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声光固体光学位置传感器
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作者 史永基 史东军 史战军 《传感器世界》 2002年第11期29-31,13,共4页
本文描述了基于相位测量有源三角测量技术的声光(AO)固体光学位置传感器。这种传感器具有广阔的应用范围。给出了传感器的系统结构、工作原理、特点和3-D表面分布测量结果。
关键词 声光固体 光学位置传感器 有源三角测量技术 表面分布 AO位置传感器 干涉仪
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