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用EGSnrc程序包对单能电子实验过程影响因素的研究 被引量:3
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作者 范杰 吴丽萍 +1 位作者 赵艳群 王叶 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1417-1422,共6页
本文运用蒙特卡罗程序EGSinpRZ和EGSnrcMP模拟了不同能量的单能电子入射过程中与AL吸收物质的作用,得到了该过程产生的并且进入了灵敏区的轫致辐射光子和散射电子平均能量以及他们在相应情况下的百分比,结合两种计算方法(全峰面积法TPA... 本文运用蒙特卡罗程序EGSinpRZ和EGSnrcMP模拟了不同能量的单能电子入射过程中与AL吸收物质的作用,得到了该过程产生的并且进入了灵敏区的轫致辐射光子和散射电子平均能量以及他们在相应情况下的百分比,结合两种计算方法(全峰面积法TPA和半峰面积法SPA)讨论了轫致辐射和散射对测量结果的影响;研究了实验所用放射源与其包装材料产生的轫致辐射光子对测量的影响;同时用EGSnrcMP程序模拟了吸收曲线,并与实验吸收曲线相比较,讨论了环境本底对计数的影响. 展开更多
关键词 单能电子 EGSinpRZ程序 EGSnrcMP程序 轫致辐射光子 散射电子
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中高能电子电离He原子的二重微分截面 被引量:2
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作者 张穗萌 吴兴举 +3 位作者 孙瑞 杨欢 高矿 周军 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期887-893,共7页
这篇文章用BBK和DS3C模型,计算了入射能为100,200,300,400和600 eV等中、高能情况下,电子入射电离He原子的二重微分截面(DDCS),给出了散射电子和敲出电子截面的角分布.散射电子和敲出电子的二重微分截面分别通过敲出电子和散射电子三重... 这篇文章用BBK和DS3C模型,计算了入射能为100,200,300,400和600 eV等中、高能情况下,电子入射电离He原子的二重微分截面(DDCS),给出了散射电子和敲出电子截面的角分布.散射电子和敲出电子的二重微分截面分别通过敲出电子和散射电子三重微分截面(TDCS)在全空间的角度积分而得到,所有的理论结果与有效的实验测量进行了比较.研究表明:除400和600 eV的高入射能之外,理论结果均能与绝对测量的实验结果较好的符合. 展开更多
关键词 二重微分截面 中高能入射电子 敲出电子 散射电子
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X射线管中散射电子的特性研究 被引量:2
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作者 赵伟 彭宇飞 +3 位作者 秦臻 李建北 龙继东 陈弹蛋 《真空电子技术》 2019年第2期37-39,60,共4页
在X射线管的设计中,特别是高功率的CT球管,电子束打靶产生的散射电子是影响设计的重要因素之一,因此对束靶作用产生的散射电子特性进行研究具有重要的意义。本文利用蒙特卡罗模拟软件MCNP对X射线管中电子束轰击阳极靶的过程进行了物理... 在X射线管的设计中,特别是高功率的CT球管,电子束打靶产生的散射电子是影响设计的重要因素之一,因此对束靶作用产生的散射电子特性进行研究具有重要的意义。本文利用蒙特卡罗模拟软件MCNP对X射线管中电子束轰击阳极靶的过程进行了物理建模和计算分析,研究了物理过程中产生的散射电子的特性,包括产额、平均能量、总能量和角分布等,同时模拟计算和分析了电子束的能量、阳极靶的材料和电子束的入射角度对散射电子特性的影响,为X射线管的设计提供束靶作用的理论基础。 展开更多
关键词 X射线管 束靶作用 散射电子 蒙特卡罗模拟
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研究纳米材料微观性能的一种新方法:电子动量谱学
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作者 陈学俊 熊家炯 郑延友 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期305-308,共4页
