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全场光学相干层析成像系统的研制 被引量：10
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作者 杨亚良 丁志华 +2 位作者 王凯 吴凌 吴兰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期1773-1778,共6页
研制了一套采用旋转1/2波片无色散移相器进行移相操作的全场光学相干层析成像系统.该移相器能在宽光谱范围内无色散地获得8倍于1/2波片旋转角的移相量,能快速、方便地为各种移相算法提供所需的移相量.移相量实测结果表明:系统获得了8倍... 研制了一套采用旋转1/2波片无色散移相器进行移相操作的全场光学相干层析成像系统.该移相器能在宽光谱范围内无色散地获得8倍于1/2波片旋转角的移相量,能快速、方便地为各种移相算法提供所需的移相量.移相量实测结果表明:系统获得了8倍旋转角的移相量,提出的移相器结构正确.采用Hariharan移相算法对反射镜样品进行的成像实验表明系统具有较高的移相精度.最后进行的实物样品成像实验,检验了系统的有效性. 展开更多
关键词 全场光学相干层析成像 无色散移相器 旋转1/2波片
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