期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
自动加料单晶炉的设计与研究
被引量:
2
1
作者
李海林
武欢
王瑞
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第2期203-206,共4页
由于传统的晶体生长设备不具备加料功能,在晶体生长过程中无法进行原料补充,所以最终的晶体尺寸通常受制于坩埚和设备大小。而更大尺寸的坩埚和设备成本高,这制约了大尺寸晶体的研究和发展。该文设计了一种自动加料系统,可根据已生长的...
由于传统的晶体生长设备不具备加料功能,在晶体生长过程中无法进行原料补充,所以最终的晶体尺寸通常受制于坩埚和设备大小。而更大尺寸的坩埚和设备成本高,这制约了大尺寸晶体的研究和发展。该文设计了一种自动加料系统,可根据已生长的晶体质量向坩埚内补充同等质量的原料,确保坩埚内固-液界面保持不变,从而实现小坩埚生长大尺寸晶体的目标,提高了设备利用率,节约了能源,降低了生产成本,促进了大尺寸晶体的发展。
展开更多
关键词
自动加料
提拉
单晶
炉
晶体生长
大尺寸晶体
下载PDF
职称材料
提拉单晶炉自动引晶技术的研究
被引量:
2
2
作者
何晔
佘建军
+6 位作者
付昌禄
李金
宋晓佳
武欢
李海林
母江东
邓力
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第1期97-99,共3页
该文从人工引晶工艺流程入手,结合提拉法单晶炉已有技术和温度测控技术,使用计算机编程技术和传感器测量技术完成人工引晶的各项步骤,实现了提拉法单晶炉引晶技术的全自动化,从而实现真正意义上的全自动单晶炉。
关键词
提拉
法
单晶
炉
引晶
提拉
法(CZ)
红外测温
上称重
下载PDF
职称材料
题名
自动加料单晶炉的设计与研究
被引量:
2
1
作者
李海林
武欢
王瑞
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第2期203-206,共4页
文摘
由于传统的晶体生长设备不具备加料功能,在晶体生长过程中无法进行原料补充,所以最终的晶体尺寸通常受制于坩埚和设备大小。而更大尺寸的坩埚和设备成本高,这制约了大尺寸晶体的研究和发展。该文设计了一种自动加料系统,可根据已生长的晶体质量向坩埚内补充同等质量的原料,确保坩埚内固-液界面保持不变,从而实现小坩埚生长大尺寸晶体的目标,提高了设备利用率,节约了能源,降低了生产成本,促进了大尺寸晶体的发展。
关键词
自动加料
提拉
单晶
炉
晶体生长
大尺寸晶体
Keywords
automatical feeding
Czochralski crystal furnace
crystal growth
large size crystal
分类号
TN304.053 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
提拉单晶炉自动引晶技术的研究
被引量:
2
2
作者
何晔
佘建军
付昌禄
李金
宋晓佳
武欢
李海林
母江东
邓力
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第1期97-99,共3页
文摘
该文从人工引晶工艺流程入手,结合提拉法单晶炉已有技术和温度测控技术,使用计算机编程技术和传感器测量技术完成人工引晶的各项步骤,实现了提拉法单晶炉引晶技术的全自动化,从而实现真正意义上的全自动单晶炉。
关键词
提拉
法
单晶
炉
引晶
提拉
法(CZ)
红外测温
上称重
Keywords
Czochralski crystal grower
seeding
CZ method
IR temperature measurement
Up-weighing
分类号
TM221 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN304.053 [电气工程—电工理论与新技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自动加料单晶炉的设计与研究
李海林
武欢
王瑞
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020
2
下载PDF
职称材料
2
提拉单晶炉自动引晶技术的研究
何晔
佘建军
付昌禄
李金
宋晓佳
武欢
李海林
母江东
邓力
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014
2
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部