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基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究
1
作者
李翔
姜小蛟
+3 位作者
战春鸣
刘昂
孙宁
李加平
《真空》
CAS
2024年第4期6-11,共6页
晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以...
晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以及对应排布方案,以温度均匀性为优化目标,获取最优设计方案。经不同方案验证,该模型的精度在98%以上,可显著提升加热盘设计效率,为人工智能在加热盘设计领域的应用提供可能性。此外,基于传热学理论,提出了一种加热盘控温能力的设计方法,通过一维计算的方式,为加热盘控温能力的优化设计起到了指导作用。
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关键词
半导体
真空镀膜设备
晶圆加热盘
水冷
回归模型
控温
能力
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职称材料
太阳能控温的干湿厌氧发酵对比试验研究
被引量:
2
2
作者
李金平
轩坤阳
+2 位作者
龚纾源
黄娟娟
王春龙
《中国农机化学报》
北大核心
2020年第11期124-130,共7页
太阳能控温的厌氧发酵具有广阔的应用前景,目前国内外已有研究主要集中在太阳能控温湿发酵过程,尚没有太阳能控温的厌氧干发酵过程研究,为此搭建两套太阳能控温的干/湿厌氧发酵系统,在实际工况下进行批式厌氧发酵,研究太阳能控温下干/...
太阳能控温的厌氧发酵具有广阔的应用前景,目前国内外已有研究主要集中在太阳能控温湿发酵过程,尚没有太阳能控温的厌氧干发酵过程研究,为此搭建两套太阳能控温的干/湿厌氧发酵系统,在实际工况下进行批式厌氧发酵,研究太阳能控温下干/湿厌氧发酵启动情况,升温速率,温度波动性,发酵罐热负荷和典型天气下系统内各温度的变化情况。试验结果表明:在太阳辐射为1.2~21.6 MJ/m 2,平均环境温度变化范围为15.2℃~27.5℃的情况下,全玻璃真空管太阳能集热器能够确保干/湿发酵罐正常启动并维持干/湿发酵料液温度37℃±1℃恒温发酵,启动阶段湿发酵罐平均温度一直比干发酵高,温差最高可达2.5℃。增温过程中湿发酵罐平均散热损失比干发酵高0.14~0.27 MJ/d;而在控温阶段当系统经历连续阴雨天时,发酵温度波动不超过1.5℃,说明真空管太阳能集热器控温能力较强,可以满足发酵罐恒温发酵所需热量。
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关键词
太阳能
控温
干湿发酵对比
升温速率
热负荷
控温
能力
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职称材料
冷冻木材电阻测量自动控温装置设计及控温能力研究
3
作者
艾梦瑶
崔育铭
+2 位作者
高珊
赵志伟
张凌涛
《林产工业》
北大核心
2022年第9期44-49,共6页
低温条件对树木质量无损检测的准确度有重要影响。然而,在研究温度与木材电阻关系的过程中,经常会面临测量温度变化过快和难以稳定的技术难题。为解决电阻测量试验中温度波动带来的统计偏差,研究设计了一种木材电阻测量自动控温装置。...
低温条件对树木质量无损检测的准确度有重要影响。然而,在研究温度与木材电阻关系的过程中,经常会面临测量温度变化过快和难以稳定的技术难题。为解决电阻测量试验中温度波动带来的统计偏差,研究设计了一种木材电阻测量自动控温装置。该装置主要包括温度设置、温度控制、温度监测和电阻测量4个功能模块。通过单片机控制电风扇运行速度等使木材达到目标温度并维持温度稳定;利用传感器技术监测木材和箱内环境实时温度。重复试验结果表明:设计的装置可在-70~70℃范围内实现温度变化速率的自动调节,消除冷冻木材电阻测量过程中温度变化快和平衡难带来的影响。
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关键词
冷冻木材
电阻测量
控温
能力
单片机
自动控制
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职称材料
JY7型弹药运输集装箱控温能力仿真研究
4
作者
余贻荣
谢斌
+1 位作者
王清晨
亢航
《军事交通学报》
2022年第5期77-82,共6页
为提高JY7型弹药运输集装箱的控温能力,满足弹药运输温度要求,工程设计阶段采用箱体控温仿真计算方法,对JY7型弹药运输集装箱的综合传热系数、漏热率等控温能力指标进行仿真计算,为科学合理地选用箱体材料、结构设计等提供技术支撑。
关键词
弹药运输
集装箱
控温
能力
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职称材料
热电阻特性实验的误差探索与装置改进
被引量:
1
5
作者
李昊
钟雨晨
崔嘉滢
《科技创新导报》
2013年第27期17-18,共2页
在进行测定Pt100铂电阻以及Cu50铜电阻大小的过程中,笔者发现在实验操作、仪器均无误的情况下,其测得的数值均呈一定规律地偏离了标准数值大小。通过进行对照实验,发现该误差是恒温炉的控温能力不足造成的。为了减少实验误差,笔者通过...
