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一种新的表面形貌检测方法 被引量：4
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作者 石心余 周仲荣 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期77-79,共3页
共焦激光扫描显微镜是近年来发展起来的一种新型显微镜。本文介绍了日本奥林巴斯公司研制OLS1100型共焦激光扫描显微镜性能特点,并着重介绍了利用其独有的纵向分辨能力和高的平面分辨率,在对微动磨损、显微划痕以及进行表面形貌观察和... 共焦激光扫描显微镜是近年来发展起来的一种新型显微镜。本文介绍了日本奥林巴斯公司研制OLS1100型共焦激光扫描显微镜性能特点,并着重介绍了利用其独有的纵向分辨能力和高的平面分辨率,在对微动磨损、显微划痕以及进行表面形貌观察和参数检测的应用。 展开更多
关键词 共焦激光扫描显微镜 微动磨损 显微划痕 表面形貌
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