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振动式微陀螺正交误差自补偿方法 被引量：8
1
作者 刘学 陈志华 +4 位作者 肖定邦 吴学忠 苏剑彬 侯占强 贺琨 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1221-1225,共5页
微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正... 微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正交误差闭环控制自补偿方法。通过将经正交误差幅值调幅控制的驱动位移信号闭环反馈作用到检测模态的输出,实现正交误差的自补偿。制作PCB电路测试了微陀螺的性能。正交误差自补偿后微陀螺零偏输出均值从778 mV减小到了2 mV,零偏稳定性从75°/h提高到了34.5°/h。实验结果表明,此方法是可行的。 展开更多
关键词 微机电系统 正交误差 自补偿 振动式微陀螺 交叉耦合
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硅微陀螺机械热噪声研究 被引量：2
2
作者 刘梅 周百令 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期1163-1164,共2页
振动式硅微陀螺仪要在各种噪声干扰下,检测出极其微弱的有用信号。随着硅微陀螺性能的不断提高。机械热噪声对微陀螺的影响愈加显著,决定了振动式硅微陀螺的极限分辨率。本文给出了机械热噪声的产生机理,推导得出机械热噪声等效角速率... 振动式硅微陀螺仪要在各种噪声干扰下,检测出极其微弱的有用信号。随着硅微陀螺性能的不断提高。机械热噪声对微陀螺的影响愈加显著,决定了振动式硅微陀螺的极限分辨率。本文给出了机械热噪声的产生机理,推导得出机械热噪声等效角速率表达式。分析表明,提高微陀螺的品质因数、增大质量和谐振频率可减小机械热噪声。 展开更多
关键词 振动式硅微陀螺 机械热噪声
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振动式微机械陀螺的驱动模态的研究 被引量：1
3
作者 李锦明 张文栋 苏淑靖 《测试技术学报》 2004年第z6期219-222,共4页
本文针对的是振动式微机械陀螺自动增益驱动模态的研究.通常的振动式微机械陀螺的驱动模态采用交-直流电压变化的办法来获取振幅信号,然后通过反馈去控制驱动电压,从而达到恒幅振荡的效果.本文提出了一种直接由交流信号去控制驱动电压... 本文针对的是振动式微机械陀螺自动增益驱动模态的研究.通常的振动式微机械陀螺的驱动模态采用交-直流电压变化的办法来获取振幅信号,然后通过反馈去控制驱动电压,从而达到恒幅振荡的效果.本文提出了一种直接由交流信号去控制驱动电压的方法,这就避免了由交-直流电压变化造成的延时,达到实时自动增益控制的效果. 展开更多
关键词 振动式微机械陀螺 恒幅振荡 驱动模态
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双质量振动式硅微陀螺理论和实验模态分析 被引量：6
4
作者 姜劭栋 苏岩 +1 位作者 施芹 裘安萍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期467-476,共10页
考虑硅微陀螺的设计和结构优化,研究了陀螺固有频率及模态对其性能的影响。针对本课题组研制的双质量振动式硅微陀螺,利用能量法建立了固有频率的理论公式,对硅微陀螺的低阶模态进行了理论分析,并利用有限元仿真和实验对理论分析结果进... 考虑硅微陀螺的设计和结构优化,研究了陀螺固有频率及模态对其性能的影响。针对本课题组研制的双质量振动式硅微陀螺,利用能量法建立了固有频率的理论公式,对硅微陀螺的低阶模态进行了理论分析,并利用有限元仿真和实验对理论分析结果进行了验证。结果显示:理论分析结果与仿真结果的最大误差为8.6%,与实验结果的最大误差为10.6%。利用Allan方差分析法对陀螺进行了静态性能实验,结果显示其角度随机游走为0.0578(°)/hr12,零偏不稳定性为0.459(°)/hr。与传统的单纯依靠有限元仿真的模态定阶相比,本文建立的理论模型可以省略繁琐的结构参数调整过程,更高效地完成陀螺模态定阶,而且可用于陀螺的结构优化过程。 展开更多
关键词 双质量振动式硅微陀螺 固有频率 能量法 模态
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