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太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究
被引量：
7
1
作者
张晓丹
赵颖
+5 位作者
高艳涛
朱锋
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期4874-4878,共5页
采用VHF-PECVD技术制备了系列不同硅烷浓度和反应气压的微晶硅薄膜.运用拉曼散射光谱和x射线衍射对制备的材料进行了结构分析.在实验研究的范围内,制备材料的晶化程度随硅烷浓度的增加而降低.XRD的测试结果表明制备的微晶硅材料均体现了...
采用VHF-PECVD技术制备了系列不同硅烷浓度和反应气压的微晶硅薄膜.运用拉曼散射光谱和x射线衍射对制备的材料进行了结构分析.在实验研究的范围内,制备材料的晶化程度随硅烷浓度的增加而降低.XRD的测试结果表明制备的微晶硅材料均体现了(220)方向择优.应用在电池的有源层中,制备出了效率达7·1%的单结微晶硅太阳电池,电池的结构是glass/ZnO/p(μc-SiH)/i(μc-SiH)/n(a-SiH/Al),没有ZnO背反射电极,有源层的厚度仅为1·2μm.
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关键词
本
征
微晶
硅
薄膜
拉曼光谱
X射线衍射
微晶
硅
薄膜
硅
太阳电池
制备材料
结构研究
硅
材料
PECVD技术
本
征
原文传递
题名
太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究
被引量：
7
1
作者
张晓丹
赵颖
高艳涛
朱锋
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期4874-4878,共5页
基金
国家重点基础研究发展规划项目(批准号:G2000028202和G2000028203)
国际科技合作项目(批准号:2002DFG00051)
+1 种基金
国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA303261)
天津市科技攻关项目(批准号:043186511)资助的课题.~~
文摘
采用VHF-PECVD技术制备了系列不同硅烷浓度和反应气压的微晶硅薄膜.运用拉曼散射光谱和x射线衍射对制备的材料进行了结构分析.在实验研究的范围内,制备材料的晶化程度随硅烷浓度的增加而降低.XRD的测试结果表明制备的微晶硅材料均体现了(220)方向择优.应用在电池的有源层中,制备出了效率达7·1%的单结微晶硅太阳电池,电池的结构是glass/ZnO/p(μc-SiH)/i(μc-SiH)/n(a-SiH/Al),没有ZnO背反射电极,有源层的厚度仅为1·2μm.
关键词
本
征
微晶
硅
薄膜
拉曼光谱
X射线衍射
微晶
硅
薄膜
硅
太阳电池
制备材料
结构研究
硅
材料
PECVD技术
本
征
Keywords
intrinsic microcrystalline silicon thin film, Raman spectra, x-ray diffraction
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究
张晓丹
赵颖
高艳涛
朱锋
魏长春
孙建
耿新华
熊绍珍
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
7
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