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MEMS晶圆级测试系统现状及未来展望 被引量：4
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作者 乔玉娥 刘岩 +3 位作者 程晓辉 丁立强 丁晨 梁法国 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第10期1-3,7,共4页
微机电系统(MEMS)产品的广泛应用使得晶圆级测试技术必要性日益凸显。分析了国内和国际MEMS晶圆级测试系统硬件和MEMS晶圆级测试技术的现状。参照国际上利用RM8096/8097标准物质(RM)对MEMS产品进行计量测试的方法,给出了针对我国现有MEM... 微机电系统(MEMS)产品的广泛应用使得晶圆级测试技术必要性日益凸显。分析了国内和国际MEMS晶圆级测试系统硬件和MEMS晶圆级测试技术的现状。参照国际上利用RM8096/8097标准物质(RM)对MEMS产品进行计量测试的方法,给出了针对我国现有MEMS晶圆级测试系统校准问题的初步解决方案。并指出了该类测试系统今后向着标准化模块化方向发展的趋势。 展开更多
关键词 微机电系统 晶圆级测试系统 测试技术 标准物质
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