 mm+88.9 mm×6.45 mm组合油管带封隔器进行测试,测试后管柱遇卡无法起出,被迫在斜井段进行管柱切割。由于管柱内径上... PZ4-2D井为川西海相雷口坡组的一口超深大斜度井,井深6573.77 m,最大井斜79.89°,该井采用88.9 mm×9.52 mm+88.9 mm×6.45 mm组合油管带封隔器进行测试,测试后管柱遇卡无法起出,被迫在斜井段进行管柱切割。由于管柱内径上小下大且在大斜度井段作业,聚能切割弹尺寸不匹配导致弹片不居中,切割效率低、切割不完整,经三次切割后无法顺利起出管柱。为了保障该井管柱的顺利起出和后续作业,有效控制切割段深度和提高切割效率,提出了“电缆送放+电力机械切割”的新型电缆机械切割技术,该技术依靠电缆信号实现锚定装置和切割装置驱动,切割点位置准确、作业快速、全程可视化,在PZ4-2D井井深5519.5 m处一次性成功完成管柱切割,切割后管柱顺利出井。该技术是在中石化的首次应用,为后期类似超深井修井作业提供了新手段。 展开更多
关键词 超深 大斜度井 卡钻 机械切割
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连续油管内切割技术在Y36井中的应用 被引量：5
13
作者 张乾 王方祥 +3 位作者 李道松 宋文 徐飞 张昌允 《西部探矿工程》 CAS 2020年第9期74-75,78,共3页
在处理套管内油管遇卡问题时,倒扣解卡方式效率低、劳动强度大、修井费用高;爆炸切割法易受到井斜及油管内壁油污影响,切割弹往往下不到预定位置,无法实现有效切割。为解决现有工艺问题,提出了连续油管内切割技术,阐明了连续油管内切割... 在处理套管内油管遇卡问题时,倒扣解卡方式效率低、劳动强度大、修井费用高;爆炸切割法易受到井斜及油管内壁油污影响,切割弹往往下不到预定位置,无法实现有效切割。为解决现有工艺问题,提出了连续油管内切割技术,阐明了连续油管内切割的技术原理及技术难点,以Y36井的油管切割为例,说明了连续油管内切割工具的应用效果,总结了施工过程中存在的问题及对策,为该技术的发展完善奠定了基础。 展开更多
关键词 连续油管 机械切割 割刀 应用
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激光切割对飞机蒙皮疲劳性能的影响分析 被引量：4
14
作者 侯红玲 彭玉海 +2 位作者 解玉坤 彭凯 张晖 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期417-421,共5页
为了探索激光切割对飞机机身蒙皮材料疲劳性能的影响，采用仿真分析法和对比试验法对飞机蒙皮材料的疲劳性能进行了理论分析和实验验证，取得了飞机蒙皮材料有限元疲劳分析数据，以及机械铣削和激光切割的试件的疲劳性能测试的对比数据... 为了探索激光切割对飞机机身蒙皮材料疲劳性能的影响，采用仿真分析法和对比试验法对飞机蒙皮材料的疲劳性能进行了理论分析和实验验证，取得了飞机蒙皮材料有限元疲劳分析数据，以及机械铣削和激光切割的试件的疲劳性能测试的对比数据，同时借助扫描电镜对试件疲劳断口进行了扫描分析。结果表明，经过激光切割后飞机蒙皮材料的疲劳寿命为5．4×104左右，机械铣削试件疲劳寿命为2．34×105。激光切割对飞机机身蒙皮材料疲劳性能有一定的影响，但通过切缝打磨处理会提高其疲劳寿命。 展开更多
关键词 激光技术 激光切割 疲劳寿命 飞机蒙皮 机械切割
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连续油管过封隔器切割技术的应用及效果 被引量：3
15
作者 吴青芳 赵杏林 《中国石油和化工标准与质量》 2018年第7期171-172,共2页
