期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
半导体晶圆静电吸盘表面陶瓷材料的制备方法分析
1
作者
周磊
郑磊
《电子技术（上海）》
2024年第6期348-350,共3页
阐述一种优化半导体晶圆静电吸盘表面陶瓷材料的制备方法,在制作过程中结合计算机的深度学习以及神经网络技术,优化煅烧效果,提高煅烧效率和半导体晶圆静电吸盘表面陶瓷的制备质量。
关键词
晶
圆
静电
吸盘
陶瓷材料
图像编码器
硅片
金属材料
原文传递
题名
半导体晶圆静电吸盘表面陶瓷材料的制备方法分析
1
作者
周磊
郑磊
机构
明德润和机械制造(天津)有限公司
珠海和泽科技有限公司
出处
《电子技术（上海）》
2024年第6期348-350,共3页
文摘
阐述一种优化半导体晶圆静电吸盘表面陶瓷材料的制备方法,在制作过程中结合计算机的深度学习以及神经网络技术,优化煅烧效果,提高煅烧效率和半导体晶圆静电吸盘表面陶瓷的制备质量。
关键词
晶
圆
静电
吸盘
陶瓷材料
图像编码器
硅片
金属材料
Keywords
wafer electrostatic suction cup
ceramic materials
image encoder
silicon wafer
metal materials
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体晶圆静电吸盘表面陶瓷材料的制备方法分析
周磊
郑磊
《电子技术（上海）》
2024
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
