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带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器
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作者 王海波 张如照 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2017年第8期1155-1160,共6页
针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题,结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制,理论上解析了压降问题产生的原理,基于此,在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的... 针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题,结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制,理论上解析了压降问题产生的原理,基于此,在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的改进型射流发生器。采用蒸镀、UV-LIGA、RIE等MEMS制造技术成功制作出了形貌质量俱佳的普通型和改进型射流发生器,并利用输出性能测量实验开展了对比验证。实验结果证明了通过在主流道侧添加旁路微流道来解决射流发生器的压降问题,并借此来提高其输出能力的可行性。 展开更多
关键词 电共轭流体 射流发生器 旁路微流道 MEMS 对比试验
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