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掺Au扩散对快速恢复功率二极管电参数的影响
被引量:
1
1
作者
陈艳明
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期569-572,共4页
简述快速恢复功率二极管的几个重要电参数及其工作原理,根据长期制造二极管的实验经验和实验数据分析,掺Au工艺对快速恢复功率二极管反向恢复时间trr和外延二极管正向压降VF以及反向电流IR的影响。实验采用掺Au扩散温度在900℃以上,观...
简述快速恢复功率二极管的几个重要电参数及其工作原理,根据长期制造二极管的实验经验和实验数据分析,掺Au工艺对快速恢复功率二极管反向恢复时间trr和外延二极管正向压降VF以及反向电流IR的影响。实验采用掺Au扩散温度在900℃以上,观察随着扩Au温度升高trr变小、而IR和VF随之增大,通过实验着重讨论了这三个电参数的相互制约关系。同时指出,选择Si片时,衬底电阻率范围不易过宽,避免由于衬底电阻率Rs差值较大对Si片与Si片之间的电参数工艺控制指数的影响。
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关键词
二极管
掺
au
扩散
反向恢复时间
正向压降
反向电流
衬底电阻率
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职称材料
题名
掺Au扩散对快速恢复功率二极管电参数的影响
被引量:
1
1
作者
陈艳明
机构
吉林恩智浦半导体有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期569-572,共4页
文摘
简述快速恢复功率二极管的几个重要电参数及其工作原理,根据长期制造二极管的实验经验和实验数据分析,掺Au工艺对快速恢复功率二极管反向恢复时间trr和外延二极管正向压降VF以及反向电流IR的影响。实验采用掺Au扩散温度在900℃以上,观察随着扩Au温度升高trr变小、而IR和VF随之增大,通过实验着重讨论了这三个电参数的相互制约关系。同时指出,选择Si片时,衬底电阻率范围不易过宽,避免由于衬底电阻率Rs差值较大对Si片与Si片之间的电参数工艺控制指数的影响。
关键词
二极管
掺
au
扩散
反向恢复时间
正向压降
反向电流
衬底电阻率
Keywords
diode
gold diffusion
reverse recovery time
forward voltage
reverse current
substrate ρSi
分类号
TN313.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掺Au扩散对快速恢复功率二极管电参数的影响
陈艳明
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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