在进行测定Pt100铂电阻以及Cu50铜电阻大小的过程中,笔者发现在实验操作、仪器均无误的情况下,其测得的数值均呈一定规律地偏离了标准数值大小。通过进行对照实验,发现该误差是恒温炉的控温能力不足造成的。为了减少实验误差,笔者通过对恒温炉进行技巧性改良,从而使实验测得的数据与标准值数值大小相符合。
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关键词
铂电阻
铜电阻
恒温炉
控温
能力
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职称材料
题名
基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究
1
作者
李翔
姜小蛟
战春鸣
刘昂
孙宁
李加平
机构
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳真空技术研究所有限公司
出处
《真空》
CAS
2024年第4期6-11,共6页
基金
辽宁科技重点项目(2023JH1/11200010)。
文摘
晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以及对应排布方案,以温度均匀性为优化目标,获取最优设计方案。经不同方案验证,该模型的精度在98%以上,可显著提升加热盘设计效率,为人工智能在加热盘设计领域的应用提供可能性。此外,基于传热学理论,提出了一种加热盘控温能力的设计方法,通过一维计算的方式,为加热盘控温能力的优化设计起到了指导作用。
关键词
半导体
真空镀膜设备
晶圆加热盘
水冷
回归模型
控温
能力
Keywords
semiconductor
vacuum coating equipment
wafer heater
water cooling
regression model
thermal control
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
太阳能控温的干湿厌氧发酵对比试验研究
被引量:
2
2
作者
李金平
轩坤阳
龚纾源
黄娟娟
王春龙
机构
兰州理工大学西部能源与环境研究中心
甘肃省生物质能与太阳能互补供能系统重点实验室
西北低碳城镇支撑技术协同创新中心
兰州理工大学能源与动力工程学院
出处
《中国农机化学报》
北大核心
2020年第11期124-130,共7页
基金
国家自然科学基金项目(51676094)
国家重点研发计划课题(2018YFB0905104)
+2 种基金
兰州市人才创新创业项目(2017—RC—34)
甘肃省高等学校科技成果转化项目(2018D—04)
兰州理工大学红柳一流学科方向项目(0807J1)。
文摘
太阳能控温的厌氧发酵具有广阔的应用前景,目前国内外已有研究主要集中在太阳能控温湿发酵过程,尚没有太阳能控温的厌氧干发酵过程研究,为此搭建两套太阳能控温的干/湿厌氧发酵系统,在实际工况下进行批式厌氧发酵,研究太阳能控温下干/湿厌氧发酵启动情况,升温速率,温度波动性,发酵罐热负荷和典型天气下系统内各温度的变化情况。试验结果表明:在太阳辐射为1.2~21.6 MJ/m 2,平均环境温度变化范围为15.2℃~27.5℃的情况下,全玻璃真空管太阳能集热器能够确保干/湿发酵罐正常启动并维持干/湿发酵料液温度37℃±1℃恒温发酵,启动阶段湿发酵罐平均温度一直比干发酵高,温差最高可达2.5℃。增温过程中湿发酵罐平均散热损失比干发酵高0.14~0.27 MJ/d;而在控温阶段当系统经历连续阴雨天时,发酵温度波动不超过1.5℃,说明真空管太阳能集热器控温能力较强,可以满足发酵罐恒温发酵所需热量。
关键词
太阳能
控温
干湿发酵对比
升温速率
热负荷
控温
能力
Keywords
solar energy temperature control
comparison of dry and wet fermentation
heating rate
heat load
temperature control capacity
分类号
S214 [农业科学—农业机械化工程]
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职称材料
题名
冷冻木材电阻测量自动控温装置设计及控温能力研究
