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题名基于数字光刻投影系统的快速微加工技术
被引量：8
- 1
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作者
张雅雅
崔建国
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机构
重庆理工大学药学与生物工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期448-453,共6页
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基金
重庆市自然科学基金项目(cstc2011jjA10018)
重庆理工大学实验技术基金项目(Sk201403)
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文摘
设计一种经济有效的微流体芯片加工方法,可以快速地在聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面加工出不同尺寸的微流路。利用商用数字投影仪的成像原理,对其进行简单的改装,得到成缩小像的数字光刻投影系统(DLPS),并利用该系统在PDMS表面加工微流路;同时通过荷叶效应和毛细吸附效应两组实验,对DLPS的加工性能进行了验证和应用。该DLPS可在PDMS表面加工微结构,最小稳定加工精度可达40μm,通过模仿荷叶效应获得的材料表面,其疏水角增加到123°±3°。该DLPS系统可用于快速加工微流体芯片,当流路尺寸要求不是很严格时,低成本和高效率等优点使该系统完全适合在普通实验室开展微流体技术的研究。
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关键词
薄膜光学
微流路
数字光刻投影系统
聚二甲基硅氧烷
荷叶效应
毛细吸附效应
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Keywords
film optics
micro-channel
digital lithography projection system
polydimethylsiloxane
lotus effect
capillary adsorption effect
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名被动式液体微混合器芯片的研制
被引量：1
- 2
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作者
张雅雅
彭湉
王洪
李桂林
崔建国
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机构
重庆理工大学药学与生物工程学院
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出处
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
2015年第12期127-132,共6页
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基金
国家科技支撑计划项目(2015BAI01B14)
重庆理工大学实验技术基金项目(Sk201403)
重庆理工大学研究生教育教学改革项目(yjg2013205)
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文摘
微混合器是当今世界微流体领域的研究热点之一,具有极其广阔的应用前景。在微通道内实现液体的高效扩散和混合,进而开展化学和生物分析等反应,对微流体芯片的设计和制造具有重大意义。借助数字光刻投影系统和微波炉改性方法制作了一系列被动式微量液体混合器芯片,通过对比实验分析设计了可在低雷诺数状态下实现两液体快速高效混合功能的被动式微混合器。实验结果显示:在加工的微混合器通道尺寸最小为40μm,雷诺值为0.68时,可实现较好的混合效果。同时,整个微流体加工工艺无需光刻机等昂贵的专业设备,也无需超净间等特殊环境,在普通生化实验室3 h内就能完成微混合芯片的制备。整个混合器的制作成本低、耗时短、操作简单,可作为大多数普通高校实验室开展微流体芯片研究的一种参照和借鉴。
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关键词
微混合器
聚二甲基硅氧烷
数字光刻投影系统
微波改性
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Keywords
micro mixer
PDMS
Digital lithographic projection system
microwave
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器
被引量：1
- 3
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作者
冷寒冰
袁伟
崔建国
崔祺铭
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机构
重庆理工大学药学与生物工程学院
麦吉尔大学生命科学系
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018年第12期14-18,24,共6页
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基金
国家科技支撑计划项目(2015BA101B14)
重庆理工大学高等教研研究项目(2015YB27)
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文摘
相比于传统的流量传感器,微型流量传感器具有体积小、功耗低、对微小流量测量灵敏度高等特点。文中依据传热学原理设计并研制了一种基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器系统,用于微流体的流量测量。文中利用数字光刻投影系统(DLPS)加工制作了加热电极和流路通道的模板,选择ITO导电玻璃制作薄膜加热电极和流路基底,使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作微型流路的通道,同时借助氧等离子体激活实现ITO导电玻璃与PDMS流路通道的不可逆封装键合。该微型流量传感器系统利用STC12C5A系列单片机对硬件电路进行控制及流量测量结果显示,并借助数字注射泵对流量传感器系统进行了测试和验证。该微型流量传感器可实现10～120μL/min的较精确测量。
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关键词
微型流量传感器
ITO导电玻璃
聚二甲基硅氧烷
数字光刻投影系统
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Keywords
micro flow sensor
ITO conductive glass
PDMS
DLPS
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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