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退火温度对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜晶化及介电性能的影响
被引量:
1
1
作者
廖家轩
潘笑风
+3 位作者
王洪全
张佳
傅向军
田忠
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第A02期627-630,共4页
用改善的溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备了钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,研究了退火温度对薄膜晶化及介电性能的影响。X射线衍射表明,由于薄膜较薄,各温度下衍射峰强度均微弱,但呈(110)择优取向,随温度的升高峰强度逐渐增加,也出现其他...
用改善的溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备了钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,研究了退火温度对薄膜晶化及介电性能的影响。X射线衍射表明,由于薄膜较薄,各温度下衍射峰强度均微弱,但呈(110)择优取向,随温度的升高峰强度逐渐增加,也出现其他晶向的衍射峰。扫描电镜和原子力显微镜表明,改善的BST薄膜表面形貌光滑致密、无裂纹、无缩孔,随温度的升高薄膜晶化增强、晶粒逐渐长大、粗糙度增加。40V外加电压下的介电性能大幅度提高,介电调谐率大于30%,介电损耗约0.02,其中,650℃对应介电调谐率45.1%和介电损耗0.0187。同时,就有关结构、介电性能及退火温度的关系进行了讨论。
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关键词
改善
的
溶胶
凝胶
法
钛酸锶钡薄膜
晶化
介电性能
下载PDF
职称材料
题名
退火温度对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜晶化及介电性能的影响
被引量:
1
1
作者
廖家轩
潘笑风
王洪全
张佳
傅向军
田忠
机构
电子科技大学
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第A02期627-630,共4页
基金
电子科技大学中青年学术带头人培养计划(Y02018023601053)
博士点基金(20060614021)
四川省应用基础研究(2008JY0057)资助
文摘
用改善的溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备了钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,研究了退火温度对薄膜晶化及介电性能的影响。X射线衍射表明,由于薄膜较薄,各温度下衍射峰强度均微弱,但呈(110)择优取向,随温度的升高峰强度逐渐增加,也出现其他晶向的衍射峰。扫描电镜和原子力显微镜表明,改善的BST薄膜表面形貌光滑致密、无裂纹、无缩孔,随温度的升高薄膜晶化增强、晶粒逐渐长大、粗糙度增加。40V外加电压下的介电性能大幅度提高,介电调谐率大于30%,介电损耗约0.02,其中,650℃对应介电调谐率45.1%和介电损耗0.0187。同时,就有关结构、介电性能及退火温度的关系进行了讨论。
关键词
改善
的
溶胶
凝胶
法
钛酸锶钡薄膜
晶化
介电性能
Keywords
improved sol-gel method
barium strontium titanate film
crystallization
dielectric properties
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
退火温度对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜晶化及介电性能的影响
廖家轩
潘笑风
王洪全
张佳
傅向军
田忠
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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职称材料
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