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Sol-Gel法制备掺钛SnO_2薄膜的返回特性研究 被引量：2
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作者 孔镇 许瀚朗 冯金垣 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期128-132,共5页
在常温、加温和紫外线三种环境下,通过对Sol-Gel法(溶胶凝胶法)制备成的5%、10%及15%钛掺杂SnO2薄膜在乙醇、丙酮两种气氛作用下进行气敏反应前后的光反射谱测试,研究薄膜的返回特性。研究分析表明,加温环境中钛掺杂SnO2薄膜的返回特性... 在常温、加温和紫外线三种环境下,通过对Sol-Gel法(溶胶凝胶法)制备成的5%、10%及15%钛掺杂SnO2薄膜在乙醇、丙酮两种气氛作用下进行气敏反应前后的光反射谱测试,研究薄膜的返回特性。研究分析表明,加温环境中钛掺杂SnO2薄膜的返回特性比常温环境中的效果要好很多,返回所需时间能从十小时缩短至五分钟。此外,紫外光照射下返回特性较好,返回时间较短,而且更为安全、便利,相信在未来的发展中能有更广泛的应用。 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 掺钛sno2薄膜 返回特性 气敏反应
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溶胶—凝胶法制备掺钛SnO_2薄膜的气敏光学特性研究
2
作者 冯金垣 周壹义 邓健强 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第2期84-86,共3页
采用溶胶—凝胶(sol—gel)法制备掺钛SnO2薄膜,通过制备过程中变化不同质量分数的钛掺杂来制备3种不同质量分数(5%,10%,15%)的掺钛SnO2薄膜。在常温下对膜片在丙酮、甲烷气氛中进行气敏光学特性测试。结果表明:掺钛SnO2薄膜在常温下对... 采用溶胶—凝胶(sol—gel)法制备掺钛SnO2薄膜,通过制备过程中变化不同质量分数的钛掺杂来制备3种不同质量分数(5%,10%,15%)的掺钛SnO2薄膜。在常温下对膜片在丙酮、甲烷气氛中进行气敏光学特性测试。结果表明:掺钛SnO2薄膜在常温下对不同的测试气体具有不同的反应,并且薄膜的灵敏度与掺杂量有关;质量分数为5%钛掺杂SnO2薄膜在丙酮气氛下的灵敏度在1300～2500 nm波长范围保持在13%左右,而质量分数为15%钛掺杂SnO2薄膜在甲烷气氛下的灵敏度在1700～2300 nm范围内保持在7%左右。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 掺钛sno2薄膜 丙酮气氛 甲烷气氛 反射率 灵敏度
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