连续油管技术由于其独特的优异性而被广泛应用于我国油气田开发中,连续油管过封隔器切割技术实质是用连续油管携带专用切割工具在封隔器的下端进行切割。本文探讨了该技术主要的几种切割方式,分别为机械切割、水力切割以及聚能切割技术... 连续油管技术由于其独特的优异性而被广泛应用于我国油气田开发中,连续油管过封隔器切割技术实质是用连续油管携带专用切割工具在封隔器的下端进行切割。本文探讨了该技术主要的几种切割方式,分别为机械切割、水力切割以及聚能切割技术,分析了其应用效果,指出了该技术的发展趋势。 展开更多
关键词 连续油管 封隔器 机械切割 水力切割 聚能切割 发展
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基于两步法的饮料塑料防盗瓶盖切割机设计 被引量：4
16
作者 罗达 《机电工程》 CAS 2012年第7期814-816,共3页
为了解决防盗瓶盖在一次注塑成型中存在的瓶盖主体与防盗环产生粘连及制盖模具结构庞大的问题。将注塑与机械切割相结合的两步法技术应用到制盖工艺中。开展了采用机械切割的方法切割防盗环的分析,建立了切割机与瓶盖防盗环之间的关系,... 为了解决防盗瓶盖在一次注塑成型中存在的瓶盖主体与防盗环产生粘连及制盖模具结构庞大的问题。将注塑与机械切割相结合的两步法技术应用到制盖工艺中。开展了采用机械切割的方法切割防盗环的分析,建立了切割机与瓶盖防盗环之间的关系,进行了切割机的设计、制造工作,并提出了在瓶盖注塑成型后加一道切割工艺生成防盗环的制盖方法,最后,对切割机进行了瓶盖的切割试验。试验结果表明,与一次注塑成型的防盗瓶盖相比,该方法不仅解决了防盗环的粘连问题,同时去除了制盖模具中的抽芯机构,简化了模具结构,使模具的制盖产量提高一倍以上。 展开更多
关键词 饮料瓶盖 机械切割 立式 防盗环
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“带刻度”尼龙绳装置在肠道带蒂息肉尼龙绳套扎术中的应用价值 被引量：3
17
作者 邓睿 关磊 +1 位作者 曹冬冬 程亚平 《现代消化及介入诊疗》 2022年第4期475-478,共4页
目的探讨“带刻度”尼龙绳装置较常规尼龙绳装置在尼龙绳套扎术治疗肠道带蒂息肉中的优势。方法选取2019年1月至2021年9月华中科技大学同济医学院附属协和医院拟行尼龙绳套扎术治疗的肠道带蒂息肉患者100例,采用随机数字表法分入常规尼... 目的探讨“带刻度”尼龙绳装置较常规尼龙绳装置在尼龙绳套扎术治疗肠道带蒂息肉中的优势。方法选取2019年1月至2021年9月华中科技大学同济医学院附属协和医院拟行尼龙绳套扎术治疗的肠道带蒂息肉患者100例,采用随机数字表法分入常规尼龙绳装置组(对照组,n=50)和改良型尼龙绳装置组(实验组,n=50)。比较两组尼龙绳完成套扎所需时间、套扎不彻底率、息肉机械切割率、术后并发症发生率等。结果实验组完成套扎时间(82.02±5.41)s,显著低于对照组的(99.14±5.98)s(P<0.05)。实验组套扎不彻底率为0.0%,显著低于对照组的16%(P<0.01)。实验组息肉机械切割率、术后穿孔发生率、术后出血发生率分别为0.0%、0.0%、4.0%,与对照组(分别为4.0%、0.0%、8.0%)比较,差异均无统计学意义(P>0.05)。结论经改良后的尼龙绳装置可缩短尼龙绳套扎完成时间,降低尼龙绳使用难度,降低套扎不彻底发生率具有良好的使用价值。 展开更多
关键词 “带刻度”尼龙绳装置 套扎时间 结肠 带蒂息肉 机械切割 术后并发症
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中国古代人体解剖事件与人体结构认知年代轴 被引量：4
18
