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基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计 被引量:20
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作者 李丹丹 梁庭 +2 位作者 李赛男 姚宗 熊继军 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1315-1320,共6页
利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔,最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温... 利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔,最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试,高温压力测试结果表明,在21℃(常温)至300℃的温度范围内,传感器敏感芯片可在压力量程内正常工作,传感器敏感芯片的线性度从0.9 985下降为0.9 865,控制在较小的范围内。高温压力下的性能测试结果表明,该压力传感器可用于300℃恶劣环境下的压力测量,其高温下的稳定性能为压阻式高温压力芯片的研制提供了参考。 展开更多
关键词 高温压力传感器 压阻 敏感薄膜 SOI(绝缘体上硅) MEMS(微机电系统)
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基于SnO_2-In_2O_3复合纳米纤维的薄膜型甲醛传感器研究 被引量:14
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作者 胡明江 马步伟 王忠 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期47-52,共6页
采用双喷嘴静电纺丝技术制备了SnO2/In2O3复合纳米纤维,涂敷于带有金电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜型甲醛传感器。采用X射线衍射仪、热场发射扫描电子显微镜、O2-程序升温脱附仪和X-射线光电子能谱(XPS)... 采用双喷嘴静电纺丝技术制备了SnO2/In2O3复合纳米纤维,涂敷于带有金电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜型甲醛传感器。采用X射线衍射仪、热场发射扫描电子显微镜、O2-程序升温脱附仪和X-射线光电子能谱(XPS)仪,表征了SnO2/In2O3纳米纤维的相组成和微观形貌,分析了敏感薄膜成分配比对甲醛吸附强度与电化学的影响机理。在气体传感器静态测试系统上,采用XEDWS-60A型气敏元件分析仪测试了甲醛传感器敏感特性、温度特性、湿度特性、动态响应、抗干扰和稳定性。结果表明,以S50纳米纤维为敏感薄膜(膜厚为240nm)的甲醛传感器,在温度为500℃,甲醛浓度为0.5~50mg/L时,传感器线性度和灵敏度最大值分别为96.8%和97.5%,承受的温度上限为1000℃,动态响应和恢复时间分别为23和12s。此传感器对CO、NO。甲苯、菲、丙酮和甲醇等气体具有良好的抗干扰性能。在汽车上连续使用12个月后,响应衰减了5.5%,响应正常时间为6.4个月。 展开更多
关键词 静电纺丝 甲醛传感器 复合纳米纤维 敏感薄膜
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一种新型微结构高灵敏度光纤温度传感器 被引量:13
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作者 李涛 戴玉堂 赵前程 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期625-630,共6页