电子动量谱学正在成为研究纳米材料微观性能的一种新方法。本文对这一新方法的原理、实验设备、实验方法和初步结果作了简要的描述。
关键词 电子动量谱 纳米材料 微观性能 新方法 电子动量分布 散射电子 入射电子 电子能谱 电子能量损失 运动特性
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类氖离子电离截面系统规律研究
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作者 陈重阳 滕舟轩 +2 位作者 颜士翔 王炎森 孙永盛 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1998年第S1期123-124,共2页
用扭曲波玻恩交换近似(DWBE)方法计算了Ar8+、Ti12+、Fe16+、Zn20+、Ge22+、Se24+和Y29+等七个类氖离子的直接电离截面和电离速率系数,并给出了一个精度较高的半经验公式以快速获得18≤Z≤... 用扭曲波玻恩交换近似(DWBE)方法计算了Ar8+、Ti12+、Fe16+、Zn20+、Ge22+、Se24+和Y29+等七个类氖离子的直接电离截面和电离速率系数,并给出了一个精度较高的半经验公式以快速获得18≤Z≤39其它类氖离子的电离截面。 展开更多
关键词 电离截面 类氖离子 系统规律 电离速率 扭曲波玻恩交换近似 碰撞电离截面 散射电子 理论计算值 高温等离子体 中国工程物理研究院
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页岩孔隙结构扫描电镜分析方法研究 被引量:91
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作者 焦淑静 韩辉 +3 位作者 翁庆萍 杨峰 姜大强 崔立山 《电子显微学报》 CAS CSCD 2012年第5期432-436,共5页
页岩气是储集在富含有机质的页岩(泥岩)中的天然气,已经成为重要的非常规天然气资源。页岩气以吸附或游离状态存在于微小孔隙中,这些微孔隙、微裂隙既是页岩气重要的储存空间也是流通通道。页岩中的孔隙有微米级别,也有纳米级别,微米级... 页岩气是储集在富含有机质的页岩(泥岩)中的天然气,已经成为重要的非常规天然气资源。页岩气以吸附或游离状态存在于微小孔隙中,这些微孔隙、微裂隙既是页岩气重要的储存空间也是流通通道。页岩中的孔隙有微米级别,也有纳米级别,微米级孔隙采用新鲜断面的方法,可以用扫描电镜直接观察到,但由于新鲜断面表面粗糙,很难观察到纳米级孔隙及分布状况。用氩离子抛光的方法对样品表面进行处理,可以使样品表面变的光滑平整,使用背散射电子成像方式,有利于观察纳米级孔隙及孔隙形状、大小及分布规律等。本文还对平行层理及垂直层理两种取样方法进行了对比,两种方法相结合观察更全面,效果更好。 展开更多
关键词 页岩气 孔隙 扫描电镜(SEM) 散射电子 氩离子抛光 平行层理 垂直层理
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济阳坳陷下第三系湖相生油岩的微观特征 被引量:46
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作者 刘传联 舒小辛 刘志伟 《沉积学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期293-298,共6页
利用背散射电子成像技术、扫描电镜和能谱分析对山东济阳坳陷下第三系主要湖相生油岩的微观组构、成分特征进行了高分辨率的观察和分析 ,同时对其中藻类化石丰度进行了定量统计。结果显示 ,这些生油岩既有共性又有显著的差异。共性表现... 利用背散射电子成像技术、扫描电镜和能谱分析对山东济阳坳陷下第三系主要湖相生油岩的微观组构、成分特征进行了高分辨率的观察和分析 ,同时对其中藻类化石丰度进行了定量统计。结果显示 ,这些生油岩既有共性又有显著的差异。共性表现在它们都具有纹层状构造 ,而且有机质都特别丰富 ,呈纹层分布。差异性表现在纹层单元的成分明显不同 :富有机质纹层页岩由有机质纹层和粘土矿物纹层组成 ;钙质纹层页岩则有两种情况 :一类由有机质纹层和钙质超微化石纹层组成 ,另一类由有机质纹层和粗粒方解石纹层组成 ,粗粒方解石中含有钙质超微化石 ;钙质纹层泥岩由细粒方解石纹层和含有机质的粘土矿物纹层组成。生油岩中有机质的分布也有两种形式 :一类是有机质纹层 ,另一类则是藻类化石层 ,如沟鞭藻化石层和钙质超微化石 (颗石藻 ) 展开更多
关键词 微观特征 生油岩 下第三系 济阳坳陷 散射电子成像技术 扫描电镜 能谱分析
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扫描电子显微镜 被引量:14
