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题名基于捷径重试规则晶圆带式搬运系统性能优化
被引量：2
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作者
周炳海
陈立扬
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机构
同济大学机械与能源工程学院
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出处
《工程科学学报》
EI
CSCD
北大核心
2019年第2期261-268,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(71471135)
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文摘
开口管桩由于其承载力高、质量可靠、施工方便等优点得到越来越广泛的应用.土塞的生成使得开口管桩沉桩阻力不同于闭口管桩,不仅包括桩外侧摩阻力、桩端阻力,桩内侧摩阻力亦是其重要组成部分.针对开口管桩沉桩受力特性,采用自主研发的大尺度模型试验装置,进行不同桩靴形式下开口管桩的贯入试验,并与闭口管桩进行对比分析.研究表明,开口管桩随沉桩深度的增加趋于闭塞,沉桩阻力随沉桩过程基本呈线性增加,桩内、外侧单位摩阻力均存在"侧阻退化"效应;桩体贯入时桩周地表隆起量随径向距离增加逐渐减小,隆起速率随沉桩深度增加逐渐变缓,桩周土影响范围约为5 ~ 7倍桩径;桩靴对开口管桩土塞生成、沉桩阻力和挤土效应均有重要影响,内30°桩靴土塞生成高度、桩内侧摩阻力及其所占总沉桩阻力比例最大,桩周土地表隆起量最小,外30°桩靴与内30°桩靴情况相反,直角桩靴居中;闭口管桩沉桩阻力、外侧摩阻力与挤土程度均大于开口管桩.
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关键词
晶圆制造
捷径优化
自动物料搬运系统
重试排队模型
interbay系统
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Keywords
wafer fabrications
crossover-optimization
automatic material handling system
retrial queuing model
interbay system
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分类号
TH22
[机械工程—机械制造及自动化]
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