为实现高精度温度检测,提出一种基于飞秒激光微加工的新型光纤温度传感器的制备方法。利用波长为780nm的飞秒激光脉冲在刻写有光纤布拉格光栅(FBG)的单模光纤(SMF)包层上加工槽状微结构,通过磁控溅射的方法在其表面沉积温敏薄膜,从而制... 为实现高精度温度检测,提出一种基于飞秒激光微加工的新型光纤温度传感器的制备方法。利用波长为780nm的飞秒激光脉冲在刻写有光纤布拉格光栅(FBG)的单模光纤(SMF)包层上加工槽状微结构,通过磁控溅射的方法在其表面沉积温敏薄膜,从而制备一种光纤温度传感探头。理论分析了环状微结构镀膜实现温度增敏的工作机制,通过温度实验讨论了不同微结构镀膜对温度增敏效果的影响。实验结果表明,在FBG包层上单纯加工槽状微结构(无镀膜),对温度的灵敏度影响不大,基本上不改变光栅中心波长随温度变化的趋势;加工槽状微结构后再沉积敏感薄膜,可明显提升传感器的温度灵敏度,其中环状膜层较镀膜螺纹膜层微结构的增敏效果更加明显,其灵敏度可达21.37pm/℃。 展开更多
关键词 温度传感器 飞秒激光 光纤布拉格光栅(FBG) 微结构 敏感薄膜
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基于氧化锌/聚苯胺复合材料的薄膜型甲醇传感器研究 被引量:8
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作者 胡明江 崔秋娜 +1 位作者 虞婷婷 吕春旺 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期1201-1207,共7页
采用低温水热法制备了纳米氧化锌(ZnO),并利用原位聚合法制备了ZnO/聚苯铵复合材料。将制备的ZnO/PANI纳米晶粒均匀涂覆于刻有叉指Pt电极玻璃基底表面形成敏感薄膜,设计了一种薄膜型甲醇传感器。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和X-射... 采用低温水热法制备了纳米氧化锌(ZnO),并利用原位聚合法制备了ZnO/聚苯铵复合材料。将制备的ZnO/PANI纳米晶粒均匀涂覆于刻有叉指Pt电极玻璃基底表面形成敏感薄膜,设计了一种薄膜型甲醇传感器。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和X-射线光电子能谱(XPS)仪表征了ZnO/PANI纳米晶粒的相组成和微观形貌,分析了敏感薄膜成分配比对甲醇气敏机理和电化学特性,测试了甲醇传感器敏感特性、温度特性、湿度特性、动态响应和选择稳定性。结果表明,以PZ50纳米晶粒为敏感薄膜的甲醇传感器,在温度为30℃、甲醇气体浓度为25 mg/m^3时,传感器响应最大值为1795.6,相对湿度限值为90%,动态响应和恢复时间分别为6.9和19.6 s。此传感器对N_2O、甲醛、乙醇、丙酮和1,3-丁二烯等气体无明显响应,在汽车上连续使用12周后,响应衰减了2.3%。 展开更多
关键词 氧化锌 聚苯胺 传感器 甲醇 敏感薄膜
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基于波分复用的长周期光纤光栅光化学多参量传感技术研究 被引量:8
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作者 陈海云 顾铮■ 高侃 《中国激光》 CSCD 北大核心 2014年第2期264-271,共8页
提出一种基于波分复用(WDM)的长周期光纤光栅(LPFG)光化学多参量传感技术。利用均匀LPFG相邻级次包层模耦合谐振峰间的波长间隔,通过设计不同传感单元LPFG的光栅周期,进一步通过包层腐蚀或镀膜调整各LPFG特征峰位置,使各LPFG的特征峰在... 提出一种基于波分复用(WDM)的长周期光纤光栅(LPFG)光化学多参量传感技术。利用均匀LPFG相邻级次包层模耦合谐振峰间的波长间隔,通过设计不同传感单元LPFG的光栅周期,进一步通过包层腐蚀或镀膜调整各LPFG特征峰位置,使各LPFG的特征峰在观察波长范围内相互错位。前一个LPFG激发的包层模不能传输到下一个LPFG,不同参量变化引起的各LPFG特征峰移动相互独立,通过考察系统输出复合谱中各特征峰的偏移可得各参量值。实验中利用镀聚炳烯胺盐酸盐/聚丙烯酸(PAH/PAA)薄膜LPFG、薄包层LPFG和镀TiO2/SnO2复合薄膜LPFG组成多参量传感系统,实现了对pH值、NaCl溶液浓度和相对湿度(RH)三个参量的传感。基于WDM的LPFG光化学多参量传感原理与结构简单,各LPFG的结构设计可独立进行,适用于对多个光化学环境参量的分布式测量。 展开更多
关键词 光纤光学 长周期光纤光栅 波分复用 多参量传感 敏感薄膜
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TiO_2-SnO_2纳米晶膜紫外光照下对臭氧气敏性能的研究 被引量:7
6
作者 胡明江 马步伟 王忠 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期948-954,共7页
