期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
MPCVD纳米金刚石膜的微观结构及显微力学特性分析 被引量：2
1
作者 杨武保 吕反修 +2 位作者 唐伟忠 刘玉龙 朱克 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期19-21,共3页
利用微波等离子体化学气相沉积技术在光学玻璃衬底上制备了金刚石膜，利用原子力显微镜技术及显微力学探针研究了膜层的表面形貌及显微力学特性。结果表明，金刚石膜的晶粒尺寸小于100 nm，表面粗糙度小于10 nm，具有极高的显微硬度及... 利用微波等离子体化学气相沉积技术在光学玻璃衬底上制备了金刚石膜，利用原子力显微镜技术及显微力学探针研究了膜层的表面形貌及显微力学特性。结果表明，金刚石膜的晶粒尺寸小于100 nm，表面粗糙度小于10 nm，具有极高的显微硬度及弹性模量，能够满足光学材料表面的抗冲击、耐磨等要求。 展开更多
关键词 金刚石膜 表面形貌 显微力学特性 MPCVD
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部