3
作者
艾梦瑶
崔育铭
高珊
赵志伟
张凌涛
机构
东北林业大学工程技术学院
出处
《林产工业》
北大核心
2022年第9期44-49,共6页
基金
国家自然科学基金面上项目和青年项目(32071685和31600453)
黑龙江省自然科学基金联合引导项目(LH2019C002)
黑龙江省大学生创新创业训练计划项目(202110225377)。
文摘
低温条件对树木质量无损检测的准确度有重要影响。然而,在研究温度与木材电阻关系的过程中,经常会面临测量温度变化过快和难以稳定的技术难题。为解决电阻测量试验中温度波动带来的统计偏差,研究设计了一种木材电阻测量自动控温装置。该装置主要包括温度设置、温度控制、温度监测和电阻测量4个功能模块。通过单片机控制电风扇运行速度等使木材达到目标温度并维持温度稳定;利用传感器技术监测木材和箱内环境实时温度。重复试验结果表明:设计的装置可在-70~70℃范围内实现温度变化速率的自动调节,消除冷冻木材电阻测量过程中温度变化快和平衡难带来的影响。
关键词
冷冻木材
电阻测量
控温
能力
单片机
自动控制
Keywords
Frozen wood
Resistance measurement
Temperature control ability
SCM
Automatic control
分类号
TS64 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
JY7型弹药运输集装箱控温能力仿真研究
4
作者
余贻荣
谢斌
王清晨
亢航
机构
陆军军事交通学院
中车长江车辆有限公司
出处
《军事交通学报》
2022年第5期77-82,共6页
基金
军队后勤重点科研项目
文摘
为提高JY7型弹药运输集装箱的控温能力,满足弹药运输温度要求,工程设计阶段采用箱体控温仿真计算方法,对JY7型弹药运输集装箱的综合传热系数、漏热率等控温能力指标进行仿真计算,为科学合理地选用箱体材料、结构设计等提供技术支撑。
关键词
弹药运输
集装箱
控温
能力
Keywords
ammunition transportation
container
temperature control ability
分类号
TJ410.89 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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职称材料
题名
热电阻特性实验的误差探索与装置改进
被引量:
1
5
作者
李昊
钟雨晨
崔嘉滢
机构
四川大学化学学院
成都信息工程学院电子信息学院
四川大学电气信息学院
出处
《科技创新导报》
2013年第27期17-18,共2页
文摘
在进行测定Pt100铂电阻以及Cu50铜电阻大小的过程中,笔者发现在实验操作、仪器均无误的情况下,其测得的数值均呈一定规律地偏离了标准数值大小。通过进行对照实验,发现该误差是恒温炉的控温能力不足造成的。为了减少实验误差,笔者通过对恒温炉进行技巧性改良,从而使实验测得的数据与标准值数值大小相符合。
关键词
铂电阻
铜电阻
恒温炉
控温
能力
分类号
TN371 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究
李翔
姜小蛟
战春鸣
刘昂
孙宁
李加平
《真空》
CAS
2024
0
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职称材料
2
太阳能控温的干湿厌氧发酵对比试验研究
李金平
轩坤阳
龚纾源
黄娟娟
王春龙
《中国农机化学报》
北大核心
2020
2
下载PDF
职称材料
3
冷冻木材电阻测量自动控温装置设计及控温能力研究
艾梦瑶
崔育铭
高珊
赵志伟
张凌涛
《林产工业》
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
4
JY7型弹药运输集装箱控温能力仿真研究
余贻荣
谢斌
王清晨
亢航
《军事交通学报》
2022
0
下载PDF
职称材料
5
热电阻特性实验的误差探索与装置改进
李昊
钟雨晨
崔嘉滢
《科技创新导报》
2013
1
下载PDF
职称材料
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