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常见放气率测试方法的量化比较 被引量：10
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作者 关玉慧 宋洪 +6 位作者 董海义 黄涛 王鹏程 刘佳明 刘顺明 谭彪 孙晓阳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期524-530,共7页
对材料放气率的准确测量至关重要,本文对自主设计出的转换气路(SPP)法测试装置进行了试用,装置重复性较好。将此方法与工程上常用的静态升压法、小孔流导法进行了数量上的直观比较,SPP法比小孔流导法、静态升压法测得的放气率更低。结合... 对材料放气率的准确测量至关重要,本文对自主设计出的转换气路(SPP)法测试装置进行了试用,装置重复性较好。将此方法与工程上常用的静态升压法、小孔流导法进行了数量上的直观比较,SPP法比小孔流导法、静态升压法测得的放气率更低。结合molflow模拟,实测值与模拟值相互验证,分析了误差来源,明确了提升方向。 展开更多
关键词 真空技术 放气率测试 转换气路 molflow
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