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升压法漏率测量装置的研制
被引量：
2
1
作者
朱爱青
孙立臣
+4 位作者
窦仁超
赵永恒
魏本猛
董栋
王旭迪
《真空》
CAS
2017年第1期5-9,共5页
本文介绍了一种基于升压法的漏率测量装置,通过在传统升压法的基础上添加标准室,降低了测量过程中本底放气的影响,全金属密封避免了氦气的渗透,利用数据采集卡和组态王软件实现数据的连续采集和记录。装置测量了104Pa-105Pa下氦气通过...
本文介绍了一种基于升压法的漏率测量装置,通过在传统升压法的基础上添加标准室,降低了测量过程中本底放气的影响,全金属密封避免了氦气的渗透,利用数据采集卡和组态王软件实现数据的连续采集和记录。装置测量了104Pa-105Pa下氦气通过测试元件的漏率,并利用检漏仪对测试结果进行了验证,相对误差在5.8%左右。本装置可以实现10^(-8)Pa m^3/s量级以下的漏率的精确测量。
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关键词
升压法
漏率测量
标准室
本底
放气
全金属密封
下载PDF
职称材料
题名
升压法漏率测量装置的研制
被引量：
2
1
作者
朱爱青
孙立臣
窦仁超
赵永恒
魏本猛
董栋
王旭迪
机构
合肥工业大学机械工程学院真空与过装系
北京卫星环境工程研究所
上海卫星装备研究所
出处
《真空》
CAS
2017年第1期5-9,共5页
文摘
本文介绍了一种基于升压法的漏率测量装置,通过在传统升压法的基础上添加标准室,降低了测量过程中本底放气的影响,全金属密封避免了氦气的渗透,利用数据采集卡和组态王软件实现数据的连续采集和记录。装置测量了104Pa-105Pa下氦气通过测试元件的漏率,并利用检漏仪对测试结果进行了验证,相对误差在5.8%左右。本装置可以实现10^(-8)Pa m^3/s量级以下的漏率的精确测量。
关键词
升压法
漏率测量
标准室
本底
放气
全金属密封
Keywords
Pressure rise method
Leak rate measurement
Reference chamber
Background outgassing
Allmetal sealing
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
升压法漏率测量装置的研制
朱爱青
孙立臣
窦仁超
赵永恒
魏本猛
董栋
王旭迪
《真空》
CAS
2017
2
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职称材料
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