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自动加料单晶炉的设计与研究 被引量:2
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作者 李海林 武欢 王瑞 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第2期203-206,共4页
由于传统的晶体生长设备不具备加料功能,在晶体生长过程中无法进行原料补充,所以最终的晶体尺寸通常受制于坩埚和设备大小。而更大尺寸的坩埚和设备成本高,这制约了大尺寸晶体的研究和发展。该文设计了一种自动加料系统,可根据已生长的... 由于传统的晶体生长设备不具备加料功能,在晶体生长过程中无法进行原料补充,所以最终的晶体尺寸通常受制于坩埚和设备大小。而更大尺寸的坩埚和设备成本高,这制约了大尺寸晶体的研究和发展。该文设计了一种自动加料系统,可根据已生长的晶体质量向坩埚内补充同等质量的原料,确保坩埚内固-液界面保持不变,从而实现小坩埚生长大尺寸晶体的目标,提高了设备利用率,节约了能源,降低了生产成本,促进了大尺寸晶体的发展。 展开更多
关键词 自动加料 提拉单晶 晶体生长 大尺寸晶体
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提拉单晶炉自动引晶技术的研究 被引量:2
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作者 何晔 佘建军 +6 位作者 付昌禄 李金 宋晓佳 武欢 李海林 母江东 邓力 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第1期97-99,共3页
该文从人工引晶工艺流程入手,结合提拉法单晶炉已有技术和温度测控技术,使用计算机编程技术和传感器测量技术完成人工引晶的各项步骤,实现了提拉法单晶炉引晶技术的全自动化,从而实现真正意义上的全自动单晶炉。
关键词 提拉单晶 引晶 提拉法(CZ) 红外测温 上称重
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