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题名利用图像拼接实现微结构的大视场测量
被引量：2
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作者
陈至坤
郭蕊
张博伦
曾凯
王福斌
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机构
华北理工大学电气工程学院
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出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2019年第3期7-11,共5页
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基金
华北理工大学科学研究基金资助项目(Z201703)
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文摘
为实现基于图像的飞秒激光烧蚀硅晶片光斑阵列的完整测量,对采集的多幅光斑阵列图像拼接,得到完整的飞秒激光烧蚀光斑阵列图像。首先,对飞秒激光烧蚀光斑图像进行增强处理,对光斑进行方形拟合提取中心点,获取每两个中心点间的像素值,运用线纹对微视觉测量系统标定,获得像素尺寸与几何尺寸之间的比例系数,根据比例系数对像素尺寸与几何尺寸进行换算,得到对光斑阵列的视觉测量值;最后,用拼接后的光斑阵列进行图像测量,得到测量尺寸与实际尺寸间的误差平均值为3.00%。经实验验证,利用图像拼接对微视觉系统大视场微结构进行图像测量是可行的。
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关键词
图像拼接
方形拟合
图像测量
微结构
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Keywords
image stitching
square fitting
image measurement
microstructure
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分类号
TP391.41
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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