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不同工艺制备的人工节瘤的损伤生长特性
被引量:
3
1
作者
马宏平
程鑫彬
+2 位作者
张锦龙
王占山
唐永建
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第5期182-187,共6页
在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064nm波长下的Hf O2/Si...
在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064nm波长下的Hf O2/Si O2反射膜,利用四种尺寸的单分散的Si O2小球形成人工节瘤,来研究薄膜镀制工艺和节瘤尺寸对节瘤损伤生长特性的影响。激光损伤测试结果表明:节瘤损伤生长阈值基本随节瘤尺寸的增加而减小。EB工艺制备的反射膜中,四种尺寸节瘤的损伤生长阈值都高于其初始损伤阈值,而IAD工艺制备的反射膜中结果则相反。另外,IAD工艺要比EB工艺制备的反射膜中的节瘤在发生初始损伤后更易于损伤生长,说明薄膜镀制工艺对节瘤的损伤生长速度有一定的影响。
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关键词
人工节瘤
激光
损伤
损伤
生长
镀制工艺
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职称材料
基频HfO_2/SiO_2高反射薄膜激光损伤生长特性
被引量:
2
2
作者
张艳云
马彬
+2 位作者
马宏平
焦宏飞
程鑫彬
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期2275-2280,共6页
以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光能量密度的增加呈分...
以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光能量密度的增加呈分段线性增长,破斑沿纵向拓展的损伤生长阈值是沿横向拓展的损伤生长阈值的2倍以上,初始损伤结构横向尺寸的生长率与能量密度呈指数关系,且生长阈值随着辐照次数的增加显著降低。
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关键词
HFO2
SiO2高反射薄膜
分层剥落
损伤
生长
激光
损伤
阈值
横向尺寸
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职称材料
题名
不同工艺制备的人工节瘤的损伤生长特性
被引量:
3
1
作者
马宏平
程鑫彬
张锦龙
王占山
唐永建
机构
同济大学先进微结构材料教育部重点实验室
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第5期182-187,共6页
基金
国家自然科学基金(61522506
61235011
51475335)
文摘
在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064nm波长下的Hf O2/Si O2反射膜,利用四种尺寸的单分散的Si O2小球形成人工节瘤,来研究薄膜镀制工艺和节瘤尺寸对节瘤损伤生长特性的影响。激光损伤测试结果表明:节瘤损伤生长阈值基本随节瘤尺寸的增加而减小。EB工艺制备的反射膜中,四种尺寸节瘤的损伤生长阈值都高于其初始损伤阈值,而IAD工艺制备的反射膜中结果则相反。另外,IAD工艺要比EB工艺制备的反射膜中的节瘤在发生初始损伤后更易于损伤生长,说明薄膜镀制工艺对节瘤的损伤生长速度有一定的影响。
关键词
人工节瘤
激光
损伤
损伤
生长
镀制工艺
Keywords
artificial nodules
laser damage
damage growth
deposition processes
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
基频HfO_2/SiO_2高反射薄膜激光损伤生长特性
被引量:
2
2
作者
张艳云
马彬
马宏平
焦宏飞
程鑫彬
机构
同济大学精密光学工程技术研究所
先进微结构材料教育部重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期2275-2280,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61008030)
上海市晨光计划项目(10CG19)
教育部博士点基金项目(20100072120037)
文摘
以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光能量密度的增加呈分段线性增长,破斑沿纵向拓展的损伤生长阈值是沿横向拓展的损伤生长阈值的2倍以上,初始损伤结构横向尺寸的生长率与能量密度呈指数关系,且生长阈值随着辐照次数的增加显著降低。
关键词
HFO2
SiO2高反射薄膜
分层剥落
损伤
生长
激光
损伤
阈值
横向尺寸
Keywords
HfO2/SiO2 high reflection film
delamination
damage growth
laser induced damage threshold
horizontal size
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同工艺制备的人工节瘤的损伤生长特性
马宏平
程鑫彬
张锦龙
王占山
唐永建
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017
3
下载PDF
职称材料
2
基频HfO_2/SiO_2高反射薄膜激光损伤生长特性
张艳云
马彬
马宏平
焦宏飞
程鑫彬
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
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职称材料
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