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锆合金包壳管内壁SiC涂层的PECVD制备与性能
被引量：
4
1
作者
谭瑞轩
王洪磊
+5 位作者
余金山
李怀林
刘艳红
樊哲琼
卢蕾文
周新贵
《粉末冶金材料科学与工程》
EI
北大核心
2020年第3期206-212,共7页
提出一种新型便捷的等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD),在细长的锆合金包壳管(外径9.5 mm,壁厚0.57 mm,长度200 mm)内壁制备厚度分别3μm和5μm的SiC涂层,用扫描电镜观察涂层的微观结构,并...
提出一种新型便捷的等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD),在细长的锆合金包壳管(外径9.5 mm,壁厚0.57 mm,长度200 mm)内壁制备厚度分别3μm和5μm的SiC涂层,用扫描电镜观察涂层的微观结构,并测试其抗热冲击性能和抗高温水氧腐蚀性能。结果表明,该制备方法可快速、高效地在包壳管内壁沉积SiC涂层,涂层致密且光滑平整,无论在包壳管的轴向或径向方向,涂层厚度均匀一致。涂层与锆合金基体结合良好,具有良好的抗热冲击性能,1200℃高温淬火后不发生剥落。SiC涂层可隔绝锆合金与高温水蒸气接触,有效保护锆合金包壳管,防止其被氧化。
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关键词
锆合金包壳管
SIC涂层
PECVD
抗
热冲击性能
抗
高温
水蒸气
腐蚀
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职称材料
题名
锆合金包壳管内壁SiC涂层的PECVD制备与性能
被引量：
4
1
作者
谭瑞轩
王洪磊
余金山
李怀林
刘艳红
樊哲琼
卢蕾文
周新贵
机构
国防科技大学空天科学学院
国家电投集团科学技术研究院有限公司
长沙理工大学材料科学与工程学院
出处
《粉末冶金材料科学与工程》
EI
北大核心
2020年第3期206-212,共7页
基金
中国博士后科学基金面上项目(2017M623341)。
文摘
提出一种新型便捷的等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD),在细长的锆合金包壳管(外径9.5 mm,壁厚0.57 mm,长度200 mm)内壁制备厚度分别3μm和5μm的SiC涂层,用扫描电镜观察涂层的微观结构,并测试其抗热冲击性能和抗高温水氧腐蚀性能。结果表明,该制备方法可快速、高效地在包壳管内壁沉积SiC涂层,涂层致密且光滑平整,无论在包壳管的轴向或径向方向,涂层厚度均匀一致。涂层与锆合金基体结合良好,具有良好的抗热冲击性能,1200℃高温淬火后不发生剥落。SiC涂层可隔绝锆合金与高温水蒸气接触,有效保护锆合金包壳管,防止其被氧化。
关键词
锆合金包壳管
SIC涂层
PECVD
抗
热冲击性能
抗
高温
水蒸气
腐蚀
Keywords
Zr-alloy cladding
SiC coating
PECVD
thermal shock resistance
corrosion resistance to high temperature steam
分类号
TB31 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
锆合金包壳管内壁SiC涂层的PECVD制备与性能
谭瑞轩
王洪磊
余金山
李怀林
刘艳红
樊哲琼
卢蕾文
周新贵
《粉末冶金材料科学与工程》
EI
北大核心
2020
4
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