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作者 刘剑霜 谢锋 +2 位作者 吴晓京 陈一 胡刚 《上海计量测试》 2003年第6期37-39,共3页
随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,... 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类. 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 二次电子 特征x射线 散射电子
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扫描电子显微镜的工作原理及应用 被引量:30
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作者 凌妍 钟娇丽 +1 位作者 唐晓山 李栋宇 《山东化工》 CAS 2018年第9期78-79,83,共3页
扫描电子显微镜是一种微观形貌表征手段,具有视野大,分辨率高等优点。本文对扫描电子显微镜的二次电子、背散射电子及特征X射线三种常用信号的原理进行了简述,并利用二次电子模式及能谱对高温煅烧的沙白粉末进行了表征及探测,发现沙白... 扫描电子显微镜是一种微观形貌表征手段,具有视野大,分辨率高等优点。本文对扫描电子显微镜的二次电子、背散射电子及特征X射线三种常用信号的原理进行了简述,并利用二次电子模式及能谱对高温煅烧的沙白粉末进行了表征及探测,发现沙白单体的直径约在150~800 nm之间,沙白主要含Ca和O两种元素。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 沙白 二次电子 散射电子 特征X射线
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背散射电子图像分析在水泥基材料微观结构研究中的应用 被引量:29
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作者 王培铭 丰曙霞 刘贤萍 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1659-1665,共7页
自上世纪80年代,国外研究者成功将背散射电子图像分析(backscattered electron imaging and image analysis,BSE-IA)技术应用于水泥基材料微观结构的研究中,在微观定性研究及物相定量分析方面,都获得不同于其他研究方法的研究结果。介绍... 自上世纪80年代,国外研究者成功将背散射电子图像分析(backscattered electron imaging and image analysis,BSE-IA)技术应用于水泥基材料微观结构的研究中,在微观定性研究及物相定量分析方面,都获得不同于其他研究方法的研究结果。介绍了BSE-IA技术在水泥基材料研究中的应用原理及国外应用现状,并与其他研究方法比较,分析了用此研究方法定性、定量研究水泥浆体中不同物相的优缺点,表明该技术在水泥基材料研究中具有独特的优势。 展开更多
关键词 散射电子图像 微观结构 物相分析 水泥
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铝合金的织构及测试分析研究进展 被引量:25
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作者 杨中玉 张津 +1 位作者 郭学博 计鹏飞 《精密成形工程》 2013年第6期1-6,47,共7页
织构广泛存在于铝合金制品中,并影响着材料的一系列性能,包括强度、延展性、成形性和腐蚀性等。介绍了目前织构的一般测试分析方法,主要阐述了铝合金制造加工过程中产生的各种类型织构,如铸造织构、变形织构和再结晶织构等以及它们的演... 织构广泛存在于铝合金制品中,并影响着材料的一系列性能,包括强度、延展性、成形性和腐蚀性等。介绍了目前织构的一般测试分析方法,主要阐述了铝合金制造加工过程中产生的各种类型织构,如铸造织构、变形织构和再结晶织构等以及它们的演变规律,分析了铝合金加工工艺对材料最终的织构成分及织构强弱的影响,并揭示了厚板铝合金轧制和铝合金的搅拌摩擦焊接过程中产生的不均匀分布织构,以及其对材料性能的影响。最后介绍了铝合金织构的应用情况,并对铝合金织构的研究前景进行了展望,提出了在线织构检测技术,将是未来铝合金织构测试分析的主要发展方向之一。 展开更多
关键词 铝合金 织构 搅拌摩擦焊 散射电子衍射 X射线衍射
