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用于晶圆刷洗的同心卡接机构设计
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作者 陶利权 熊朋 +2 位作者 蒲继祖 李嘉浪 费玖海 《电子工业专用设备》 2017年第1期53-55,共3页
在CMP后清洗工艺过程中,往往需要对机刷进行快速更换。针对以上需求,设计了一种用于晶圆刷洗的同心卡接机构,很好地解决了机刷更换过程同心度存在偏差及更换不便的问题,改善了晶圆表面清洗的效果。
关键词 CMP后清洗 晶圆刷洗 同心卡接机构
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