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旋转圆柱靶磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计 被引量:15
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作者 陈长琦 穆怀普 +1 位作者 刘腾飞 裘一冰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期913-918,共6页
基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律。通过调节磁铁的宽和高、磁铁间夹角以及设置可移动磁性挡板等方法优化... 基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律。通过调节磁铁的宽和高、磁铁间夹角以及设置可移动磁性挡板等方法优化磁场并设计了一种新型磁场结构旋转靶。本研究为旋转靶磁控溅射阴极的磁场结构设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 磁控溅射 旋转阴极 磁场模拟 结构设计
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