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TA15钛合金双重热处理工艺及其微观组织演化的EBSD研究 被引量:24
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作者 朱景川 何东 +1 位作者 杨夏炜 刘勇 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期382-386,共5页
针对航空航天工业中广泛应用的近TA15钛合金,开展了不同热处理参数下的双重热处理实验研究。利用背散射电子技术(Electronic backscatter diffraction,EBSD)表征了不同热处理参数下微观组织形貌特征和晶体学取向分布及规律。对比分析了... 针对航空航天工业中广泛应用的近TA15钛合金,开展了不同热处理参数下的双重热处理实验研究。利用背散射电子技术(Electronic backscatter diffraction,EBSD)表征了不同热处理参数下微观组织形貌特征和晶体学取向分布及规律。对比分析了热处理处保温时间对微观组织形貌及取向分布的影响规律。揭示了双重热处理过程中球化的等轴晶粒,条状次生s晶粒及转变组织的形成演化过程;分析了不同组织间的晶体取向与位置分布关系。研究表明:双重热处理过程中一次保温时间对等轴初生αp形貌及分布等影响较大;热处理过程中球化的等轴晶粒来源于未转变的αp相;二次保温时间对αs形貌、尺寸等具有显著影响;二次保温过程中细条状αs表现为先增长再增厚的生长模式;αp与相邻的s晶体学取向关系表现出一定的统计性规律。 展开更多
关键词 TA15钛合金 双重热处理 微观组织 散射电子技术(EBSD) 晶体取向
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高级别管线钢X100的试验研究 被引量:24
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作者 王路兵 任毅 +2 位作者 张鹏程 武会宾 唐荻 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期80-84,共5页
通过合理的组织、成分设计,在实验室试制成功X100管线钢。利用光学显微镜、透射电镜与背散射电子衍射技术(EBSD),研究了X100钢不同组织构成对力学性能的影响规律及其合理的控冷制度,并通过Gleeble-1500热模拟机获得了试验钢的CCT曲线... 通过合理的组织、成分设计,在实验室试制成功X100管线钢。利用光学显微镜、透射电镜与背散射电子衍射技术(EBSD),研究了X100钢不同组织构成对力学性能的影响规律及其合理的控冷制度,并通过Gleeble-1500热模拟机获得了试验钢的CCT曲线。结果表明,少量AF(Acicular Ferrite)、GB(Granular Bainite)组织的出现,可使原奥氏体晶粒得到分割,抑制板条束的过分长大,使板条贝氏体束的有效晶粒尺寸得到显著细化,钢板具有最优的细化组织,塑韧性得到明显改善;冷却速度为20-25℃/s,终冷温度为380℃时,钢板可获得最佳的组织构成与最优的综合力学性能,屈服强度为775 MPa,抗拉强度为855 MPa,伸长率为16.6%,冲击功(-20℃)为218 J。 展开更多
关键词 X100钢 显微组织 散射电子衍射技术
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阿尔泰可可托海3号伟晶岩脉中铌铁矿族矿物环带构造及其岩石学意义 被引量:21
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作者 张爱铖 王汝成 +3 位作者 胡欢 张辉 朱金初 谢磊 《地质学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期181-189,共9页
本文利用电子探针和背散射电子成像技术系统地研究了新疆阿尔泰可可托海3号伟晶岩脉各结构带中的铝铁矿族矿物。研究表明,本区伟晶岩脉中铌铁矿族矿物主要为铌锰矿-钽锰矿。成分特征显示从岩脉边部带到核部,Ta/(Nb+Ta)比值呈近垂向演化,... 本文利用电子探针和背散射电子成像技术系统地研究了新疆阿尔泰可可托海3号伟晶岩脉各结构带中的铝铁矿族矿物。研究表明,本区伟晶岩脉中铌铁矿族矿物主要为铌锰矿-钽锰矿。成分特征显示从岩脉边部带到核部,Ta/(Nb+Ta)比值呈近垂向演化,但Mn/(Fe+Mn)比值没有明显变化。另一方面,铌铁矿族矿物在早期正岩浆阶段(Ⅰ-Ⅳ带)的成分变化非常局限,而在晚期的岩浆-热液过渡阶段(Ⅴ-Ⅶ带)的成分变化非常大。背散射电子成像技术观察还表明本区铌铁矿族矿物在正岩浆阶段没有环带构造特征,而在岩浆-热液过渡阶段有明显的环带构造特征,而且随着伟晶岩固结过程的进行,环带构造主要沿着渐变环带构造→韵律环带构造→交代构造的趋势变化。研究认为,本区铌铁矿族矿物在不同结构带的成分变化和在单颗粒中的环带构造是热液流体参与铌铁矿族矿物结晶的反应,环带构造的类型主要是由热液流体参与结晶的程度所控制。 展开更多
