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小角x射线散射确定TiNi薄膜中晶化粒子的长大激活能
被引量：
10
1
作者
孟繁玲
李永华
+1 位作者
徐耀
王煜明
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第9期2086-2089,共4页
用小角x射线散射技术研究以直流磁控溅射方法制备TiNi合金薄膜其退火生成的晶化粒子的长大行为 .发现在室温下溅射的TiNi合金薄膜存在小于 1nm尺寸的微空洞 ,将退火后薄膜的小角x射线散射强度扣除退火前微空洞产生的小角x射线散射强度 ...
用小角x射线散射技术研究以直流磁控溅射方法制备TiNi合金薄膜其退火生成的晶化粒子的长大行为 .发现在室温下溅射的TiNi合金薄膜存在小于 1nm尺寸的微空洞 ,将退火后薄膜的小角x射线散射强度扣除退火前微空洞产生的小角x射线散射强度 ,用这种方法得到的散射强度遵从Porod定律 ;而用通常方法扣除背底得到的散射强度结果不满足Porod定律 .TiNi合金薄膜在 733— 793K之间退火晶化粒子的长大激活能Eg=30 1kJ mol.
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关键词
小角X射线散射
TiNi薄膜
晶
化
粒子
长大激活能
形状记忆合金薄膜
原文传递
衬底温度对沉积的NiTi薄膜晶化行为的影响
被引量：
4
2
作者
李永华
纪红
+3 位作者
孟繁玲
邱利霞
郑伟涛
王煜明
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003年第3期251-253,共3页
将采用直流磁控溅射方法制备的NiTi薄膜沉积在热的衬底上,应用X射线散射和小角X射线散射技术研究了NiTi合金薄膜中生成的晶化粒子的界面特征和晶粒大小.结果表明:衬底加热可降低薄膜的晶化温度,衬底温度在350℃以上,溅射的NiTi薄膜已部...
将采用直流磁控溅射方法制备的NiTi薄膜沉积在热的衬底上,应用X射线散射和小角X射线散射技术研究了NiTi合金薄膜中生成的晶化粒子的界面特征和晶粒大小.结果表明:衬底加热可降低薄膜的晶化温度,衬底温度在350℃以上,溅射的NiTi薄膜已部分晶化;衬底温度在350、370℃和420℃溅射的NiTi薄膜,对应的晶化粒子的半径分别是2 40、2 59、2 81nm;薄膜中的晶化粒子以形核长大的方式进行,结晶粒子与基底之间有清晰的界面.
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关键词
衬底
温度
沉积
NiTi合金薄膜
晶
化
粒子
小角X射线散射
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职称材料
题名
小角x射线散射确定TiNi薄膜中晶化粒子的长大激活能
被引量：
10
1
作者
孟繁玲
李永华
徐耀
王煜明
机构
吉林大学材料科学系
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第9期2086-2089,共4页
文摘
用小角x射线散射技术研究以直流磁控溅射方法制备TiNi合金薄膜其退火生成的晶化粒子的长大行为 .发现在室温下溅射的TiNi合金薄膜存在小于 1nm尺寸的微空洞 ,将退火后薄膜的小角x射线散射强度扣除退火前微空洞产生的小角x射线散射强度 ,用这种方法得到的散射强度遵从Porod定律 ;而用通常方法扣除背底得到的散射强度结果不满足Porod定律 .TiNi合金薄膜在 733— 793K之间退火晶化粒子的长大激活能Eg=30 1kJ mol.
关键词
小角X射线散射
TiNi薄膜
晶
化
粒子
长大激活能
形状记忆合金薄膜
Keywords
TiNi thin films, crystalline particles, activation energy of growth
分类号
O722.5 [理学—晶体学]
原文传递
题名
衬底温度对沉积的NiTi薄膜晶化行为的影响
被引量：
4
2
作者
李永华
纪红
孟繁玲
邱利霞
郑伟涛
王煜明
机构
吉林大学麦克德尔米德实验室材料系
吉林大学物理学院
出处
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003年第3期251-253,共3页
基金
吉林省科技厅基金资助项目(20020611)
教育部高等学校博士点基金资助项目.
文摘
将采用直流磁控溅射方法制备的NiTi薄膜沉积在热的衬底上,应用X射线散射和小角X射线散射技术研究了NiTi合金薄膜中生成的晶化粒子的界面特征和晶粒大小.结果表明:衬底加热可降低薄膜的晶化温度,衬底温度在350℃以上,溅射的NiTi薄膜已部分晶化;衬底温度在350、370℃和420℃溅射的NiTi薄膜,对应的晶化粒子的半径分别是2 40、2 59、2 81nm;薄膜中的晶化粒子以形核长大的方式进行,结晶粒子与基底之间有清晰的界面.
关键词
衬底
温度
沉积
NiTi合金薄膜
晶
化
粒子
小角X射线散射
Keywords
NiTi thin films
crystalline particles
small angle X-ray scattering
分类号
TG146 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484.4 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
小角x射线散射确定TiNi薄膜中晶化粒子的长大激活能
孟繁玲
李永华
徐耀
王煜明
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
10
原文传递
2
衬底温度对沉积的NiTi薄膜晶化行为的影响
李永华
纪红
孟繁玲
邱利霞
郑伟涛
王煜明
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003
4
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职称材料
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