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题名双剪切波面干涉测量法
被引量：10
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作者
栾竹
刘立人
刘德安
滕树云
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第10期1417-1420,共4页
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基金
国家 8 6 3计划
上海市科学技术发展基金 (0 12 2 6 10 11)
中国科学院创新课题资助课
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文摘
用于星间通信的激光器具有接近衍射极限的激光波面 ,已有的波面测量方法 ,在这一具体测量问题中 ,都存在一定限制。双剪切波面干涉测量法在雅满横向剪切干涉仪的基础上 ,采用四块楔形平板 ,将干涉图分为上下两个部分 ,具有不同的条纹间距 ,由此求出波面高度和符号 ,同得到单幅干涉图的其它干涉测量方法相比 ,它的最小可测量波高减小一倍以上。在介绍干涉仪的基本结构和原理的基础上 ,模拟了像差存在时的干涉图 ,并在实验上得到了波高为 0 .3λ的初步结果。双剪切波面干涉测量法 ,可以目视判断波差的符号和估计量值 ,为等光程相干 ,适用于半导体等相干长度小的光源。
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关键词
物理光学
剪切干涉
波面检测
最小波面高度
等光程相干
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Keywords
physical optics
shearing interference
wavefront sensing
the minimum wavefront height
equal optical path interference
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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