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题名图形反转工艺用于金属层剥离的研究
被引量：6
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作者
陈德鹅
吴志明
李伟
王军
袁凯
蒋亚东
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机构
电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期535-538,共4页
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基金
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-04-0896)
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文摘
研究了AZ-5214胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术。用扫描电镜和台阶仪测试制作出的光刻胶断面呈倒台面,倾角约为60°,胶厚1.4μm。得到了优化的制作倒台面结构的光刻胶图形的工艺参数:匀胶转速4000r/min,前烘温度100℃,时间60s,曝光时间0.3s,反转烘温度110℃,时间90s,泛曝光时间2s,显影时间50s。用金相显微镜测试了在优化工艺参数条件下制作的光刻胶图形的分辨率,同时对图形反转机理进行了讨论。
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关键词
光刻
AZ-5214
剥离工艺
图形反转
断面模拟
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Keywords
optical lithography
AZ-5214
lift-off technology
image reverse
section analog
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名改进的流速仪法测流计算方法及其应用
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作者
吴述园
葛继稳
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机构
中国地质大学湿地演化与生态恢复湖北省重点实验室生态环境研究所
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出处
《工程勘察》
2013年第3期46-49,89,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(40972218)
中国地质大学(武汉)中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(G1323521125
G1323521225)
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文摘
分析国标法中流速仪法测流计算方法的不足之处,并从河道断面模拟和部分面积计算两个方面予以改进。基于MATLAB软件平台,提供一份实现改进计算方法的程序。将改进方法应用于鄂西山溪河流古夫河,对汇入其下游古洞口水库的水量进行预测。应用实例表明,改进的流速仪法测流计算方法断面模拟更真实,部分面积计算方法更精确,在山溪性河流流量测量中具有一定的适用性。
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关键词
流速仪法测流
断面模拟
部分面积
三次样条插值
MATLAB
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Keywords
flow measurement with current meter
section simulation
subsection area
cubic spline interpolation
MATLAB
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分类号
P641.73
[天文地球—地质矿产勘探]
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