本文介绍了采用无格点Kinetic Monte Carlo(KMC)方法,模拟TiN薄膜在TiN(001)基底表面上外延生长的仿真结果。在此无格点KMC方法中,使用了Dimer算法在势能面中搜索鞍点和低能盆底。仿真的结果证实,此无格点KMC方法对于仿真二元薄膜外延...本文介绍了采用无格点Kinetic Monte Carlo(KMC)方法,模拟TiN薄膜在TiN(001)基底表面上外延生长的仿真结果。在此无格点KMC方法中,使用了Dimer算法在势能面中搜索鞍点和低能盆底。仿真的结果证实,此无格点KMC方法对于仿真二元薄膜外延生长是有效的。本文中还讨论了无格点KMC的计算量问题、运算过程中Dimer的初始位置问题和势能面中浅盆底问题。展开更多
文摘本文介绍了采用无格点Kinetic Monte Carlo(KMC)方法,模拟TiN薄膜在TiN(001)基底表面上外延生长的仿真结果。在此无格点KMC方法中,使用了Dimer算法在势能面中搜索鞍点和低能盆底。仿真的结果证实,此无格点KMC方法对于仿真二元薄膜外延生长是有效的。本文中还讨论了无格点KMC的计算量问题、运算过程中Dimer的初始位置问题和势能面中浅盆底问题。