以低温水热法制备了TiO2-SnO2复合纳米晶粒,采用提拉法涂敷于带有金电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜式臭氧传感器。采用 X 射线衍射仪、热场发射扫描电子显微镜、能量色散X 射线谱仪和紫外-可见光谱能谱仪,表征... 以低温水热法制备了TiO2-SnO2复合纳米晶粒,采用提拉法涂敷于带有金电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜式臭氧传感器。采用 X 射线衍射仪、热场发射扫描电子显微镜、能量色散X 射线谱仪和紫外-可见光谱能谱仪,表征了TiO2-SnO2纳米晶粒的晶体结构和微观形貌。采用紫外-可见吸收光谱法和电化学方法,讨论了TiO2-SnO2纳米晶粒对臭氧敏感机理与光电化学特性。在气体传感器静态测试系统上,采用XEDWS-60A型气敏元件分析仪测试了紫外光下臭氧传感器敏感特性、动态响应、抗干扰和稳定性。结果表明,以Ti与Sn摩尔比为6的TiO2-SnO2纳米晶粒为敏感薄膜的臭氧传感器,在相对湿度为40%和温度为25℃条件下,臭氧浓度为0.1~1.8μg/L时,有、无紫外光照射的臭氧传感器线性度分别为97.5%和78.5%,动态响应分别为2和9 s,恢复时间分别为5.5和15 s。此传感器对CO、NOx、甲醛、丙酮、丁醇和甲醇等气体具有良好的抗干扰性能。在汽车上连续使用12个月后,响应衰减了4.7%,响应正常时间为8.5个月。 展开更多
关键词 臭氧传感器 复合纳米晶粒 紫外光照 敏感薄膜
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基于光纤微结构加工和敏感材料物理融合的光纤传感技术 被引量:5
7
作者 王闵 刘复飞 +2 位作者 周贤 戴玉堂 杨明红 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期19-27,共9页
将功能敏感材料与光纤在物理层面进行有机融合,充分发挥光纤传感器在结构集成、材料集成等方面的优势,将有望发展新型的光纤传感器件和系统.本文综述了飞秒激光光纤微加工技术分别在标准的单模光纤和光纤光栅上制备微结构,再结合敏感材... 将功能敏感材料与光纤在物理层面进行有机融合,充分发挥光纤传感器在结构集成、材料集成等方面的优势,将有望发展新型的光纤传感器件和系统.本文综述了飞秒激光光纤微加工技术分别在标准的单模光纤和光纤光栅上制备微结构,再结合敏感材料制备技术,实现在物理层面上光纤传感器材料和结构的集成和融合,探索实现新型高性能的光纤传感新技术. 展开更多
关键词 光纤传感 飞秒激光 敏感薄膜
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基于SnO_2-CuO纳米纤维的薄膜型H_2S传感器研究 被引量:5
8
作者 胡明江 王忠 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期1315-1321,共7页
采用同轴静电纺丝技术制备了SnO2-CuO复合纳米纤维,采用提拉法将SnO2-CuO纳米纤维涂覆于印有梳状Au电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜式H2S传感器。采用X射线衍射、扫描电子显微镜和X-射线光电子能谱(XPS)表征Sn... 采用同轴静电纺丝技术制备了SnO2-CuO复合纳米纤维,采用提拉法将SnO2-CuO纳米纤维涂覆于印有梳状Au电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜式H2S传感器。采用X射线衍射、扫描电子显微镜和X-射线光电子能谱(XPS)表征SnO2-CuO纳米纤维的相组成和微观形貌,分析了敏感薄膜成分配比和厚度对硫化氢敏感机理和电化学特性。采用WS-30A型气敏元件分析仪测试了H2S传感器敏感特性、温度特性、湿度特性、动态响应、抗干扰特性和稳定性。结果表明,以C50纳米纤维为敏感薄膜(膜厚为70 nm)的H2S传感器,在温度为25℃,H2S气体浓度为10~60 mg/L时,传感器线性度和灵敏度分别为92.3%和98.2%,响应最大值为1080,承受的最大相对湿度为95%,动态响应和恢复时间分别为4和12 s。此传感器对CO,NO2,SO2,NH3,CO2,CH4和H2等有害气体具有较好的抗干扰性。在矿井中连续使用12月后,响应衰减了9.2%,响应正常时间为10.9月。 展开更多
