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题名氧分压对室温制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响
被引量：3
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作者
闫宁宁
汪洪
刘静
左岩
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机构
中国建筑材料科学研究总院
国家玻璃深加工工程技术中心
绿色建筑材料国家重点实验室
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出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期1251-1257,共7页
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基金
十二五国家科技支撑计划(2011BAE14B01)资助项目
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文摘
室温下,采用脉冲直流反应磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了掺铝的氧化锌(ZnO:Al,AZO)透明导电薄膜。采用配有λ-sensor氧分压传感器的控制器闭环控制氧分压,研究了氧分压对薄膜结构、表面形貌和光电性能的影响。结果表明:在不同的氧分压下制备的AZO薄膜均为多晶纤锌矿结构,具有[002]择优取向,其晶体呈柱状生长,晶粒之间结合紧密。氧分压为3.36×10–2Pa时,AZO薄膜的性能指数最高,其电阻率为1.15×10–3·cm,相应的载流子浓度为2.1×1020/cm3,载流子迁移率为25.8cm2/(V s),可见光透射率为79.1%。随着AZO薄膜的载流子浓度由1.03×1020cm–3增加到3.64×1020cm–3,薄膜禁带宽度由3.49eV增大到3.72eV。
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关键词
掺铝的氧化锌
反应磁控溅射
氧分压
透明导电薄膜
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Keywords
aluminum-doped zinc oxide
reactive magnetron sputtering
oxygen partial pressure
transparent conductive film
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
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