关键词 伟晶岩 电子探针 散射电子成像 铌铁矿
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琼东南盆地渐新统烃源岩微观沉积特征与沉积环境 被引量:22
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作者 刘传联 《石油学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期573-578,共6页
利用背散射电子成像(BSEI)技术对琼东南盆地渐新统崖城组和陵水组烃源岩微观沉积特征进行了高分辨率研究。结果显示,渐新统烃源岩中的有机质成分既有海相化石,如有孔虫和钙质超微化石,又有丝状或纹层状有机质,还有陆源搬运而来的植物碎... 利用背散射电子成像(BSEI)技术对琼东南盆地渐新统崖城组和陵水组烃源岩微观沉积特征进行了高分辨率研究。结果显示,渐新统烃源岩中的有机质成分既有海相化石,如有孔虫和钙质超微化石,又有丝状或纹层状有机质,还有陆源搬运而来的植物碎屑。这些有机质在烃源岩中的分布极不均匀,有些呈连续纹层状分布,有些呈断续纹层状分布,有些呈分散状均匀散布在矿物颗粒中,还有些则呈团块状或絮凝状分布。根据有机质成分及分布形式,并结合烃源岩沉积结构和构造,将琼东南盆地渐新统烃源岩划分为含连续纹层状有机质泥岩、含断续纹层状有机质泥岩、含有孔虫和钙质超微化石泥岩、含陆源植物碎屑泥岩和含分散状有机质泥岩5种类型。同时,根据钙质超微化石组合变化和微观沉积特征,推测琼东南盆地渐新世总体为滨岸、滨海和浅海沉积环境。 展开更多
关键词 琼东南盆地 渐新统 烃源岩 散射电子成像 钙质超微化石 沉积环境
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用扫描电镜的背散射电子像分析转炉钢渣中的矿物相 被引量:22
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作者 侯贵华 李伟峰 +3 位作者 郭伟 陈景华 罗驹华 王京刚 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2008年第2期208-211,共4页
利用扫描电镜的背散射电子像(SEM)和X射线能谱分析(EDXA),并结合X射线衍射(XRD)方法对3种钢厂转炉钢渣的矿物组成和微观形貌特征进行了系统分析。结果表明,在扫描电镜的背散射电子像中,钢渣中的各矿物相清晰可辨,C_2S呈黑色圆粒状和树叶... 利用扫描电镜的背散射电子像(SEM)和X射线能谱分析(EDXA),并结合X射线衍射(XRD)方法对3种钢厂转炉钢渣的矿物组成和微观形貌特征进行了系统分析。结果表明,在扫描电镜的背散射电子像中,钢渣中的各矿物相清晰可辨,C_2S呈黑色圆粒状和树叶状,C_3S呈黑色六方板状,铁酸二钙呈灰色无定形状,镁铁相呈白色圆粒状或不规则形貌;钢渣的主要矿物为C_2S、铁酸二钙及镁铁相固溶体(RO相),还含有少量的C_3S、f-CaO和MgO;同时还发现铁酸二钙固溶相的典型组成是Ca_2(Al,Fe)_2O_5,镁铁固溶相的代表性组成是MgO·2FeO。这为钢渣的矿物鉴别提供了有效的分析手段。 展开更多
关键词 转炉钢渣 显微结构 散射电子 矿物组成
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EBSD技术在微织构分析中的应用 被引量:18
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作者 杨平 《中国体视学与图像分析》 2005年第4期211-214,224,共5页
简介了EBSD技术在我国的应用状况和发展趋势,提出了主要存在的问题及推广该技术的建议,并列举了EBSD技术在微织构分析中应用的三个例子:1)铝合金中第二相粒子对基体亚晶转动及再结晶新晶粒取向的影响;2)铝、镁合金中孪晶的取向特点及与... 简介了EBSD技术在我国的应用状况和发展趋势,提出了主要存在的问题及推广该技术的建议,并列举了EBSD技术在微织构分析中应用的三个例子:1)铝合金中第二相粒子对基体亚晶转动及再结晶新晶粒取向的影响;2)铝、镁合金中孪晶的取向特点及与基体取向的关系;3)形变晶粒中的取向差分布及对析出的影响。 展开更多