关键词 同轴静电纺丝 硫化氢 传感器 纳米纤维 敏感薄膜
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薄包层长周期光纤光栅薄膜传感器特性研究 被引量:5
9
作者 陈海云 彭保进 +1 位作者 斯剑霄 黄秋萍 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期45-50,共6页
基于薄膜参量变化引起的长周期光纤光栅模式重组机制,系统研究了光纤包层半径变化对长周期光纤光栅薄膜传感器特性的影响.结果表明,在相同薄膜参量下包层半径的减小可有效提高传感器的灵敏度,并增大传感器对薄膜参量变化响应的动态范围... 基于薄膜参量变化引起的长周期光纤光栅模式重组机制,系统研究了光纤包层半径变化对长周期光纤光栅薄膜传感器特性的影响.结果表明,在相同薄膜参量下包层半径的减小可有效提高传感器的灵敏度,并增大传感器对薄膜参量变化响应的动态范围,但减小包层半径对传感器的增敏效应随薄膜厚度的增大而减小.通过氢氟酸腐蚀减小包层半径,采用静电自组装法在包层表面镀制PAH/PAA薄膜,镀膜过程中光纤光栅输出的光谱数据证实了理论分析结果.实验结果表明:半径为39μm、膜厚为424nm的长周期光纤光栅薄膜传感器在溶液pH值检测中的灵敏度达3.93nm/pHU,比标准包层时的灵敏度提高了1倍. 展开更多
关键词 光纤光学 长周期光纤光栅 模式重组 薄包层 敏感薄膜
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压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法 被引量:5
10
作者 杨娇燕 梁庭 +5 位作者 李鑫 林立娜 李奇思 赵丹 雷程 熊继军 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第2期4-8,共5页
为了实现对压阻式压力传感器灵敏度的准确预估,针对传统中心点算法的不足,采用了一种基于对敏感薄膜应力分布的有限元仿真分析和路径积分的仿真方法。通过对电阻所在路径线积分计算电阻平均变化率,计算出不同压力下的输出电压。对2种不... 为了实现对压阻式压力传感器灵敏度的准确预估,针对传统中心点算法的不足,采用了一种基于对敏感薄膜应力分布的有限元仿真分析和路径积分的仿真方法。通过对电阻所在路径线积分计算电阻平均变化率,计算出不同压力下的输出电压。对2种不同的模型四边固支的方形膜模型和底面固支的C型模型,进行仿真分析并将仿真结果和实际值对比。实验结果表明底面固支的C型模型比四面固支的方形模型更接近实际情况。传感器样品的实际灵敏度为0.102 5 mV/kPa,与底面固支的C型模型仿真结果相对误差小于2%。 展开更多
关键词 灵敏度 压阻式压力传感器 有限元仿真分析 敏感薄膜 路径积分
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声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究 被引量:2
11
作者 李淑红 赵启大 +1 位作者 廖同庆 廖继平 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期461-463,共3页
理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响。分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响。提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式。
关键词 声表面波 敏感薄膜 最佳薄膜厚度
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Fe_2O_3-SnO_2双层薄膜对氨气敏感特性及其机理研究 被引量:2
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作者 戴国瑞 何秀丽 +1 位作者 王宗昌 南金 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第10期745-751,共7页
本文报道了以Fe(CO)5和SnCl4为源,采用PECVD技术淀积Fe2O3-SnO2双层薄膜,将该薄膜淀积在陶瓷管上,对氨气的敏感特性进行了测量,并讨论了敏感机理.