作者 李瑞锡 《解剖学研究》 CAS 2021年第5期576-576,I0001,共2页
解剖学是一门古老的学问。著名解剖学家格兰特(Grant)说过,没有几个名词比"解剖学"一词的历史更久远。假如我们写"解剖学"(anatome),我们便使用亚里士多德(Aristotle)2300年前给解剖学所起的科学名字[1]。广义"... 解剖学是一门古老的学问。著名解剖学家格兰特(Grant)说过,没有几个名词比"解剖学"一词的历史更久远。假如我们写"解剖学"(anatome),我们便使用亚里士多德(Aristotle)2300年前给解剖学所起的科学名字[1]。广义"解剖学"的原意是泛指用机械切割、分离等方法处理动、植物,肉眼研究观察所获得的知识体系。其属自然科学中生物学科的形态学知识范畴。"人体解剖学"是专门研究记述人体形态结构的广义解剖学的分支。 展开更多
关键词 格兰特 解剖学家 人体解剖 人体形态结构 机械切割 知识范畴 生物学科 结构认知
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机械与爆破相结合的大型楼群保护性部分拆除 被引量：3
19
作者 马建军 熊祖钊 +2 位作者 黄风雷 杨军 武海军 《工业建筑》 CSCD 北大核心 2002年第1期70-72,65,共4页
根据工程实例 ,介绍了在复杂环境条件下进行大型高耸建筑群保护性部分爆破拆除时 ,采用机械预切割、折叠定向倒塌的机械与爆破相结合的综合控制拆除方案。详细介绍了方案的设计思想、实施步骤和实际效果 ,同时就爆破时产生的一些问题进... 根据工程实例 ,介绍了在复杂环境条件下进行大型高耸建筑群保护性部分爆破拆除时 ,采用机械预切割、折叠定向倒塌的机械与爆破相结合的综合控制拆除方案。详细介绍了方案的设计思想、实施步骤和实际效果 ,同时就爆破时产生的一些问题进行了探讨。 展开更多
关键词 保护性控爆拆除 机械切割 折叠定向爆破 爆破安全 高耸建筑群
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提升Low K晶圆划片良率与可靠性的组合划片工艺研究
20
作者 李奇哲 夏晨辉 +2 位作者 叶刚 周超杰 王刚 《电子产品可靠性与环境试验》 2023年第6期9-15,共7页
以低介电常数(Low-K)材料覆盖的晶圆为研究对象,对Low K晶圆的划片方案、划片方式和划片工艺参数进行了研究,以解决Low K晶圆划片后崩裂严重等问题,降低Low K晶圆划片后单芯片来料崩裂、隐裂、高金属凸起等缺陷,提升封装后产品的良率与... 以低介电常数(Low-K)材料覆盖的晶圆为研究对象,对Low K晶圆的划片方案、划片方式和划片工艺参数进行了研究,以解决Low K晶圆划片后崩裂严重等问题,降低Low K晶圆划片后单芯片来料崩裂、隐裂、高金属凸起等缺陷,提升封装后产品的良率与可靠性。探讨了适用于Low K晶圆的划片方案,首先,先采用激光开槽剥离Low K层,降低了崩裂等缺陷隐患,随后采用机械切割完成硅基底的切割;然后,基于来料晶圆划片槽特性,采用W式划片方式,提升划片效率;最后,对划片中工艺参数进行调控优化,如降低激光功率以减弱过烧蚀(热效应扩散)带来的划片槽边缘金属凸起高度太大导致的短路风险,将划片后划片槽边缘金属凸起高度控制在≤7μm的要求内。经工艺调试后,采用激光开槽与机械划片的组合方式划片,划片槽边缘完整,无明显崩裂,划片槽宽为45.10μm,边缘金属凸起的平均高度为3.575μm,满足单芯片来料检验规范,保证了划片后单芯片的良率和可靠性。 展开更多
关键词 Low K 激光开槽 机械切割 热效应 可靠性
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