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曲率测量技术在微机电系统薄膜残余应力测量中的应用
被引量：
7
1
作者
虞益挺
苑伟政
乔大勇
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期78-81,共4页
在比较曲率测量技术常用的Stoney公式及其修正式的基础上,利用有限元分析方法,建立薄膜/基底结构的有限元模型,给出一种薄膜残余应力的等效施加方法,从两个方面详细分析并对比这两个公式在微机电系统(Micro electromechanical systems,M...
在比较曲率测量技术常用的Stoney公式及其修正式的基础上,利用有限元分析方法,建立薄膜/基底结构的有限元模型,给出一种薄膜残余应力的等效施加方法,从两个方面详细分析并对比这两个公式在微机电系统(Micro electromechanical systems,MEMS)薄膜残余应力测量中的检测精度。仿真及分析结果表明,修正后的Stoney公式在很大程度上提高薄膜残余应力的测量精度,使曲率测量技术的适用范围得到较大扩展。但是当薄膜厚度接近于基底厚度或结构处于大变形状态下,修正式的计算精度也将受到较大影响,此时可以采用有限元分析方法来获得临界状态值,以提高残余应力的检测精度。同时,通过有限元分析,证实曲率测量技术应用中存在的另一个问题,即曲率的空间分布不均匀性现象。
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关键词
曲率
测量技术
微机电系统
薄膜残余应力
薄膜/基底结构
有限元分析
下载PDF
职称材料
批量钻削工步信号曲率尺度特征提取及应用
2
作者
周友行
任勇勇
韦衍
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2013年第10期2453-2458,共6页
为实现基于切削过程传感器信号特征的批量工步质量分析,提出一种基于改进算法的传感器信号特征提取方法。该方法基于计算机补码运算原理选择曲率尺度测量技术算法的基本点,从而改进曲率尺度测量技术算法。以批量钻削工步主轴功率信号为...
为实现基于切削过程传感器信号特征的批量工步质量分析,提出一种基于改进算法的传感器信号特征提取方法。该方法基于计算机补码运算原理选择曲率尺度测量技术算法的基本点,从而改进曲率尺度测量技术算法。以批量钻削工步主轴功率信号为例,首先对监测信号进行z-score标准化和分段处理,然后利用改进后的曲率尺度测量技术算法提取批量钻削工步监测信号从局部到全局的尺度特征;最后采用主成分分析法进行特征降维,从而获取批量钻削工步质量的分布情况。计算结果表明,曲率尺度测量技术算法能够降低监测信号幅值数量级差距和数据规模过大对特征提取效果的影响,批量钻削工步质量分类符合实际情况,可解决批量工步质量的人工抽检随意性问题。
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关键词
批量钻削
工步质量
曲率
尺度
测量技术
算法
特征提取
主成分分析
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职称材料
题名
曲率测量技术在微机电系统薄膜残余应力测量中的应用
被引量：
7
1
作者
虞益挺
苑伟政
乔大勇
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期78-81,共4页
基金
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-05-0869)西安省应用材料创新基金(XA-AM-200610)西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助项目。
文摘
在比较曲率测量技术常用的Stoney公式及其修正式的基础上,利用有限元分析方法,建立薄膜/基底结构的有限元模型,给出一种薄膜残余应力的等效施加方法,从两个方面详细分析并对比这两个公式在微机电系统(Micro electromechanical systems,MEMS)薄膜残余应力测量中的检测精度。仿真及分析结果表明,修正后的Stoney公式在很大程度上提高薄膜残余应力的测量精度,使曲率测量技术的适用范围得到较大扩展。但是当薄膜厚度接近于基底厚度或结构处于大变形状态下,修正式的计算精度也将受到较大影响,此时可以采用有限元分析方法来获得临界状态值,以提高残余应力的检测精度。同时,通过有限元分析,证实曲率测量技术应用中存在的另一个问题,即曲率的空间分布不均匀性现象。
关键词
曲率
测量技术
微机电系统
薄膜残余应力
薄膜/基底结构
有限元分析
Keywords
Curvature measurement technique
Micro electromechanical systems（MEMS）
Residual stresses in thin films
Thin film/substrate structure
Finite element analysis
分类号
TM38 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
批量钻削工步信号曲率尺度特征提取及应用
2
作者
周友行
任勇勇
韦衍
机构
湘潭大学机械工程学院
出处
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2013年第10期2453-2458,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51375419)
湖南省省市联合基金重点资助项目(12JJ8010)~~
文摘
为实现基于切削过程传感器信号特征的批量工步质量分析,提出一种基于改进算法的传感器信号特征提取方法。该方法基于计算机补码运算原理选择曲率尺度测量技术算法的基本点,从而改进曲率尺度测量技术算法。以批量钻削工步主轴功率信号为例,首先对监测信号进行z-score标准化和分段处理,然后利用改进后的曲率尺度测量技术算法提取批量钻削工步监测信号从局部到全局的尺度特征;最后采用主成分分析法进行特征降维,从而获取批量钻削工步质量的分布情况。计算结果表明,曲率尺度测量技术算法能够降低监测信号幅值数量级差距和数据规模过大对特征提取效果的影响,批量钻削工步质量分类符合实际情况,可解决批量工步质量的人工抽检随意性问题。
关键词
批量钻削
工步质量
曲率
尺度
测量技术
算法
特征提取
主成分分析
Keywords
batch drilling step quality
angle measure technique algorithm
feature extraction principal component a-nalysis
分类号
TH165.4 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
曲率测量技术在微机电系统薄膜残余应力测量中的应用
虞益挺
苑伟政
乔大勇
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
7
下载PDF
职称材料
2
批量钻削工步信号曲率尺度特征提取及应用
周友行
任勇勇
韦衍
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2013
0
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职称材料
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