关键词 半导体 敏感器件 传感器 氨气 敏感薄膜
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基于SmFeO_3纳米晶粒的甲醇传感器 被引量:2
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作者 吉文哲 朱凯 +2 位作者 胡明江 李文莉 徐晓寒 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第10期1-3,9,共4页
以溶胶-凝胶法制备了SmFeO3复合纳米晶粒,采用提拉法涂敷于带有铂电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型甲醇传感器。在气体传感器静态测试装置上,测试了甲醇传感器敏感特性、选择特性和动态响应特性。结果表明,提拉次数为... 以溶胶-凝胶法制备了SmFeO3复合纳米晶粒,采用提拉法涂敷于带有铂电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型甲醇传感器。在气体传感器静态测试装置上,测试了甲醇传感器敏感特性、选择特性和动态响应特性。结果表明,提拉次数为3的甲醇传感器(SFO_3)灵敏度为97.65%,动态响应时间为10.12s,恢复时间分别为14.26s,持续工作时间5.5月。该研究工作对推动甲醇-汽油混合燃料在汽车等方面的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 纳米晶粒 敏感薄膜 甲醇传感器 混合燃料 在线检测
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光波导氨敏传感器的研究 被引量:2
14
作者 杨荟奇 祁志美 《光学与光电技术》 2011年第4期16-19,共4页
提出了一种新型的光波导氨敏传感器,将光波导中消逝波理论与纳米多孔薄膜技术相结合,在玻璃薄膜光波导上制备一层纳米TiO_2多孔薄膜,并将氨敏试剂(BTB)固定在纳米TiO_2多孔薄膜中,利用导波光的消逝场实时地探测敏感薄膜对导波光的吸收,... 提出了一种新型的光波导氨敏传感器,将光波导中消逝波理论与纳米多孔薄膜技术相结合,在玻璃薄膜光波导上制备一层纳米TiO_2多孔薄膜,并将氨敏试剂(BTB)固定在纳米TiO_2多孔薄膜中,利用导波光的消逝场实时地探测敏感薄膜对导波光的吸收,实现了对氨气的探测,检测下限达到1 ppm。同时对比了致密敏感薄膜和多孔敏感薄膜对氨气的响应,后者灵敏度约为前者的3倍,最后讨论了相对湿度对检测结果的影响。由于所制作的敏感薄膜对光谱的吸收具有可逆性,因此该传感器具有良好的重复性。 展开更多
关键词 光波导 气体检测 平面波导 敏感薄膜 纳米多孔材料
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CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒对甲烷气敏性影响分析 被引量:2
15
作者 曹小荣 胡明江 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第11期10-13,18,共5页
为了快速准确检测矿井中的甲烷气体浓度,以直接沉淀法制备了不同含量Ce O2的CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒。利用掩膜法将制备的CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒镀膜于氧化硅绝缘层表面形成敏感薄膜,采用标准MEMS工艺制作了一种薄膜型甲烷传感器。采用X... 为了快速准确检测矿井中的甲烷气体浓度,以直接沉淀法制备了不同含量Ce O2的CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒。利用掩膜法将制备的CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒镀膜于氧化硅绝缘层表面形成敏感薄膜,采用标准MEMS工艺制作了一种薄膜型甲烷传感器。采用X射线衍射仪表征了CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒的相组成和微观形貌,利用全自动程序化学吸附仪分析了CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒对甲烷的吸附机理。在气体传感器静态测试系统上,测试了甲烷传感器灵敏度、湿度、温度、动态响应、抗干扰和长期稳定性等特性。结果表明:以Ce_30为敏感薄膜的甲烷传感器灵敏度为98.3%,动态响应时间为11 s,恢复时间为8 s。在矿井中连续使用12个月后,灵敏度衰减了8.5%。表明该甲烷传感器可实现矿井中甲烷气体在线检测。 展开更多
关键词 直接沉淀法 纳米晶粒 敏感薄膜 甲烷传感器 灵敏度
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敏感薄膜的制备技术 被引量:1
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作者 高凯 张玉赋 沈洪涛 《江苏科技信息》 1999年第9期16-17,共2页
薄膜传感器是一种新型的传感器。薄膜传感器具有如下优点:①耐振动,结构稳定,噪声小;②体积小,耗材少;③灵敏度高,精度高,响应快。相对于块状物质,由于处于薄膜形态的物质具有许多独特的性质,因而薄膜器件已成为现代科学技术领域中不可... 薄膜传感器是一种新型的传感器。薄膜传感器具有如下优点:①耐振动,结构稳定,噪声小;②体积小,耗材少;③灵敏度高,精度高,响应快。相对于块状物质,由于处于薄膜形态的物质具有许多独特的性质,因而薄膜器件已成为现代科学技术领域中不可缺少的器件。薄膜传感器敏感薄膜的制备技术近年来发展很快,在传感技术中独树一帜。目前国内外敏感薄膜制备方法主要有物理方法、化学方法、生物学方法三类方法。 展开更多
关键词 敏感薄膜 制备技术 薄膜传感器 溅射成膜工艺
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薄膜荧光传感
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作者 刘鸣华 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2022年第8期10-11,共2页
不同于其它探测技术,荧光以激发态实现传感。因此,荧光传感具有灵敏度高、可设计性好、仪器结构相对简单、能耗低、不涉及放射性源、易于实现便携等优点,受到了人们的特别关注^(1,2)。薄膜荧光传感是荧光传感的一种重要形式,是继离子迁... 不同于其它探测技术,荧光以激发态实现传感。因此,荧光传感具有灵敏度高、可设计性好、仪器结构相对简单、能耗低、不涉及放射性源、易于实现便携等优点,受到了人们的特别关注^(1,2)。薄膜荧光传感是荧光传感的一种重要形式,是继离子迁移谱技术之后最具发展潜力的可实现便携的气相微痕量物质探测技术。敏感薄膜创制是薄膜荧光技术的核心,薄膜性能主要取决于决定传感发生机制的传感单元,以及影响传感对象分子吸附、解析和扩散的活性层(adlayer)结构。 展开更多
