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基于晶圆优先级的连续型Interbay搬运系统性能分析
被引量：
2
1
作者
周炳海
陈锦祥
赵猛
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期296-302,314,共8页
为了快速、有效地评价基于晶圆优先级的连续型Interbay自动物料搬运系统的性能,采用基于排队论的方法构建了性能分析模型.在建模过程中,为了使搬运路径多样化,引入了带外环和捷径的脊背式搬运系统.通过控制晶圆进入外环与捷径的优先级,...
为了快速、有效地评价基于晶圆优先级的连续型Interbay自动物料搬运系统的性能,采用基于排队论的方法构建了性能分析模型.在建模过程中,为了使搬运路径多样化,引入了带外环和捷径的脊背式搬运系统.通过控制晶圆进入外环与捷径的优先级,实现了较高优先级的晶圆能快到达目的地.考虑服务时间变动性,引用相关满足系统排队实际的排队模型,构建系统期望在制品的数学表达.在相同的实验条件下,通过分析性能分析模型与Arena仿真模型得到的系统在制品量,验证本文提出的性能分析模型的准确性.实验结果表明,任何情形下的绝对误差都控制在5%以下,性能分析模型完全能满足系统性能评价的要求.
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关键词
晶
圆
制造
晶
圆
优先级
自动物料搬运系统
排队模型
interbay
下载PDF
职称材料
题名
基于晶圆优先级的连续型Interbay搬运系统性能分析
被引量：
2
1
作者
周炳海
陈锦祥
赵猛
机构
同济大学机械与能源工程学院
出处
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期296-302,314,共8页
基金
国家自然科学基金项目(61273035
71471135)
国家"863"高技术研究发展计划项目(2009AA043000)
文摘
为了快速、有效地评价基于晶圆优先级的连续型Interbay自动物料搬运系统的性能,采用基于排队论的方法构建了性能分析模型.在建模过程中,为了使搬运路径多样化,引入了带外环和捷径的脊背式搬运系统.通过控制晶圆进入外环与捷径的优先级,实现了较高优先级的晶圆能快到达目的地.考虑服务时间变动性,引用相关满足系统排队实际的排队模型,构建系统期望在制品的数学表达.在相同的实验条件下,通过分析性能分析模型与Arena仿真模型得到的系统在制品量,验证本文提出的性能分析模型的准确性.实验结果表明,任何情形下的绝对误差都控制在5%以下,性能分析模型完全能满足系统性能评价的要求.
关键词
晶
圆
制造
晶
圆
优先级
自动物料搬运系统
排队模型
interbay
Keywords
wafer fabrications
wafer priority
AMHS
queuing-based
interbay
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
基于晶圆优先级的连续型Interbay搬运系统性能分析
周炳海
陈锦祥
赵猛
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
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职称材料
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