关键词 散射电子衍射 取向成像 微织构分析 EBSD技术 铝合金
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Q235碳素钢不同热变形条件下退火过程的织构分析 被引量:15
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作者 田朝旭 杨平 +1 位作者 冯惠平 孙祖庆 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期422-427,448,共7页
利用扫描电镜、背散射电子衍射(EBXD)和X射线衍射技术研究了三种方式热变形后保温时铁素体的长大行为.结果表明,回复、再结晶和长大的相对程度与第二相粒子的状态及铁素体的取向分布有关.形变强化相变产生的超细铁素体中形变储存能较低... 利用扫描电镜、背散射电子衍射(EBXD)和X射线衍射技术研究了三种方式热变形后保温时铁素体的长大行为.结果表明,回复、再结晶和长大的相对程度与第二相粒子的状态及铁素体的取向分布有关.形变强化相变产生的超细铁素体中形变储存能较低,退火时难以发生静态再结晶,而以晶粒长大为主,铁素体因第二相出现较晚而充分生长:A1温度以下纯铁素体区形变的铁素体虽然形变储存能最高,形变量最大,但第二相钉扎最明显,铁素体仅发生部分再结晶,<111>取向形变晶粒比<100>取向形变晶粒更明显地被削弱;α+γ两相区形变时,铁素体(亚)晶粒发生回复式长大,<111>取向晶粒和<100>取向晶粒有不同的再结晶倾向. 展开更多
关键词 Q235碳素钢 热变形 退火 织构分析 散射电子衍射 X射线衍射 再结晶 晶粒长大
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低合金高强度钢焊缝金属中针状铁素体的微观组织 被引量:16
19
作者 魏然 吴开明 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期47-50,共4页
利用光学显微镜,扫描电子显微镜及EBSD(electron backscattering diffraction)分析技术对800MPa级低碳微合金高强度钢的焊缝金属进行了分析.结果表明,焊缝金属组织主要为针状铁素体和贝氏体.针状铁素体以夹杂物为核心形核,该夹杂物主要... 利用光学显微镜,扫描电子显微镜及EBSD(electron backscattering diffraction)分析技术对800MPa级低碳微合金高强度钢的焊缝金属进行了分析.结果表明,焊缝金属组织主要为针状铁素体和贝氏体.针状铁素体以夹杂物为核心形核,该夹杂物主要是以Al2O3为核心形成的钛氧化物.针状铁素体以夹杂物为核心多维形核呈放射状生长,仅某些方向的针状铁素体晶核迅速长大,生长方向存在取向择优.EBSD分析同样表明针状铁素体晶粒存在取向择优.观察到由同一夹杂物生长,沿同一直线方向背向生长的针状铁素体取向相同,沿不同方向生长的针状铁素体取向不同,说明其沿原奥氏体惯习面生长,并非与夹杂物共格. 展开更多
关键词 低合金高强度钢 焊缝金属 针状铁素体 散射电子衍射
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导电性较差样品的扫描电镜优化观测条件 被引量:16
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作者 曹惠 《中国测试》 CAS 北大核心 2014年第3期19-22,共4页
为解决扫描电镜测试中样品的荷电问题,采用场发射扫描电镜(FESEM),以导电性较差样品如介孔硅SBA-15粉末、介孔SiO2纳米球、聚苯乙烯球及SBA-15/W等为研究对象,比较不同测试条件下的FESEM图片。结果表明,影响FESEM图像质量的因素较多,其... 为解决扫描电镜测试中样品的荷电问题,采用场发射扫描电镜(FESEM),以导电性较差样品如介孔硅SBA-15粉末、介孔SiO2纳米球、聚苯乙烯球及SBA-15/W等为研究对象,比较不同测试条件下的FESEM图片。结果表明,影响FESEM图像质量的因素较多,其中工作距离和加速电压是影响图片质量的主要因素;较小的工作距离、较低的加速电压、一定量背散射电子信号的加入、下探测器的选用(放大倍数小于5万倍)、减速观察模式及线平均扫描模式,是导电性较差样品FESEM图片的优化观测条件。 展开更多
关键词 冷场发射扫描电镜 低加速电压 减速模式 二次电子 散射电子
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