关键词 敏感薄膜 传感单元 荧光传感 仪器结构 痕量物质 分子吸附 薄膜性能 可设计性
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Review on Optical Fiber Sensors With Sensitive Thin Films 被引量:1
18
作者 Minghong YANG Jixiang DAI 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS 2012年第1期14-28,共15页
The combination of fiber optics with nano-structure technologies and sensitive thin films offers great potential for the realization of novel sensor concepts. Miniatured optical fiber sensors with thin films as sensit... The combination of fiber optics with nano-structure technologies and sensitive thin films offers great potential for the realization of novel sensor concepts. Miniatured optical fiber sensors with thin films as sensitive elements could open new fields for optical fiber sensor applications. Thin films work as sensitive elements and transducer to get response and feedback from environments, in which optical fibers are employed to work as signal carrier. This article presents some research work conducted at the National Engineering Laboratory for Optical Fiber Sensing Technologies in recent years. Concrete examples are: Pd/WO3 co-sputtered coating as sensing material for optical hydrogen sensors shows robust mechanical stability and meanwhile good sensing performance; TbDyFe magnetostrictive coating directly deposited on fiber Bragg grating (FBG) demonstrates its possibility of miniature optical magnetic field/current sensors, and 40-pm shift of the FBG wavelength happens at a magnetic field order of 50 mT. 展开更多
关键词 Fiber Bragg grating sensitive thin film magnetron sputtering
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高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片技术研究
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作者 张万里 《科技成果管理与研究》 2022年第7期69-70,共2页
传感器、通信与计算机被称为现代信息技术的三大支柱,传感器产业已被国内外公认为是最具有发展前途的高技术产业之一.随着传感器不断向小型化、集成化以及智能化方向发展,将敏感材料薄膜化并与集成电路(IC)集成在一起形成传感器芯片,已... 传感器、通信与计算机被称为现代信息技术的三大支柱,传感器产业已被国内外公认为是最具有发展前途的高技术产业之一.随着传感器不断向小型化、集成化以及智能化方向发展,将敏感材料薄膜化并与集成电路(IC)集成在一起形成传感器芯片,已成为传感器技术发展的重要方向,其技术实现途径分为单片集成(薄膜敏感单元沉积在IC上,形成"单片式"传感器芯片)和混合集成(薄膜敏感元件和IC两个分立元件互连封装在一起,形成"混合式"传感器芯片)两大类.这种集成技术使只有单一信号变换功能的传感器扩展为兼有信号放大、运算、补偿等功能的传感器芯片.当前,国外传感器芯片技术日趋成熟,部分产品已批量应用,而国内还未形成芯片设计-薄膜制备-器件加工-典型应用的自主知识产权技术链. 展开更多
关键词 敏感薄膜 异构集成 敏感元件 信号变换 传感器芯片 高技术产业 信号放大 分立元件
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SAW氢传感器敏感薄膜的研究进展 被引量:1
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作者 周俊静 周荣飞 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期75-78,共4页
氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用。综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物半导体(MOS)型薄膜材料的特点,着重阐述了金属氧化物半导体薄膜对SAW的作用机理和改性途径,以及纳米技术在... 氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用。综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物半导体(MOS)型薄膜材料的特点,着重阐述了金属氧化物半导体薄膜对SAW的作用机理和改性途径,以及纳米技术在SAW氢传感器敏感薄膜中的应用,展望了氢敏薄膜的发展方向。 展开更多
关键词 声表面波 氢传感器 综述 敏感薄膜
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